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    工件输送系统
    1.
    发明公开
    工件输送系统 有权

    公开(公告)号：CN101454125A

    公开(公告)日：2009-06-10

    申请号：CN200780019873.5

    申请日：2007-11-26

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 北原康行 ,  改野重幸

    IPC: B25J9/06 ,  H01L21/677

    CPC classification number: B25J9/042 ,  H01L21/68707

    Abstract: 一种工件输送系统，即使在对许多盒子进行处理时也能防止系统整体变大。工件输送系统具有：收纳工件(31～34)的多个盒子、配置在与多个盒子的排列相对的位置上的工件处理装置(20)、以多关节机器人(1)，多个盒子以与臂关节部(J1)的移动轨迹平行的形态并排配置，连杆机构(3)的基座(2)以及臂关节部(6)相对于工件处理装置(20)与多个盒子之间的中间位置位于朝工件处理装置(20)和多个盒子中的任一侧偏移的位置，在连杆机构(3)的驱动下，连杆关节部(J2)朝与一侧相反的一侧折弯突出。

    工业用机器人
    2.
    发明公开
    工业用机器人 有权

    公开(公告)号：CN106463439A

    公开(公告)日：2017-02-22

    申请号：CN201580025293.1

    申请日：2015-10-21

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 栗林保 ,  北原康行

    IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

    Abstract: 本申请提供一种工业用机器人，其即使延长构成臂的各臂部的长度并且使臂相对于主体部的转动中心靠近FOUP侧或者半导体晶圆处理装置侧，也能够适当地搬运半导体晶圆。具体而言，若将臂部(20)的顶端的曲率半径作为R，将臂部连接手(15)的转动中心(C2)和臂部(20)的转动中心(C3)的臂部中心线(CL)的长度作为长度L，将在将晶圆搬入FOUP(8)后的臂部中心线(CL)相对于第一面(10c)的角度作为第一角度θ1，将在将晶圆搬入FOUP(8)后的转动中心(C3)与第一壁面(10c)的距离作为距离d1，则该工业用机器人中，L×sinθ1＜d1-R的关系成立，并且θ≤2×θ1的关系成立。(20)的宽度减小部(20a)的角度作为角度θ，将

    多关节机器人
    3.
    发明公开
    多关节机器人 有权

    公开(公告)号：CN101156239A

    公开(公告)日：2008-04-02

    申请号：CN200680011480.5

    申请日：2006-04-11

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 北原康行 ,  改野重幸

    IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06 ,  B65G49/07

    Abstract: 一种多关节机器人(1)，在盒子中装载/卸载工件(30)，其特征在于，包括：保持工件(30)的机械手部(7)；将机械手部(7)可旋转保持的机臂部(6)；将机臂部(6)的基端侧可旋转保持、且以机臂部(6)的基端侧的移动轨迹成为与装载/卸载工件(30)的方向大致正交方向的直线的形态进行动作的连杆机构(3)；以及使机臂部(6)的前端侧与连杆机构(3)的移动一致地在装载/卸载工件(30)的方向上以直线插补的形态移动的驱动装置。

    工业用机器人
    4.
    发明授权
    工业用机器人 有权

    公开(公告)号：CN107000204B

    公开(公告)日：2021-06-15

    申请号：CN201680003903.2

    申请日：2016-07-25

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 白木隆裕 ,  北原康行 ,  栗林保 ,  中江孝郎 ,  改野重幸

    IPC: B25J9/06

    Abstract: 本申请提供一种工业用机器人，能使主体部薄型化，其中，臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。例如，该工业用机器人包括：手，该手装载搬运对象物；臂，手以能转动的方式与该臂的前端侧连接；以及主体部(7)，臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接，主体部(7)包括：臂的基端侧以能转动的方式与其上面侧连接的升降体(20)；将升降体(20)保持为能升降并且收容有升降体(20)的至少下端侧的一部分的框体(21)；以及使升降体(20)升降的升降机构(22)。升降机构(22)以在从上下方向观察时与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。

