振动陀螺仪元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN102246003A

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN200980150142.3

    申请日:2009-12-08

    CPC classification number: G01C19/5755 Y10T29/42

    Abstract: 振动陀螺仪元件(1)包括压电基板(3)、上主面电极(2)、下主面电极(4)、以及支承基板(5)。压电基板(3)设置有内侧开放孔(31)和外侧开放孔(33)。内侧开放孔(31)使X-Y面上的框状区域(3B)的侧端面露出至框内。外侧开放孔(33)使框状区域(3B)的侧端面露出至框外。上主面电极(2)中的驱动检测电极(2A)与框状区域(3B)的上主面相接合,并和下主面电极(4)一起与框状区域(3B)在Z轴方向上的位移、和框状区域(3B)在与X-Y面平行的方向上的位移进行机电耦合。支承基板(5)确保框状区域(3B)的振动空间,并对压电基板(3)进行支承。振动空间防止框状区域(3B)与支承基板(5)发生干涉,并与内侧开放孔(31)及外侧开放孔(33)连通。

    表面波元件的制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1127955A

    公开(公告)日:1996-07-31

    申请号:CN95115223.8

    申请日:1995-07-19

    Abstract: 铝电极膜在钟形罩内的表面波元件基片上形成,并在铝电极膜形成后通过向钟形罩充入氮气或氧气的方法覆盖氮化膜(铝氮化膜)或氧化膜(氧化铝膜)以作为绝缘膜,绝缘膜可以消除由于金属罩背面上的涂层剥落和金属罩与基座焊接造成的金属颗粒的有害影响。这样就减少了绝缘电阻的损失并避免了在切割过程中的电极腐蚀。

    振子及振动陀螺仪
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103620343B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201280030119.2

    申请日:2012-06-28

    CPC classification number: G01P9/04 G01C19/5684

    Abstract: 实现一种振子及振动陀螺仪,该振子具有位置固定的节点,且不论厚度及宽度尺寸的调整如何,共振频率都低,该振动陀螺仪能够使用该振子而以高的灵敏度检测角速度。振动陀螺仪(11)的振子(1)具备圆形环状部(2)、矩形环状部(3)、连结部(4A~4D)。矩形环状部(3)配置在圆形环状部(2)的外侧。连结部(4A~4D)将圆形环状部(2)与矩形环状部(3)之间连结。矩形环状部(3)由直线状的梁部(3A~3D)构成。连结部(4A~4D)将圆形环状部(2)与梁部(3A~3D)的中心部连结。

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