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公开(公告)号：CN116197945A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211502546.8
申请日：2022-11-28
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J19/00
Abstract: 一种水平多关节机器人，其臂在水平方向上动作，能抑制液体从关节部向水平多关节机器人的内部渗入。该水平多关节机器人具备第一臂部(7)和配置在第一臂部(7)的上侧并可转动地与第一臂部连接的第二臂部(8)。第一臂部具备环状的轴承按压部件(26)，其在成为第一臂部与第二臂部的连接部分的关节部(11)中构成第一臂部的外周侧部分的一部分，第二臂部具备臂部主体(29)，其在关节部(11)中构成第二臂部的外周侧部分。臂部主体具备筒状的筒状覆盖部(29a)，其从关节部(11)的径向外侧遍及整周地覆盖轴承按压部件(26)的上侧部分，筒状覆盖部(29a)的下端配置在比轴承按压部件(26)的上端靠下侧的位置。
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公开(公告)号：CN114203607A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111054342.8
申请日：2021-09-09
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/687 , B25J11/00
Abstract: 本发明提供一种工业用机器人，其具备：具有在上下方向上以规定间距重叠的多个手的装载机构，其中，即使能够在不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也可以使装载机构的基端侧部分小型化。在所述工业用机器人中，例如，在手(15)上，构成手(15)的装载部的一部分的被固定部(38)，通过头部(62a)配置于下侧的螺栓(62)，而固定于手(15)的固定部(50)。在配置于螺栓(62)的下侧的所有固定部(51～59)及被固定部(39～47)，形成有用于使工具(T)从配置于最下方的手(24)的下侧卡合于头部(62a)的贯通孔(h1)，贯通孔(h1)的内径大于头部(62a)的外径。
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公开(公告)号：CN114193484A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111079344.2
申请日：2021-09-15
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J15/00
Abstract: 本发明提供一种工业用机器人，其具备用于改变装载搬运对象物的多个装载部在上下方向上的间距的间距变更机构，其中，能够将间距变更机构小型化。在该工业用机器人中，间距变更机构(25)具备使配置于最下方的手(24)升降的升降机构(91)。在该工业用机器人中，当升降机构(91)使手(24)上升时，其余的手(14～23)随着手(24)的上升而上升，多个装载部在上下方向上的间距成为第一间距，当升降机构(91)使手(24)下降时，至少手(14～23)随着手(24)的下降而下降，多个装载部在上下方向上的间距成为第二间距。
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公开(公告)号：CN106463439B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201580025293.1
申请日：2015-10-21
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/06
Abstract: 本申请提供一种工业用机器人，其即使延长构成臂的各臂部的长度并且使臂相对于主体部的转动中心靠近FOUP侧或者半导体晶圆处理装置侧，也能够适当地搬运半导体晶圆。具体而言，若将臂部(20)的顶端的曲率半径作为R，将臂部(20)的宽度减小部(20a)的角度作为角度θ，将连接手(15)的转动中心(C2)和臂部(20)的转动中心(C3)的臂部中心线(CL)的长度作为长度L，将在将晶圆搬入FOUP(8)后的臂部中心线(CL)相对于第一面(10c)的角度作为第一角度θ1，将在将晶圆搬入FOUP(8)后的转动中心(C3)与第一壁面(10c)的距离作为距离d1，则该工业用机器人中，L×sinθ1＜d1‑R的关系成立，并且θ≤2×θ1的关系成立。
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公开(公告)号：CN114454182B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202111286347.3
申请日：2021-11-02
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor： 栗林保
IPC: B25J9/22
Abstract: 本发明提供一种工业用机器人的示教方法，所述工业用机器人具备装载输送对象物的手，其中，即使手不具备边侧插接型的保持部，当进行工业用机器人的示教时，也能够以输送对象物被配置于手上的常规的位置的方式在短时间内将输送对象物装载到手上。在该工业用机器人的示教方法中，在使手(11)移动到规定位置进行工业用机器人的示教的示教步骤之前的定位部件安装步骤中，将用于确定装载于手(11)上的输送对象物(2)的水平方向上的位置的定位部件(25)安装至手(11)上。当输送对象物(2)以输送对象物(2)的端面与定位部件(25)接触的状态被装载于手(11)上时，输送对象物(2)在手(11)上配置于常规的装载位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114649238A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202111543437.6
申请日：2021-12-16
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , B25J11/00
