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公开(公告)号：CN113703310A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110859678.5
申请日：2021-07-28
Applicant: 清华大学
IPC: G05B11/42
Abstract: 本申请涉及一种隔振平台的解耦方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取前次输出数据，并确定该前次输出数据与期望数据间的偏差值；当该偏差值大于偏差阈值时，基于由平移控制律和旋转控制律所构成的控制矩阵，对该偏差值进行处理，得到辅助控制变量；并基于该辅助控制变量进行反馈线性化处理，得到多个支腿力；将该多个支腿力传输至该隔振平台，以得到当次输出数据；进入下一次的循环迭代，并将该当次输出数据作为下一次迭代所对应的前次输出数据，返回该确定偏差值的步骤继续执行，直至该偏差值小于或等于该偏差阈值时停止，以实现该隔振平台中上圆盘各个自由度之间均处于完全解耦状态，进而提高解耦效果。
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公开(公告)号：CN111366231A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010092551.0
申请日：2020-02-14
Applicant: 清华大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请涉及一种直接测量敏感件运动的振动检测装置。检测电路可以根据感应件的位移输出位移信号，反馈控制电路根据位移信号输出反馈信号。第一驱动装置可以根据反馈信号驱动感应件运动使感应件相对于位移参照装置的位移为零或趋近于零。位移参照装置相对于基座架固定设置。当地面发生振动时，感应件会相对于位移参照装置发生位移，位移可以为竖直方向的位移。此时检测电路可以检测到该位移并输出位移信号，反馈控制电路根据位移信号输出反馈信号。反馈信号可以直接反应地面的振动情况，由于敏感件相对于感应件固定设置，因此可以直接反应敏感件的振动情况。然后根据反馈信号可以对感应件的测量进行补偿，进而可以提高修正结果的精度。
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公开(公告)号：CN101750437A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200810239185.6
申请日：2008-12-11
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于碳纳米管湿度传感器及制作方法，其包括：一基底；通过热氧化法或化学气相沉积法生长于基底表面上的绝缘层；通过光刻/刻蚀法或光刻/剥离法或丝网印刷法制备于绝缘层表面上的由金属或多晶硅构成的电极对；电极对为平行对电极或梳齿式对电极；梳齿式对电极的梳齿相对放置或梳齿交叉放置；电极对之间和电极对上/下面组装有碳纳米管材料层；组装方法为电泳组装方法或流体排布组装方法或浸泡蒸发法；有益效果：电极对制作属于标准微加工工艺或丝网印刷工艺，方法简单；碳纳米管结构尺寸小，比表面积大，吸附能力强，且电泳组装、流体组装方法或浸泡蒸发法可实现批量生产；该湿度传感器尺寸小，灵敏度高，线性度好，能用于环境湿度检测。
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公开(公告)号：CN1987486B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610169643.4
申请日：2006-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明涉及集成光栅干涉微机械加速度传感器，包括第一玻璃片表面上设置金属光栅和电极；硅片上设置质量块，和质量块上设置N个凸台，并淀积一层反射面；及梁或膜上支撑质量块，该质量块另一端与硅片形成的键合台面连接；第一玻璃片带有金属光栅和电极的面与硅片上设置质量块的反射面相对布置，且光栅的位置与硅岛的位置相对，通过键合工艺形成一体，并且该硅片上的质量块与玻璃间形成微小间隙，组成传感器的敏感单元，光电检测电路与敏感单元的电极连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的加速度测量。利用MEMS技术和成熟的激光二级管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN102323624B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201110224531.5
申请日：2011-08-05
Applicant: 清华大学
IPC: G01V7/14
