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公开(公告)号:CN101676806A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200910166147.7
申请日:2009-08-14
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种剥离剂组合物,其在薄膜晶体管液晶显示器的制备工艺中,用于再利用薄膜晶体管液晶显示器的热固性树脂形成过程中产生的不良基板,包括:(a)0.5-15重量份的氢氧化铵或具有碳原子数为1-4个的烷基的烷基氢氧化铵化合物;(b)9-89重量份的具有碳原子数为1-4个的烷基的烷撑二醇醚;(c)10-40重量份的甘醇化合物;(d)0.01-5重量份的防腐剂;以及(e)0.1-5重量份的水。本发明的剥离剂组合物可以在短时间内去除彩色光阻、正性或负性有机绝缘层,并不会使作为下部膜质的无机绝缘层和各种金属布线受损,从而可以再利用滤色器基板和薄膜晶体管基板。
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公开(公告)号:CN107921476A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680049458.3
申请日:2016-08-25
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: C09D183/04 , B05D3/02 , B05D3/0254 , B05D3/06 , B05D3/067 , B05D5/00 , B05D7/00 , B05D7/02 , B05D7/24 , B05D7/54
Abstract: 本发明涉及一种涂层及中间界面层的层叠体及其制造方法,所述涂层及中间界面层包括含Si-O基物质。更具体而言,涉及一种层叠体及其制造方法,在基体材料与包括含Si-O基物质的涂层之间局域组成基体材料的物质和组成涂层的物质相混合而成的中间界面层,所以能够显著提高抗弯曲能力、透明度及基体材料与涂层之间的粘接强度,而且通过硅倍半氧烷涂层,能够增强耐划痕性能、拒水特性、耐污性能、抗指纹性能、热稳定性、光泽特性及提高表面硬度的效果。
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公开(公告)号:CN101373343A
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN200810210852.8
申请日:2008-08-20
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种为了回收使用薄膜晶体管液晶显示器的滤色器形成工艺中产生的不良基板,而用于去除彩色光阻剂图案及涂层的彩色光阻剂剥离溶液组合物,具体涉及一种包含1-20重量%的选自无机碱氢氧化物、氢氧化铵、具有C1-C4烷基的烷基氢氧化铵或具有C1-C4烷基的苯烷基氢氧化铵中的氢氧化物;1-70重量%的选自具有C1-C4烷基的烷撑二醇醚或烷撑二醇中的至少一种化合物;0.5-10重量%的羟胺;0.5-50重量%的烷氧基烷基胺;以及余量水的彩色光阻剂剥离溶液组合物。本发明的组合物可以在短时间内去除彩色光阻剂和涂层,从而可以回收使用以往技术中由于难以去除彩色光阻剂图案而大部分被废弃的滤色器基板。
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公开(公告)号:CN101140428A
公开(公告)日:2008-03-12
申请号:CN200710145306.6
申请日:2007-09-07
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离剂组合物以及利用该组合物的光刻胶剥离及分解方法,具体说是涉及一种包含氨基甲酸酯化合物的光刻胶剥离剂组合物。而且,本发明还提供一种包含:a)环状内酯类化合物,及b)酰胺类化合物、氨基甲酸酯化合物或其混合物的光刻胶剥离剂组合物。本发明的光刻胶剥离剂组合物,在利用臭氧的工艺中可以选择性地分解去除光刻胶时所产生的光刻胶残留物,从而可极大地提高处理量,并且具有对金属布线或氧化膜的腐蚀防护效果。
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公开(公告)号:CN101256366B
公开(公告)日:2012-06-06
申请号:CN200810092008.X
申请日:2008-02-20
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离组合物和使用其剥离光刻胶膜的方法。提供一种光刻胶剥离组合物,其包括约80重量%-约98.5重量%的γ-丁内酯、约1重量%-约10重量%的氨基甲酸烷基酯、约0.1重量%-约5重量%的烷基磺酸和约0.1重量%-约5重量%的非离子型表面活性剂。可将该光刻胶剥离组合物再度用于从基板上剥离光刻胶膜而不降低剥离能力和损坏金属图案,使得可以降低光刻工艺的成本。
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公开(公告)号:CN101750916A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910253786.7
申请日:2009-12-17
Inventor: 郑钟铉 , 金俸均 , 朴弘植 , 洪瑄英 , 崔永柱 , 李炳珍 , 徐南锡 , 金炳郁 , 尹锡壹 , 郑宗铉 , 辛成健 , 许舜范 , 郑世桓 , 张斗瑛 , 朴善周 , 权五焕
CPC classification number: G03F7/425 , H01L27/124 , H01L27/1288
Abstract: 根据一个或多个实施方法提供光刻胶剥离剂用组合物及薄膜晶体管阵列基板的制造方法。在一个或多个实施方式中,所述组合物包括约5-30重量%的链状胺化合物、约0.5-10重量%的环状胺化合物、约10-80重量%的二醇醚化合物、约5-30重量%的蒸馏水和约0.1-5重量%的腐蚀抑制剂。
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公开(公告)号:CN101398639A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200810211419.6
申请日:2008-09-22
IPC: G03F7/42
CPC classification number: G03F7/425
Abstract: 本发明提供了一种剥离组合物和剥离方法,其能够容易地剥离在基板上形成的颜色抗蚀剂或有机绝缘薄膜以当在基板上形成滤色片或有机绝缘薄膜过程中发现缺陷时重新使用该基板。在一种具体实施方式中,剥离组合物包括约0.5至约45wt%的氢氧化合物、约10至约89wt%的烷撑二醇烷基醚化合物、约5至约45wt%的链烷醇胺化合物、以及约0.01至约5wt%的无机盐化合物。有利地,剥离过程可以在不损坏下基板的薄膜晶体管同时除去颜色抗蚀剂或有机绝缘薄膜的情况下实施。
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公开(公告)号:CN101256366A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810092008.X
申请日:2008-02-20
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种光刻胶剥离组合物和使用其剥离光刻胶膜的方法。提供一种光刻胶剥离组合物,其包括约80重量%-约98.5重量%的γ-丁内酯、约1重量%-约10重量%的氨基甲酸烷基酯、约0.1重量%-约5重量%的烷基磺酸和约0.1重量%-约5重量%的非离子型表面活性剂。可将该光刻胶剥离组合物再度用于从基板上剥离光刻胶膜而不降低剥离能力和损坏金属图案,使得可以降低光刻工艺的成本。
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