公开(公告)号：CN103620343B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201280030119.2

申请日：2012-06-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  米田年麿 ,  羽田拓生 ,  堀内秀哉

IPC: G01C19/5677 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

CPC classification number: G01P9/04 ,  G01C19/5684

Abstract: 实现一种振子及振动陀螺仪，该振子具有位置固定的节点，且不论厚度及宽度尺寸的调整如何，共振频率都低，该振动陀螺仪能够使用该振子而以高的灵敏度检测角速度。振动陀螺仪(11)的振子(1)具备圆形环状部(2)、矩形环状部(3)、连结部(4A～4D)。矩形环状部(3)配置在圆形环状部(2)的外侧。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与矩形环状部(3)之间连结。矩形环状部(3)由直线状的梁部(3A～3D)构成。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与梁部(3A～3D)的中心部连结。

公开(公告)号：CN101467034B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200780021611.2

申请日：2007-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 冈口健二朗 ,  羽田拓生 ,  门田道雄

IPC: G01N29/02

CPC classification number: G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0425

Abstract: 提供一种可以更高灵敏度且准确地测定液体中的检测物质的液体中物质检测传感器。该液体中物质检测传感器(1)具备：含有按照覆盖至少1个IDT的方式来设置与液体中的物质反应的反应膜的感测用SAW元件(12)、及包含第1放大电路(15)的感测用振荡电路(11)；和包含具有至少1个IDT、没有反应膜的参考用SAW元件(22)、及第2放大电路(25)的参考用振荡电路(21)；感测用振荡电路(11)的振荡频率、和参考用振荡电路(21)的振荡频率在设感测用SAW元件及参考用SAW元件所使用的压电基板的机电耦合数为k2(％)时，间隔200×k2(ppm)以上。

公开(公告)号：CN101467034A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780021611.2

申请日：2007-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 冈口健二朗 ,  羽田拓生 ,  门田道雄

IPC: G01N29/02

CPC classification number: G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0425

Abstract: 提供一种可以更高灵敏度且准确地测定液体中的检测物质的液体中物质检测传感器。该液体中物质检测传感器(1)具备：含有按照覆盖至少1个IDT的方式来设置与液体中的物质反应的反应膜的感测用SAW元件(12)、及包含第1放大电路(15)的感测用振荡电路(11)；和包含具有至少1个IDT、没有反应膜的参考用SAW元件(22)、及第2放大电路(25)的参考用振荡电路(21)；感测用振荡电路(11)的振荡频率、和参考用振荡电路(21)的振荡频率在设感测用SAW元件及参考用SAW元件所使用的压电基板的机电耦合数为k2(％)时，间隔200×k2(ppm)以上。

公开(公告)号：CN103688136B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201280035321.4

申请日：2012-07-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  米田年麿 ,  羽田拓生 ,  堀内秀哉

IPC: G01C19/5621 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  H01L41/09 ,  Y10T74/12 ,  Y10T74/18856

Abstract: 实现即便小型化也能有效地降低谐振频率振动器、和能使用该振动器以较高的灵敏度来检测角速度的振动陀螺仪。振动器(1)具备第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)、基端侧锤部部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)的X轴正方向的端部在Y轴方向上相互隔开间隔地对置，X轴负方向的端部相互连结。基端侧锤部(3)配置在第1圆弧状梁部和第2圆弧状梁部(2A、2B)之间。基端侧锤部用连结部(6A)配置成从第1圆弧状梁部(2A)和第2圆弧状梁部(2B)的连结部分起在X轴正方向上延伸，且与基端侧锤部(3)连结。(3)、和基端侧锤部用连结部(6A)。第1圆弧状梁

公开(公告)号：CN103688136A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201280035321.4

申请日：2012-07-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  米田年麿 ,  羽田拓生 ,  堀内秀哉

IPC: G01C19/5621 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  H01L41/09 ,  Y10T74/12 ,  Y10T74/18856

Abstract: 实现即便小型化也能有效地降低谐振频率振动器、和能使用该振动器以较高的灵敏度来检测角速度的振动陀螺仪。振动器(1)具备第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)、基端侧锤部(3)、和基端侧锤部用连结部(6A)。第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)的X轴正方向的端部在Y轴方向上相互隔开间隔地对置，X轴负方向的端部相互连结。基端侧锤部(3)配置在第1圆弧状梁部和第2圆弧状梁部(2A、2B)之间。基端侧锤部用连结部(6A)配置成从第1圆弧状梁部(2A)和第2圆弧状梁部(2B)的连结部分起在X轴正方向上延伸，且与基端侧锤部(3)连结。

公开(公告)号：CN103620343A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280030119.2

申请日：2012-06-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  米田年麿 ,  羽田拓生 ,  堀内秀哉

IPC: G01C19/5677 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

CPC classification number: G01P9/04 ,  G01C19/5684 ,  H01L41/0805

Abstract: 实现一种振子及振动陀螺仪，该振子具有位置固定的节点，且不论厚度及宽度尺寸的调整如何，共振频率都低，该振动陀螺仪能够使用该振子而以高的灵敏度检测角速度。振动陀螺仪(11)的振子(1)具备圆形环状部(2)、矩形环状部(3)、连结部(4A～4D)。矩形环状部(3)配置在圆形环状部(2)的外侧。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与矩形环状部(3)之间连结。矩形环状部(3)由直线状的梁部(3A～3D)构成。连结部(4A～4D)将圆形环状部(2)与梁部(3A～3D)的中心部连结。