-
公开(公告)号:CN105931980B
公开(公告)日:2019-08-09
申请号:CN201610334362.3
申请日:2012-11-20
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor: 改野重幸
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67173 , H01L21/67703 , H01L21/67736 , H01L21/67745 , H01L21/67748 , H01L21/67778
Abstract: 本申请提供一种工件搬运系统,该工件搬运系统能够改善所使用的生产线的生产效率。例如,工件搬运系统(1)具有:机器人(11、12),其配置在对工件(W)进行规定处理的处理模组(4、6)的前方,且向处理模组(4、6)搬入工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出工件(W);工件收纳部(13),其收纳向处理模组(4、6)搬入的工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出的工件(W);以及移动机构(14),其使工件收纳部(13)朝向与相对于处理模组(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移动。
-
公开(公告)号:CN101156239A
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN200680011480.5
申请日:2006-04-11
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07
Abstract: 一种多关节机器人(1),在盒子中装载/卸载工件(30),其特征在于,包括:保持工件(30)的机械手部(7);将机械手部(7)可旋转保持的机臂部(6);将机臂部(6)的基端侧可旋转保持、且以机臂部(6)的基端侧的移动轨迹成为与装载/卸载工件(30)的方向大致正交方向的直线的形态进行动作的连杆机构(3);以及使机臂部(6)的前端侧与连杆机构(3)的移动一致地在装载/卸载工件(30)的方向上以直线插补的形态移动的驱动装置。
-
公开(公告)号:CN116250071A
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN202180067513.2
申请日:2021-09-15
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor: 改野重幸
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种抑制制造成本的同时能够根据用途进行区分使用的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手14具有支承部14b,该支承部14b构成为能够支承抽吸用晶圆装载部14c和夹紧用晶圆装载部14a中的任意一方,支承部14b具有:空气流路144a2,在支承抽吸用晶圆装载部14c的状态下与抽吸孔14c3相连;抽吸用单元147和夹紧用单元146中的仅一方,所述抽吸用单元147包括连结空气配管P的前端与空气流路144a2的连结部件147a,所述夹紧用单元146在支承夹紧用晶圆装载部14a的状态下能够按压晶圆2的端面,支承部14b还具有用于安装抽吸用单元147和夹紧用单元146中的另一方的安装部。
-
公开(公告)号:CN101454125A
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200780019873.5
申请日:2007-11-26
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/042 , H01L21/68707
Abstract: 一种工件输送系统,即使在对许多盒子进行处理时也能防止系统整体变大。工件输送系统具有:收纳工件(31~34)的多个盒子、配置在与多个盒子的排列相对的位置上的工件处理装置(20)、以多关节机器人(1),多个盒子以与臂关节部(J1)的移动轨迹平行的形态并排配置,连杆机构(3)的基座(2)以及臂关节部(6)相对于工件处理装置(20)与多个盒子之间的中间位置位于朝工件处理装置(20)和多个盒子中的任一侧偏移的位置,在连杆机构(3)的驱动下,连杆关节部(J2)朝与一侧相反的一侧折弯突出。
-
公开(公告)号:CN109982816A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201780071876.7
申请日:2017-11-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 本发明的工业用机器人包含:手,其搭载搬送对象物;手臂,其于前端侧可转动地连结手;本体部(7),其可转动地连结手臂的基端侧;及设置构件(8),其用于将本体部(7)设置于地板面。本体部(7)具备:升降体(20),其于上表面侧可转动地连结手臂的基端侧;框体(21),其可升降地保持升降体(20),且收容升降体(20)的至少下端侧的一部分;升降机构(22),其使升降体(20)升降。于该工业用机器人中,升降机构(22)自上下方向观察时,以与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。
-
公开(公告)号:CN107000204A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201680003903.2
申请日:2016-07-25
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/042 , B25J9/06 , B25J11/0095 , B25J18/04 , H01L21/67748 , H01L21/67766
