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公开(公告)号：CN101750481B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200810239541.4
申请日：2008-12-12
Applicant: 清华大学
IPC: G01N33/50
Abstract: 本发明涉及集成光栅微悬臂梁生化传感器，包括玻璃片表面上设置的金属光栅和电极；电极和光栅上覆盖的绝缘层，并在玻璃片上设置有微悬臂梁结构以及微悬臂梁上表面的特异性吸附层，微悬臂梁和光栅之间有一定的间隙，光电检测电路与电极相连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与微悬臂梁下反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的生化检测。利用MEMS技术和成熟的激光二级管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN101749219B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200810239184.1
申请日：2008-12-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于精密机械中微型流体泵技术领域，涉及微型蠕动泵，主要由微泵芯片和驱动机构两部分组成。其中微泵芯片由微泵薄膜沟道结构层和底板组成，微泵薄膜沟道包括依次连通的进液口、入口过渡沟道槽、环形沟道、出口过渡沟道槽、出液口。驱动机构包括位于薄膜上方的钢球，吸引钢球的磁铁，带动磁铁转动的微电机以及联接电机和磁铁的轴套。本发明具有结构简单，工作可靠，能够控制流体流动，流量稳定，流量调节范围大，外形尺寸较小，无需高压或加热等苛刻条件等特点。
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公开(公告)号：CN101666643A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910092450.7
申请日：2009-09-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于高度测量设备领域，特别涉及一种基于气压测量和卫星导航定位系统数据处理的高度计测装置。气压测定组件和卫星导航定位系统接收机分别与判断和计算组件连接，气压测定组件根据气压解算出气压高度，卫星导航定位系统接收机解算出卫星导航定位系统高度并判断卫星导航定位系统是否中断和跳点，在卫星导航定位系统不发生中断和跳点时，用卫星导航定位系统高度修正气压高度；在卫星导航定位系统高度未更新时，或卫星导航定位系统高度中断或跳点时，最终的高度值等于气压高度。这样，就可以获得高更新率、准确、可靠的高度值。
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公开(公告)号：CN100428500C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200610000995.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及的基于一维半导体纳米结构的光电传感器和制作方法，包括：一单晶硅片式基体；依次通过热氧化法生长于单晶硅片式基体表面上的二氧化硅层和采用低压化学气相沉积法或等离子增强化学气相沉积法淀积在二氧化硅层表面上的氮化硅层；二氧化硅层和氮化硅层构成绝缘层；还包括：通过光刻/离子刻蚀法制备于绝缘层表面上的由第一梳式电极和第二梳式电极构成的梳式电极对；电极对的多梳齿端相对放置，之间组装有一维半导体纳米结构；有益效果：微电极对的制作为标准微加工工艺，方法简单；一维半导体纳米结构尺寸小，表面积/体积比大，光电效率高，且简单的电泳组装可实现批量生产；该光电传感器尺寸小，灵敏度高，能用于光检测、光开关等。
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公开(公告)号：CN100427954C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200510007630.2
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米材料的微型膜片式加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥；所述的信号处理电路包括：整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上，使膜片发生应变，利用膜片上的纳米材料测出应变，利用全桥检测方法，将材料应变转化为电信号，再通过一系列的信号处理过程，从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100427759C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN03157069.0
申请日：2003-09-12
Applicant: 清华大学 , 韩国三星综合技术研究院
IPC: F04B45/047
Abstract: 本发明公开了属于精密机械中微型流体泵技术领域的一种双压电梁驱动的膜片气泵。它包含一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN100347577C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200510093339.1
申请日：2005-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于光波导器件领域的一种光波导光钳系统。是在机械装置上固定光波导光钳，光波导光钳与光纤阵列相连接，样品台设置在光波导光钳和显微镜之间，显微镜依次和CCD摄像机、监视器连接；激光器为捕获光源，光纤阵列的尾纤通过光纤耦合器将激光器的输出光耦合到光纤阵列中，再进入光波导光钳中，控制电路与激光器连接。本发明中由机械装置控制光波导光钳的空间位置，由控制电路控制光波导光钳的通光情况，由此实现光波导光钳对微粒的捕获、固定、移动和旋转操纵。光波导光钳系统中，捕获光学系统与观察光学系统完全分离，捕获光学系统可以实现模块化。在实际应用中，可以方便地调整系统结构或结合使用其它测量设备，系统柔性高。
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公开(公告)号：CN101020892A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710064145.8
申请日：2007-03-02
Applicant: 清华大学
IPC: C12M1/42
CPC classification number: C12M35/02
Abstract: 本发明涉及一种用于单细胞电穿孔的纳电极和系统，该纳电极由一根本体，所述的本体头部具有尖端形状，和在该本体的其余部分覆盖的绝缘层，以及固定在所述本体另一端的一根电极引线组成；其尖端状部分的直径为1nm－10μm×长度1nm－100μm。本发明的系统包括纳电极和微电极，所述的微电极安装在一根玻璃微吸管内，该玻璃微吸管管口直径为100nm－100μm；纳电极和微电极分别安装在2台微操作器上，该纳电极和微电极的电极引线分别与电穿孔信号发生器电连接，其纳电极的尖端和微电极前端与培养液中的细胞组成单细胞阻抗检测电路；玻璃微吸管在微操作器的控制下可实现对单个细胞的捕捉；单细胞阻抗检测电路可实现对单细胞基因电转导过程的实时监控。本发明提出的这种单细胞电穿孔系统具有场强集中、微区、低电压、低发热量、对细胞损伤小等特点。
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公开(公告)号：CN1987486A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610169643.4
申请日：2006-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02 , B81C1/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明涉及集成光栅干涉微机械加速度传感器，包括第一玻璃片表面上设置金属光栅和电极；硅片上设置质量块，和质量块上设置N个凸台，并淀积一层反射面；及梁或膜上支撑质量块，该质量块另一端与硅片形成的键合台面连接；第一玻璃片带有金属光栅和电极的面与硅片上设置质量块的反射面相对布置，且光栅的位置与硅岛的位置相对，通过键合工艺形成一体，并且该硅片上的质量块与玻璃间形成微小间隙，组成传感器的敏感单元，光电检测电路与敏感单元的电极连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的加速度测量。利用MEMS技术和成熟的激光二极管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN1805156A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610000995.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及的基于一维半导体纳米结构的光电传感器和制作方法，包括：一单晶硅片式基体；依次通过热氧化法生长于单晶硅片式基体表面上的二氧化硅层和采用低压化学气相沉积法或等离子增强化学气相沉积法淀积在二氧化硅层表面上的氮化硅层；二氧化硅层和氮化硅层构成绝缘层；还包括：通过光刻/离子刻蚀法制备于绝缘层表面上的由第一梳式电极和第二梳式电极构成的梳式电极对；电极对的多梳齿端相对放置，之间组装有一维半导体纳米结构；有益效果：微电极对的制作为标准微加工工艺，方法简单；一维半导体纳米结构尺寸小，表面积/体积比大，光电效率高，且简单的电泳组装可实现批量生产；该光电传感器尺寸小，灵敏度高，能用于光检测、光开关等。
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