Abstract: 一种工业用机器人，能够抑制运算量的增加、装置的复杂化，同时能够将搬运对象物高精度地搬运到目标位置。将晶片(2)搬运到目标位置之前的手(14)的位置设为第一位置。将在晶片相对于手的基准位置没有位置偏差时用于将晶片搬运到目标位置的手的移动目的地设为第二位置。将第一位置和第二位置之间的位置设为第三位置。将在使把持晶片的手从第一位置移动到第三位置的中途供晶片通过的位置设为第四位置。透射型传感器(111)设置于第四位置，检测晶片的通过。工业用机器人(5)使把持晶片的手从第一位置移动到第三位置，根据基于透射型传感器的检测结果检测到的位置偏差计算对第二位置进行了修正的第五位置，使手从第三位置移动到第五位置。
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公开(公告)号：CN114012743A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202110804644.6
申请日：2021-07-16
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够抑制搬运对象物交付时的冲击的工业用机器人。该工业用机器人具备装载搬运对象物(2)的手(4、14)和用于修正手(4、14)的倾斜的倾斜修正机构(8)。倾斜修正机构(8)具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手(4、14)转动的第一倾斜修正机构(45)；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手(4、14)转动的第二倾斜修正机构(46)。
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公开(公告)号：CN105408068B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201480040746.3
申请日：2014-08-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B25J11/0095 , B25J9/042 , B25J9/044 , B25J18/04 , B65G47/90 , B65G47/902 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/67781 , H01L21/68707 , Y10S901/14 , Y10S901/17
Abstract: 提供一种臂在水平方向上动作的水平多关节机器人，其能在较短时间内容易地以使手向水平方向高精度地动作的方式设置。臂(6)在水平方向上动作的水平多关节机器人(1)具有：手(4、5)，其装载搬运对象物；臂(6)，其具有手侧臂部(18)和第二手侧臂部(17)这至少两个臂部，手(4、5)与手侧臂部(18)的末端侧连接为能旋转，手侧臂部(18)的基端侧与第二手侧臂部(17)的末端侧连接为能旋转；主体部(7)，臂(6)的基端侧与其连接为能旋转；以及水准器(23)，其安装于主体部(7)。在至少调整了手侧臂部(18)的相对于第二手侧臂部(17)的旋转中心轴线相对于铅垂方向的倾斜之后，水准器(23)安装于主体部(7)。
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公开(公告)号：CN107000204A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201680003903.2
申请日：2016-07-25
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/042 , B25J9/06 , B25J11/0095 , B25J18/04 , H01L21/67748 , H01L21/67766
Abstract: 本申请提供一种工业用机器人，能使主体部薄型化，其中，臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。例如，该工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部(7)，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，主体部(7)包括：臂的基端侧以能转动的方式与其上面侧连接的升降体(20)；将升降体(20)保持为能升降并且收容有升降体(20)的至少下端侧的一部分的框体(21)；以及使升降体(20)升降的升降机构(22)。升降机构(22)以在从上下方向观察时与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。
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公开(公告)号：CN105408068A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201480040746.3
申请日：2014-08-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B25J11/0095 , B25J9/042 , B25J9/044 , B25J18/04 , B65G47/90 , B65G47/902 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/67781 , H01L21/68707 , Y10S901/14 , Y10S901/17
Abstract: 提供一种臂在水平方向上动作的水平多关节机器人，其能在较短时间内容易地以使手向水平方向高精度地动作的方式设置。臂(6)在水平方向上动作的水平多关节机器人(1)具有：手(4、5)，其装载搬运对象物；臂(6)，其具有手侧臂部(18)和第二手侧臂部(17)这至少两个臂部，手(4、5)与手侧臂部(18)的末端侧连接为能旋转，手侧臂部(18)的基端侧与第二手侧臂部(17)的末端侧连接为能旋转；主体部(7)，臂(6)的基端侧与其连接为能旋转；以及水准器(23)，其安装于主体部(7)。在至少调整了手侧臂部(18)的相对于第二手侧臂部(17)的旋转中心轴线相对于铅垂方向的倾斜之后，水准器(23)安装于主体部(7)。
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