Abstract: 本发明披露了一种绝对重力测量系统、测量方法及自由落体下落方法。该绝对重力测量系统，包括：用于实现下落物体作自由落体运动的自由落体装置；用于测量下落物体作自由落体运动的位移的激光干涉测量装置，其采用简化的结构实现测量光束竖直方向的精确校准；以及设置在所述激光干涉测量装置和地之间的隔振平台，用于隔离地面振动对所述测量的影响。根据本发明的绝对重力测量系统，通过采用弹性的下落构件悬挂方法实现下落物体的自由落体运动，降低马达传动系统对自由落体装置的振动影响，提高重力测量结果的准确度。并且，本发明通过计算机软件计算干涉条纹信号的过零点特征，从而消除硬件电路可能导致的测量偏差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101750481B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200810239541.4
申请日：2008-12-12
Applicant: 清华大学
IPC: G01N33/50
Abstract: 本发明涉及集成光栅微悬臂梁生化传感器，包括玻璃片表面上设置的金属光栅和电极；电极和光栅上覆盖的绝缘层，并在玻璃片上设置有微悬臂梁结构以及微悬臂梁上表面的特异性吸附层，微悬臂梁和光栅之间有一定的间隙，光电检测电路与电极相连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与微悬臂梁下反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的生化检测。利用MEMS技术和成熟的激光二级管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN101749219B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200810239184.1
申请日：2008-12-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于精密机械中微型流体泵技术领域，涉及微型蠕动泵，主要由微泵芯片和驱动机构两部分组成。其中微泵芯片由微泵薄膜沟道结构层和底板组成，微泵薄膜沟道包括依次连通的进液口、入口过渡沟道槽、环形沟道、出口过渡沟道槽、出液口。驱动机构包括位于薄膜上方的钢球，吸引钢球的磁铁，带动磁铁转动的微电机以及联接电机和磁铁的轴套。本发明具有结构简单，工作可靠，能够控制流体流动，流量稳定，流量调节范围大，外形尺寸较小，无需高压或加热等苛刻条件等特点。
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公开(公告)号：CN1987486A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610169643.4
申请日：2006-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明涉及集成光栅干涉微机械加速度传感器，包括第一玻璃片表面上设置金属光栅和电极；硅片上设置质量块，和质量块上设置N个凸台，并淀积一层反射面；及梁或膜上支撑质量块，该质量块另一端与硅片形成的键合台面连接；第一玻璃片带有金属光栅和电极的面与硅片上设置质量块的反射面相对布置，且光栅的位置与硅岛的位置相对，通过键合工艺形成一体，并且该硅片上的质量块与玻璃间形成微小间隙，组成传感器的敏感单元，光电检测电路与敏感单元的电极连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的加速度测量。利用MEMS技术和成熟的激光二极管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN107121708B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201710388867.2
申请日：2017-05-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01V7/14
Abstract: 本发明提供一种绝对重力测量系统及测量方法，所述绝对重力测量包括：自由落体装置、激光干涉测量装置、隔振平台。所述自由落体装置包括壳体、设置在所述壳体内的真空仓、以及与所述真空仓传动连接的动力装置。所述动力装置用于控制所述真空仓在竖直方向的运动。所述落体设置于所述真空仓内。所述真空仓底部设置有真空仓观察窗用于观测所述落体的自由落体运动。所述绝对重力测量系统进一步包括设置在所述壳体内的真空仓位移测量装置。所述真空仓位移测量装置包括设置于所述壳体内部的光栅尺，以及固定安装在所述真空仓外壳的读数头。所述绝对重力测量系统进一步包括空气折射率测量装置，用于测量所述壳体内部的空气折射率。
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公开(公告)号：CN111708096B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202010504886.9
申请日：2020-06-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种平衡下落机构和重力仪，所述驱动装置可以驱动所述调节件在竖直方向运动。当所述承载件和所述待测质量件在竖直方向运动，且所述待测质量件与所述承载件分离使所述待测质量件做自由落体运动时，可以通过质点系动量定理对所述重力仪整体进行分析，以所述重力仪整体质心保持不变为控制目标，得出所述调节件在竖直方向运动的状态。进而可以通过控制所述调节件的运动状态使得所述重力仪整体质心保持不变，从而得到的消除所述反冲振动对测量过程的影响。
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