-
公开(公告)号:CN109968334B
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN201811609309.5
申请日:2018-12-27
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor: 中江孝郎
IPC: B25J9/04
Abstract: 一种工业用机器人,能简化设于关节部的密封部的结构,并抑制在内部产生的尘埃从关节部流出。在该工业用机器人中,在关节部(10)形成有用于抑制气体从工业用机器人的内部向工业用机器人的外部流出的密封部(43)。第一臂部(7)具备用于形成密封部(43)的臂部本体(21),本体部(5)具备用于形成密封部(43)的固定部件(17)及带轮(18)。密封部(43)由第一间隙(S1)和与第一间隙的上端相连的第二间隙(S2)构成,第一间隙(S1)是臂部本体和固定部件的径向的间隙,第二间隙(S2)是臂部本体(21)和带轮(18)的上下方向的间隙,臂部本体(21)、固定部件(17)以及带轮(18)由相同的材料形成。
-
公开(公告)号:CN109968334A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201811609309.5
申请日:2018-12-27
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor: 中江孝郎
IPC: B25J9/04
Abstract: 一种工业用机器人,能简化设于关节部的密封部的结构,并抑制在内部产生的尘埃从关节部流出。在该工业用机器人中,在关节部(10)形成有用于抑制气体从工业用机器人的内部向工业用机器人的外部流出的密封部(43)。第一臂部(7)具备用于形成密封部(43)的臂部本体(21),本体部(5)具备用于形成密封部(43)的固定部件(17)及带轮(18)。密封部(43)由第一间隙(S1)和与第一间隙的上端相连的第二间隙(S2)构成,第一间隙(S1)是臂部本体和固定部件的径向的间隙,第二间隙(S2)是臂部本体(21)和带轮(18)的上下方向的间隙,臂部本体(21)、固定部件(17)以及带轮(18)由相同的材料形成。
-
公开(公告)号:CN114378837A
公开(公告)日:2022-04-22
申请号:CN202111170110.9
申请日:2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备:晶圆装载部(14a);转动部(144),其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如;按压部(145),其被转动部(144)支承为向Y方向移动自如,且能够按压装载在晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面;以及轴部件(146),其与按压部(145)固定连接且构成为沿Y方向移动自如,轴部件(146)能够与转动部(144)的旋转连动而旋转,转动部(144)的旋转轴(AL)和轴部件(146)的轴中心(CP1)一致。
-
公开(公告)号:CN103124617A
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN201180045722.3
申请日:2011-09-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J15/00 , B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J15/0014 , B25J9/043 , B25J9/06 , H01L21/67742 , H01L21/68707 , Y10S901/27
Abstract: 一种工业用机器人,即便在搬运对象物被配置成沿上下方向不重叠的第二配置位置与工业用机器人之间配置有闸门部,也能减小手部相对于主体部的回旋半径,并能防止手部与闸门部的干涉。工业用机器人(1)包括第一手部(3)、第二手部(4)、臂(5)及主体部(6)。第一手部(3)的基端部及第二手部(4)的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂(5)的前端部。第一手部(3)和第二手部(4)能相对于臂(5)个别地旋转,且从上下方向观察时能相对于臂(5)以共同的旋转中心(C1)为中心进行旋转。另外,第一手部(3)及第二手部(4)从上下方向观察时弯曲,且从上下方向观察时相对于穿过旋转中心(C1)的规定的假想线形成为大致线对称。
-
公开(公告)号:CN107000204B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201680003903.2
申请日:2016-07-25
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06
Abstract: 本申请提供一种工业用机器人,能使主体部薄型化,其中,臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。例如,该工业用机器人包括:手,该手装载搬运对象物;臂,手以能转动的方式与该臂的前端侧连接;以及主体部(7),臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接,主体部(7)包括:臂的基端侧以能转动的方式与其上面侧连接的升降体(20);将升降体(20)保持为能升降并且收容有升降体(20)的至少下端侧的一部分的框体(21);以及使升降体(20)升降的升降机构(22)。升降机构(22)以在从上下方向观察时与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。
