用于化学机械研磨后清洗的组合物

    公开(公告)号:CN104629946A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201410641916.5

    申请日:2014-11-11

    Abstract: 本发明涉及一种用于化学机械研磨后清洗的组合物,更具体地,涉及一种在半导体制造工艺中,用于包括金属布线及金属膜的半导体基板的清洗工艺,尤其是用于化学机械研磨后清洗裸露出金属布线的半导体基板的组合物。本发明的清洗组合物即能有效地清除附在半导体工件表面上的杂质,又不损伤金属布线,而且清洗后,不会残留在表面上造成工件污染,因此能够制造优秀的半导体。

    用于化学机械研磨后清洗的组合物

    公开(公告)号:CN104629946B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201410641916.5

    申请日:2014-11-11

    Abstract: 本发明涉及一种用于化学机械研磨后清洗的组合物,更具体地,涉及一种在半导体制造工艺中,用于包括金属布线及金属膜的半导体基板的清洗工艺,尤其是用于化学机械研磨后清洗裸露出金属布线的半导体基板的组合物。本发明的清洗组合物即能有效地清除附在半导体工件表面上的杂质,又不损伤金属布线,而且清洗后,不会残留在表面上造成工件污染,因此能够制造优秀的半导体。

    宿设备、数字系统和控制CEC通信的方法

    公开(公告)号:CN117640448A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311007885.3

    申请日:2023-08-10

    Abstract: 一种控制宿设备和通过高清晰度多媒体接口(HDMI)电缆连接的多个源设备之间的消费电子控制(CEC)通信的方法可以包括:通过监视HDMI电缆是否分别连接到宿设备的多个HDMI端口中的HDMI端口来生成电缆连接信息,通过监视内部CEC节点的电压是否固定来生成CEC错误信息,其中包括在连接的HDMI电缆中的CEC线路共同连接到内部CEC节点,并且连接的HDMI电缆指示当前连接到多个HDMI端口,以及响应于电缆连接信息和CEC错误信息,运行用户指南以诊断所连接的HDMI电缆的CEC线路的卡顿状态。

Patent Agency Ranking