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公开(公告)号：CN103620343B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280030119.2
申请日：2012-06-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5677 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC classification number: G01P9/04 , G01C19/5684
Abstract: 实现一种振子及振动陀螺仪，该振子具有位置固定的节点，且不论厚度及宽度尺寸的调整如何，共振频率都低，该振动陀螺仪能够使用该振子而以高的灵敏度检测角速度。振动陀螺仪(11)的振子(1)具备圆形环状部(2)、矩形环状部(3)、连结部(4A～4D)。矩形环状部(3)配置在圆形环状部(2)的外侧。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与矩形环状部(3)之间连结。矩形环状部(3)由直线状的梁部(3A～3D)构成。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与梁部(3A～3D)的中心部连结。
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公开(公告)号：CN1240159C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03122692.2
申请日：2003-04-03
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02669 , H03H9/0033 , H03H9/6426 , H03H9/6459
Abstract: 本发明提供一种不怎么影响主传播波模并能有效地抑制因横波模引起的脉动的纵向耦合谐振器型表面波装置。纵向耦合谐振器型表面波装置(1)，在表面波基板(2)上，沿表面波传播方向配置分别具有多根电极指的IDT(3、4)，在相邻的IDT(3、4)的邻接电极指(3、4)，在交叉宽度方向中央附近设置电不连接部A，在该电不连接部A沿交叉宽度方向配置至少一个浮置电极(5)。
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公开(公告)号：CN1180532C
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN00102362.4
申请日：2000-02-18
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/02669 , H03H9/0057 , H03H9/14514
Abstract: 本发明提供了一种边缘反射式表面声波装置，它包括表面声波基片，该基片具有一对相对的边缘，还包括至少一个位于表面声波基片上的叉指式换能器。通过叉指式换能器产生切向水平式表面声波，并在相对的边缘对之间反射。沿表面声波传播方向，将叉指式换能器分为多个子IDT部分。使相邻的子IDT部分之间相互非常接近的叉指式换能器的电极指处于同一电位，从而在相邻的子IDT部分之间不激励。另外，当假设在切割基片之前，最外面电极指沿叉指式换能器的表面声波传播方向的宽度等于剩下的电极指的宽度时，如此安排边缘，从而在沿着表面声波传播方向的最外面电极指的中心的内侧位置切割边缘，从而基片相对边缘之间的距离不是λ0/2的整数倍。
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公开(公告)号：CN1545205A
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN200410047475.2
申请日：2001-09-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02669 , H03H9/14552 , H03H9/6436 , H03H9/6463 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49011 , Y10T29/4908 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913
Abstract: 一种调节边沿反射型表面声波器件频率特性的方法，包括获得具有压电基片的边沿反射型表面声波器件的频率特性的步骤。边沿反射型表面声波器件的一对压电基片边沿限定了其间的预定距离。接着，在一对位置的至少一个位置上切割压电基片，当边沿反射型表面声波器件的最终频率特性要高于得到的频率特性时，该位置限定的距离便短于预定距离；而当边沿反射型表面声波器件的最终频率特性要低于得到的频率特性时，该位置限定的距离则长于预定距离。
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公开(公告)号：CN103688136B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201280035321.4
申请日：2012-07-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5621 , H01L41/08 , H01L41/18
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5621 , H01L41/09 , Y10T74/12 , Y10T74/18856
Abstract: 实现即便小型化也能有效地降低谐振频率振动器、和能使用该振动器以较高的灵敏度来检测角速度的振动陀螺仪。振动器(1)具备第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)、基端侧锤部部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)的X轴正方向的端部在Y轴方向上相互隔开间隔地对置，X轴负方向的端部相互连结。基端侧锤部(3)配置在第1圆弧状梁部和第2圆弧状梁部(2A、2B)之间。基端侧锤部用连结部(6A)配置成从第1圆弧状梁部(2A)和第2圆弧状梁部(2B)的连结部分起在X轴正方向上延伸，且与基端侧锤部(3)连结。(3)、和基端侧锤部用连结部(6A)。第1圆弧状梁