    工业用机器人
    6.
    发明授权
    工业用机器人 有权

    公开(公告)号：CN105008096B

    公开(公告)日：2017-03-08

    申请号：CN201480007743.X

    申请日：2014-08-06

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 北原康行 ,  改野重幸

    IPC: B25J9/06 ,  B25J15/00 ,  B25J15/08 ,  H01L21/677

    CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/042 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/67781

    Abstract: 一种工业用机器人，即便是在有别于装载过规定处理工序前的基板的手的其他手处装载该处理工序后的基板，也能简化结构。工业用机器人(1)包括：第一手(11)及第二手(12)，所述第一手及第二手包括具有一个装载一片基板的基板装载部(20)的第一手部(21)和具有多个基板装载部(20)的第二手部(22)；第一臂(13)，第一手二臂(14)，第二手(12)能够转动地连接到所述第二臂的末端侧；以及臂支承部(15)，所述臂支承部将第一臂(13)的基端侧以及第二臂(14)的基端侧能够转动地连接。在该工业用机器人(1)中，第一手部(21)与第二手部(22)可单独转动，第一臂(13)与第二臂(14)可单独转动。(11)能够转动地连接到所述第一臂的末端侧；第

    工业用机器人
    8.
    发明公开
    工业用机器人 有权

    公开(公告)号：CN105008096A

    公开(公告)日：2015-10-28

    申请号：CN201480007743.X

    申请日：2014-08-06

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 北原康行 ,  改野重幸

    IPC: B25J9/06 ,  B25J15/00 ,  B25J15/08 ,  H01L21/677

    CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/042 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/67781

    Abstract: 一种工业用机器人，即便是在有别于装载过规定处理工序前的基板的手的其他手处装载该处理工序后的基板，也能简化结构。工业用机器人(1)包括：第一手(11)及第二手(12)，所述第一手及第二手包括具有一个装载一片基板的基板装载部(20)的第一手部(21)和具有多个基板装载部(20)的第二手部(22)；第一臂(13)，第一手(11)能够转动地连接到所述第一臂的末端侧；第二臂(14)，第二手(12)能够转动地连接到所述第二臂的末端侧；以及臂支承部(15)，所述臂支承部将第一臂(13)的基端侧以及第二臂(14)的基端侧能够转动地连接。在该工业用机器人(1)中，第一手部(21)与第二手部(22)可单独转动，第一臂(13)与第二臂(14)可单独转动。

    工业用机器人
    9.
    发明授权
    工业用机器人 有权

    公开(公告)号：CN102686368B

    公开(公告)日：2015-08-19

    申请号：CN201180005116.9

    申请日：2011-04-06

    Applicant: 日本电产三协株式会社

    Inventor： 北原康行 ,  改野重幸

    IPC: B25J9/06 ,  B25J17/00 ,  H01L21/677

    CPC classification number: B25J9/042 ,  H01L21/67766 ,  Y10T74/20317 ,  Y10T74/20323

    Abstract: 工业用机器人(1)包括：主体部(3)；第一臂(4)；第二臂(5)；第三臂(6)；将主体部(3)与第一臂(4)连接的第一减速器(21)；将第一臂(4)与第二臂(5)连接的第二减速器(22)；将第一减速器(21)的输入轴(25)与第二减速器(22)的输入轴(32)连接的连接机构(23)；以及驱动第三臂(6)旋转的第二驱动用电动机(40)。第一减速器(21)的减速比及第二减速器(22)的减速比被设定成使将第二臂(5)与第三臂(6)连接的第三关节部的移动轨迹为直线状，并且，连接机构(23)以规定的速度比将输入轴(25)与输入轴(32)连接。另外，第二驱动用电动机(40)安装于第二臂(5)的比第三关节部更靠前端侧的部位，且以朝第一臂(4)侧突出的方式安装于第二臂(5)。

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