-
公开(公告)号:CN110027013A
公开(公告)日:2019-07-19
申请号:CN201811610489.9
申请日:2018-12-27
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor: 中江孝郎
IPC: B25J19/00
Abstract: 本发明提供一种工业用机器人,其具备臂和可升降地保持臂的本体部,可以防止臂下降时的、尘埃从本体部的内部向臂侧的流出。该工业用机器人的本体部(5)具备连结臂的升降体(10)、收容升降体(10)的至少一部分的框体(11)、用于排出框体(11)内部的气体的排气扇(13),在框体11上形成有排气孔(15a)。在该工业用机器人中,将升降体(10)的、与上下方向正交的截面中由升降体(10)的外形限定的面积作为升降体截面积,且将在上下方向上的升降体(10)的整个区域中成为最大的升降体截面积作为最大截面积时,升降体(10)下降时的排气扇(13)的每单位时间的排气量(m3/秒)大于最大截面积(m2)和升降体(10)的下降速度(米/秒)的乘积。
-
公开(公告)号:CN103124617B
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201180045722.3
申请日:2011-09-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J15/00 , B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J15/0014 , B25J9/043 , B25J9/06 , H01L21/67742 , H01L21/68707 , Y10S901/27
Abstract: 一种工业用机器人,即便在搬运对象物被配置成沿上下方向不重叠的第二配置位置与工业用机器人之间配置有闸门部,也能减小手部相对于主体部的回旋半径,并能防止手部与闸门部的干涉。工业用机器人(1)包括第一手部(3)、第二手部(4)、臂(5)及主体部(6)。第一手部(3)的基端部及第二手部(4)的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂(5)的前端部。第一手部(3)和第二手部(4)能相对于臂(5)个别地旋转,且从上下方向观察时能相对于臂(5)以共同的旋转中心(C1)为中心进行旋转。另外,第一手部(3)及第二手部(4)从上下方向观察时弯曲,且从上下方向观察时相对于穿过旋转中心(C1)的规定的假想线形成为大致线对称。
-
公开(公告)号:CN114378837B
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202111170110.9
申请日:2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备:晶圆装载部(14a);转动部(144),其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如;按压部(145),其被转动部(144)支承为向Y方向移动自如,且能够按压装载在晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面;以及轴部件(146),其与按压部(145)固定连接且构成为沿Y方向移动自如,轴部件(146)能够与转动部(144)的旋转连动而旋转,转动部(144)的旋转轴(AL)和轴部件(146)的轴中心(CP1)一致。
-
公开(公告)号:CN109982816A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201780071876.7
申请日:2017-11-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 本发明的工业用机器人包含:手,其搭载搬送对象物;手臂,其于前端侧可转动地连结手;本体部(7),其可转动地连结手臂的基端侧;及设置构件(8),其用于将本体部(7)设置于地板面。本体部(7)具备:升降体(20),其于上表面侧可转动地连结手臂的基端侧;框体(21),其可升降地保持升降体(20),且收容升降体(20)的至少下端侧的一部分;升降机构(22),其使升降体(20)升降。于该工业用机器人中,升降机构(22)自上下方向观察时,以与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。
-
公开(公告)号:CN107000204A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201680003903.2
申请日:2016-07-25
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/042 , B25J9/06 , B25J11/0095 , B25J18/04 , H01L21/67748 , H01L21/67766
Abstract: 本申请提供一种工业用机器人,能使主体部薄型化,其中,臂的基端侧以能转动的方式与上述主体部连接。例如,该工业用机器人包括:手,该手装载搬运对象物;臂,手以能转动的方式与该臂的前端侧连接;以及主体部(7),臂的基端侧以能转动的方式与该主体部连接,主体部(7)包括:臂的基端侧以能转动的方式与其上面侧连接的升降体(20);将升降体(20)保持为能升降并且收容有升降体(20)的至少下端侧的一部分的框体(21);以及使升降体(20)升降的升降机构(22)。升降机构(22)以在从上下方向观察时与升降体(20)重叠的方式收容于框体(21)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-