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公开(公告)号：CN103688136A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280035321.4
申请日：2012-07-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5621 , H01L41/08 , H01L41/18
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5621 , H01L41/09 , Y10T74/12 , Y10T74/18856
Abstract: 实现即便小型化也能有效地降低谐振频率振动器、和能使用该振动器以较高的灵敏度来检测角速度的振动陀螺仪。振动器(1)具备第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)、基端侧锤部(3)、和基端侧锤部用连结部(6A)。第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)的X轴正方向的端部在Y轴方向上相互隔开间隔地对置，X轴负方向的端部相互连结。基端侧锤部(3)配置在第1圆弧状梁部和第2圆弧状梁部(2A、2B)之间。基端侧锤部用连结部(6A)配置成从第1圆弧状梁部(2A)和第2圆弧状梁部(2B)的连结部分起在X轴正方向上延伸，且与基端侧锤部(3)连结。
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公开(公告)号：CN103620343A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280030119.2
申请日：2012-06-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01C19/5677 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC classification number: G01P9/04 , G01C19/5684 , H01L41/0805
Abstract: 实现一种振子及振动陀螺仪，该振子具有位置固定的节点，且不论厚度及宽度尺寸的调整如何，共振频率都低，该振动陀螺仪能够使用该振子而以高的灵敏度检测角速度。振动陀螺仪(11)的振子(1)具备圆形环状部(2)、矩形环状部(3)、连结部(4A～4D)。矩形环状部(3)配置在圆形环状部(2)的外侧。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与矩形环状部(3)之间连结。矩形环状部(3)由直线状的梁部(3A～3D)构成。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与梁部(3A～3D)的中心部连结。
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公开(公告)号：CN1166056C
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN01132669.7
申请日：2001-09-06
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02669 , H03H9/14552 , H03H9/6436 , H03H9/6463 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49011 , Y10T29/4908 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913
Abstract: 一种调节边沿反射型表面声波器件频率特性的方法，包括获得具有压电基片的边沿反射型表面声波器件的频率特性的步骤。边沿反射型表面声波器件的一对压电基片边沿限定了其间的预定距离。接着，在一对位置的至少一个位置上切割压电基片，当边沿反射型表面声波器件的最终频率特性要高于得到的频率特性时，该位置限定的距离便短于预定距离；而当边沿反射型表面声波器件的最终频率特性要低于得到的频率特性时，该位置限定的距离则长于预定距离。
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公开(公告)号：CN1144358C
公开(公告)日：2004-03-31
申请号：CN98115451.4
申请日：1998-07-07
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/6436 , H03H9/02669 , H03H9/02716 , H03H9/02771 , H03H9/02795 , H03H9/6446 , H03H9/6469 , H03H9/6483
Abstract: 一种声表面波器件，包括具有第一和第二端面的声表面波基片，和设置在声表面波基片上，并使用SH型声表面波工作的声表面波元件。声表面波元件包括具有多个电极叉指的叉指换能器和具有多个电极叉指的反射器。一对最外面的电极叉指中的一个叉指和声表面波基片的第一和第二端面中的一个端面齐平，反射器位于放置一对最外面的电极叉指中的另一个叉指的一侧，从而由IDT激励的SH型声表面波被限制在反射器和第一和第二端面的一个端面之间。
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公开(公告)号：CN1269610A
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：CN00106481.9
申请日：2000-04-07
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02669
Abstract: 本发明揭示了一种边缘反射型声表面波器件,包含由压电单晶制成,并具有第一和第二相对边缘的声表面波基片,至少一个设置在声表面波基片上的叉指式换能器。如此构成声表面波器件,从而切向水平型声表面波在第一和第二相对边缘之间反射。声表面波基片由离子注入的压电单晶基片制成。
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