公开(公告)号：CN107032285A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201611021448.7

申请日：2016-11-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 塚原克智 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  中山雅夫 ,  西面宗英

IPC: B81B3/00 ,  B41J2/14

CPC classification number: B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14266 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/11 ,  B41J2202/18 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/052 ,  B81B3/0032

Abstract: 本发明提供抑制了层压于压电体层(38)上的上电极层(39)的端部处的烧损等损坏的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。MEMS器件具备：驱动区域(35)，其具有下电极层(37)、压电体层(38)及上电极层(39)依次层压所形成的压电元件(32)，压电元件(32)从驱动区域(35)延伸到非驱动区域(36)，且在该延伸方向上，下电极层(37)及压电体层(38)延伸到与上电极层(39)相比靠外侧，覆盖延伸方向上的上电极层(39)的端部的树脂部(43)被层压在非驱动区域(36)内的上电极层(39)上以及形成在与该上电极层(39)相比靠外侧处的压电体层(38)上，与上电极层(39)电连接的导电层(44)层压在树脂部(43)上及从该树脂部(43)偏离出的区域内的上电极层(39)上，上电极层(39)的端部被形成在与导电层(44)的树脂部(43)侧的端部相比靠驱动区域(35)侧处。

公开(公告)号：CN102208524B

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201110064931.4

申请日：2011-03-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  中山雅夫 ,  古谷升

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/27 ,  B41J2/045 ,  B41J2/135

CPC classification number: B41J2/14233 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/29 ,  H01L41/316 ,  H01L41/318 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明提供一种压电元件及其制造方法、压电致动器、液滴喷射头及装置，能够增大电极材料选择的自由度。本发明的压电元件包括：形成在基板上的第一电极；形成在上述第一电极上的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极；形成为至少覆盖上述第一电极的侧面的树脂层；上述第一电极具有由贱金属构成的金属层和防氧化层，上述防氧化层设置在上述金属层与上述压电体层之间，以使上述金属层与上述压电体层不接触。

公开(公告)号：CN101947883A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN201010226948.0

申请日：2010-07-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/135 ,  B41J2/01 ,  H01L41/083 ,  H01L41/22

CPC classification number: B41J2/14233 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明提供能够缓和上部电极中的应力集中的高可靠性的压电元件、其制造方法、压电致动器、喷液头以及喷液装置。本发明中的压电元件(100)包括基板(10)、形成于基板(10)上方的下部电极(20)、覆盖下部电极(20)的压电体层(30)、和形成于压电体层(30)上方的上部电极(40)；压电体层(30)的侧面(34)具有与压电体层(30)的顶面(32)相连接并相对于基板(10)的顶面(12)以第1角度(α)倾斜的第1部分(35)、和与第1部分(35)相连接并相对于基板(10)的顶面(12)以第2角度(β)倾斜的第2部分(36)；第2角度(β)比第1角度(α)小；上部电极(40)至少覆盖第1部分(35)及第2部分(36)。

公开(公告)号：CN100479096C

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200610109916.6

申请日：2006-08-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小林大辅 ,  中山雅夫 ,  木岛健

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/82 ,  H01L27/00 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: H01L41/0533 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1625 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  H01L27/101 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507 ,  H01L28/57 ,  H01L41/23 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种可减轻对电介质膜的损害的电容器制造方法。根据本发明的电容器(10)的制造方法包括：在基板(1)的上方形成下部电极(4)的步骤；在下部电极(4)的上方形成由铁电体或压电体构成的电介质膜(5)的步骤；在电介质膜(5)的上方形成上部电极(6)的步骤；以及形成至少覆盖电介质膜(5)的氧化硅膜(20)的步骤，其中，氧化硅膜(20)使用三甲氧基硅烷形成。

公开(公告)号：CN112440561B

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202010870585.8

申请日：2020-08-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。

公开(公告)号：CN113696632A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202110538520.8

申请日：2021-05-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨田泰彰 ,  吉田俊辅 ,  板山泰裕 ,  清水稔弘 ,  中山雅夫

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。

公开(公告)号：CN113696624A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202110533928.6

申请日：2021-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 清水稔弘 ,  古池晴信 ,  四十物孝宪 ,  中山雅夫 ,  沢崎立雄 ,  西智寻 ,  望月慎高 ,  山崎泰志 ,  外村修

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种减少振动板的损伤的液体喷出头以及液体喷出装置。所述液体喷出头具有：压电体；振动板，其通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有通过振动板的振动而向液体施加压力的压力室，压力室基板、振动板以及压电体按照该顺序被层压，振动板具有：第一层,其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电体之间，且作为构成元素而包含铬、钛以及铝中的任意一种金属元素；第三层，其被配置在第二层与压电体之间，且作为构成元素而包含锆。

公开(公告)号：CN113246613A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110162302.9

申请日：2021-02-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 四十物孝宪 ,  平井荣树 ,  中山雅夫 ,  柄沢润一 ,  穂苅吉宏

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明涉及减少在振动板和压力室基板的边界处所产生的应力的液体喷出头以及液体喷出装置。本发明的液体喷出头具备：压电元件(41)，其生成能量；振动板(35)，其通过能量而进行振动；压力室基板(34)，其具有与振动板(35)的底面的一部分相接的第一面(3A)、和与第一面(3A)相连的第一壁面(3Aa)，在振动板(35)的底面上设置有凹部(60)，所述凹部(60)具有底部(61)和包围底部(61)的弯曲部(62)，弯曲部(62)以跨及底部(61)的端部(61a)与凹部(60)的端部之间的方式被设置，且形成曲面的形状，构成压力室(Ca1)的内壁的多个壁面包括凹部(60)的面和第一壁面(3Aa)，第一面(3A)和第一壁面(3Aa)所形成的角度(θ1)大于90度且小于180度。

公开(公告)号：CN107949480B

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201680050676.9

申请日：2016-08-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  板山泰裕 ,  横山直人 ,  平井荣树 ,  高部本规

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/319

Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。

公开(公告)号：CN109484028A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201811041578.6

申请日：2018-09-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中山雅夫 ,  福田俊也 ,  平井荣树 ,  矢崎士郎 ,  中尾元

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头、液体喷射装置及压电设备。液体喷射头具有：流道形成基板(10)；保护基板(30)，其被接合于所述流道形成基板(10)的所述一面侧并具有流道(31)；流道部件(40)，其被接合于所述保护基板(30)的与所述流道形成基板(10)相反一侧；驱动电路(120)，其被安装于由流道形成基板(10)、保护基板(30)和流道部件(40)包围而形成的空间(34)内；填充剂(121)，其被填充于所述驱动电路(120)与所述流道形成基板(10)、以及驱动电路(120)与保护基板(30)之间；保护膜(200)，其被形成于从保护基板(30)的所述流道的内壁起、至保护基板(30)的与流道部件(40)接合的接合面中的至少与所述内壁的边界侧为止，所述保护膜(200)具有露出孔(201)，所述露出孔(201)使所述填充剂(121)的表面的至少一部分露出。