Abstract: 本申请提供一种工业用机器人,能使主体部薄型化,其中,臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。例如,该工业用机器人包括:手,该手装载搬运对象物;臂,手以能转动的方式与该臂的前端侧连接;以及主体部(7),臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接,主体部(7)包括:臂的基端侧以能转动的方式与其上面侧连接的升降体(20);将升降体(20)保持为能升降并且收容有升降体(20)的至少下端侧的一部分的框体(21);以及使升降体(20)升降的升降机构(22)。升降机构(22)以在从上下方向观察时与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。
-
公开(公告)号:CN103930984B
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201280055914.7
申请日:2012-11-20
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor: 改野重幸
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67173 , H01L21/67703 , H01L21/67736 , H01L21/67745 , H01L21/67748 , H01L21/67778
Abstract: 本申请提供一种工件搬运系统,该工件搬运系统能够改善所使用的生产线的生产效率。例如,工件搬运系统(1)具有:机器人(11、12),其配置在对工件(W)进行规定处理的处理模组(4、6)的前方,且向处理模组(4、6)搬入工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出工件(W);工件收纳部(13),其收纳向处理模组(4、6)搬入的工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出的工件(W);以及移动机构(14),其使工件收纳部(13)朝向与相对于处理模组(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移动。
-
公开(公告)号:CN103079777B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201280002410.9
申请日:2012-04-17
Applicant: 日本电产三协株式会社
CPC classification number: B25J19/00 , B25J9/042 , B25J9/101 , G05G5/04 , Y10T74/20329 , Y10T74/2063
Abstract: 一种旋转体的旋转范围限制机构,能抑制尘埃产生及噪声产生。对能相对支承体(5)旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制的旋转范围限制机构(31)包括:能摆动地安装于支承体的摆动构件(45);与摆动构件(45)抵接以限制摆动构件(45)朝一侧的摆动范围的第一限制构件(46);与摆动构件(45)抵接以限制摆动构件(45)朝另一侧的摆动范围的第二限制构件(47);卡合构件(48),其固定于旋转体且与摆动构件(45)卡合以使摆动构件(45)在第一限制位置与第二限制位置间摆动,在第一限制位置上摆动构件(45)与第一限制构件(46)抵接,在第二限制位置上摆动构件(45)与第二限制构件(47)抵接;利用磁吸引力将摆动构件(45)保持于第一限制位置的第一磁力保持机构(51);以及利用磁吸引力将摆动构件(45)保持于第二限制位置的第二磁力保持机构(52)。
-
公开(公告)号:CN103079777A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201280002410.9
申请日:2012-04-17
Applicant: 日本电产三协株式会社
CPC classification number: B25J19/00 , B25J9/042 , B25J9/101 , G05G5/04 , Y10T74/20329 , Y10T74/2063
Abstract: 一种旋转体的旋转范围限制机构,能抑制尘埃产生及噪声产生。对能相对支承体(5)旋转360°以上的旋转体的旋转范围进行限制的旋转范围限制机构(31)包括:能摆动地安装于支承体的摆动构件(45);与摆动构件(45)抵接以限制摆动构件(45)朝一侧的摆动范围的第一限制构件(46);与摆动构件(45)抵接以限制摆动构件(45)朝另一侧的摆动范围的第二限制构件(47);卡合构件(48),其固定于旋转体且与摆动构件(45)卡合以使摆动构件(45)在第一限制位置与第二限制位置间摆动,在第一限制位置上摆动构件(45)与第一限制构件(46)抵接,在第二限制位置上摆动构件(45)与第二限制构件(47)抵接;利用磁吸引力将摆动构件(45)保持于第一限制位置的第一磁力保持机构(51);以及利用磁吸引力将摆动构件(45)保持于第二限制位置的第二磁力保持机构(52)。
-
公开(公告)号:CN101003132A
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:CN200710004498.9
申请日:2007-01-16
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种可容易地向分别独立转动的两个机械手供给机械手控制系统线、且可使两个机械手以较大的相对角度转动的机器人。该机器人包括:机臂(11)、设于机臂(11)一端的转动关节部(20)、以及两层重叠地连接在转动关节部(20)上且以同一转动假想轴为中心分别独立地转动的第一及第二机械手(12、13),转动关节部(20)包括:第一连接构件(14),具有可使机械手控制系统线(21、22)通向所述第一机械手(12)的中空部(23),且具有将筒体部的一部分残留规定长度的圆弧(29)地切去后形成的缺口部(24),并与第一机械手(12)连接使其转动;第二连接构件(15),设于第一连接构件(14)的外侧,并与第二机械手(13)连接使其转动;以及环状构件(26),转动自如地设置在第一连接构件(14)与第二连接构件(15)之间,且具有可使机械手控制系统线(22)经由第一连接构件(14)的中空部(23)和缺口部(24)通向第二机械手(13)的导向构件(25),机械手控制系统线(22)以具有可追随导向构件(25)转动的松弛度的形态保持在框体内。
-
-
-
-
-
-
-
-
-