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公开(公告)号：CN1166057C
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN01140841.3
申请日：2001-09-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 一种表面声波器件包括压电衬底；和至少一个叉指式换能器，它具有彼此平行延伸的指状电极，所述至少一个叉指式换能器是被装置在所述压电衬底上，并由一种重于铝的金属或一种重于铝的合金制成；其中在所述至少一个叉指式换能器的指状电极延伸方向上表面声波的声速分布不大于百万分之276，从而有效地抑制了相当大的纹波，这种纹波引人注意地群延迟时间特性中发现，尤其是，在带通区域内。本发明还揭示了制造上述表面声波器件的方法。
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公开(公告)号：CN1209888C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN02144027.1
申请日：2002-09-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/14552 , H03H9/02543 , H03H9/6496
Abstract: 本发明提供一种表面波装置和通信机。所述装置是用压电基板的SH型的端面反射型表面波装置，在该装置中，求压电基板的端面的最合适位置同时使用该压电基板。在介电常数ε11T比较小(例如介电常数小于40)的压电基板(12)的主面形成梳状电极(13、14)。从梳状电极(13、14)中自表面波传播方向的最外侧数起第2支电极指(13b)的中心起到压电基板(12)的端面(12a、12b)(用来使表面波反射的端面)的距离记为L，在决定该端面(12a、12b)的位置时使L满足(N+5/8)λs≤L≤(N+7/8)λs的关系式，其中，λs为表面波的波长，N为0或正整数。
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公开(公告)号：CN1450685A
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：CN03122692.2
申请日：2003-04-03
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02669 , H03H9/0033 , H03H9/6426 , H03H9/6459
Abstract: 本发明提供一种不怎么影响主传播波模并能有效地抑制因横波模引起的脉动的纵向耦合谐振器型表面波装置。纵向耦合谐振器型表面波装置(1)，在表面波基板(2)上，沿表面波传播方向配置分别具有多根电极指的IDT(3、4)，在相邻的IDT(3、4)的邻接电极指(3、4)，在交叉宽度方向中央附近设置电不连接部A，在该电不连接部A沿交叉宽度方向配置至少一个浮置电极(5)。
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公开(公告)号：CN1411170A
公开(公告)日：2003-04-16
申请号：CN02144027.1
申请日：2002-09-27
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/14552 , H03H9/02543 , H03H9/6496
Abstract: 本发明提供一种表面波装置和通信机。所述装置是用压电基板的SH型的端面反射型表面波装置，在该装置中，求压电基板的端面的最合适位置同时使用该压电基板。在介电常数ε11T比较小(例如介电常数小于40)的压电基板(12)的主面形成梳状电极(13、14)。从梳状电极(13、14)中自表面波传播方向的最外侧数起第2支电极指(13b)的中心起到压电基板(12)的端面(12a、12b)(用来使表面波反射的端面)的距离记为L，在决定该端面(12a、12b)的位置时使L满足(N+5/8)λs≤L≤(N+7/8)λs的关系式，其中，λs为表面波的波长，N为0或正整数。
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公开(公告)号：CN1277352C
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN03128667.4
申请日：2003-04-09
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08 , H01L41/29 , H03H9/64 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 提供一种电子部件的制造方法，该制造方法不需要特别的装置，且不需要昂贵的气体，该电子部件具有电阻率小且膜硬度高及弯曲少的由α相钨构成的电极膜。该电子部件的制造方法包括：在100～300℃的基板温度下，由溅射法在基板上形成由α相钨构成的电极膜的电极膜形成工序；加工该电极膜成所希望的形状的工序；热处理电极膜的工序。
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公开(公告)号：CN1240159C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03122692.2
申请日：2003-04-03
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02669 , H03H9/0033 , H03H9/6426 , H03H9/6459
Abstract: 本发明提供一种不怎么影响主传播波模并能有效地抑制因横波模引起的脉动的纵向耦合谐振器型表面波装置。纵向耦合谐振器型表面波装置(1)，在表面波基板(2)上，沿表面波传播方向配置分别具有多根电极指的IDT(3、4)，在相邻的IDT(3、4)的邻接电极指(3、4)，在交叉宽度方向中央附近设置电不连接部A，在该电不连接部A沿交叉宽度方向配置至少一个浮置电极(5)。
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公开(公告)号：CN1450718A
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：CN03128667.4
申请日：2003-04-09
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08 , H01L41/29 , H03H9/64 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 提供一种电子部件的制造方法，该制造方法不需要特别的装置，且不需要昂贵的气体，该电子部件具有电阻率小且膜硬度高及弯曲少的由α相钨构成的电极膜。该电子部件的制造方法包括：在100～300℃的基板温度下，由溅射法在基板上形成由α相钨构成的电极膜的电极膜形成工序；加工该电极膜成所希望的形状的工序；热处理电极膜的工序。
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