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公开(公告)号：CN115461677A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202180026741.5
申请日：2021-02-09
Applicant: 国立大学法人东北大学
Abstract: 驱动系统(7)具备：致动器(71A)，其执行在相互正交的3个方向上的平移和绕该3个方向上的轴的旋转中的至少1个运动；以及柔性布线体(73A)，其连接随致动器(71A)移动的半导体装置(6)和位于该半导体装置(6)外侧的框体(72)。柔性布线体(73A)具有：载置有半导体装置(6)并与半导体装置(6)电连接的主体部分(731A)，以及从主体部分(731A)向框体(72)延伸并以三维方式弯曲的多个臂部(732A)。
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公开(公告)号：CN115336173A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202080092585.8
申请日：2020-11-22
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 天工方案公司
Abstract: 声波器件中的能量约束。在一些实施例中，表面声波器件可包括石英基板、由LiTaO3或LiNbO3形成并设置在石英基板上方的压电膜、以及形成在压电膜上方的叉指换能器电极。表面声波器件还可包括在压电膜上方实现的结合层、以及形成在结合层上方的覆盖层，从而将传播波的能量基本上约束在覆盖层下方。
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公开(公告)号：CN115176416A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202180017384.6
申请日：2021-02-12
Applicant: 国立大学法人东北大学
Abstract: 提供一种弹性波器件，其能够使用谐波而在6GHz以上的超高频带获得良好特性。具有压电基板(11)、以与压电基板(11)接触的方式设置的电极(12)、和以与压电基板(11)和/或电极(12)接触的方式设置的声多层膜(13)，且构成为利用弹性表面波的谐振特性中的谐波。电极(12)具有设置在压电基板(11)的一表面上的帘状电极(12a)。谐波的弹性表面波优选为声速9000m/s以上。声多层膜(13)优选为低声阻抗膜(13a)与高声阻抗膜(13b)交替地层叠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113424443A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201980081234.4
申请日：2019-10-15
Applicant: 国立大学法人东北大学
Abstract: 公开了声波器件和相关方法。在一些实施例中，声波器件可以包括具有第一表面的石英基板，以及由LiTaO3或LiNbO3形成并且具有被配置为支持表面声波的第一表面和与石英基板的第一表面接合的第二表面的压电板。压电板的第二表面是由压电板的晶体结构取向导致的负表面。所述声波器件还可以包括叉指换能器电极，所述叉指换能器电极形成在压电板的第一表面上并且被配置为提供与所述表面声波相关联的换能器功能。
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公开(公告)号：CN110114974B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN201780080515.9
申请日：2017-11-15
Applicant: 国立大学法人东北大学
Abstract: [课题]提供一种TCF良好，能够提高谐振器的Q、阻抗比的弹性波器件。[解决手段]该弹性波器件包括：含有70质量％以上的二氧化硅(SiO2)的基板11、由设置于基板11之上的LiTaO3晶体或LiNbO3晶体形成的压电薄膜12以及被设置为与压电薄膜12相接的叉指状电极13。
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公开(公告)号：CN116349251A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202080106685.1
申请日：2020-10-26
Applicant: 国立大学法人东北大学
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种静电转换器及静电转换器的制造方法，静电转换器能够适用于各种传感器，能够获得较高的SN比，能够提高检测静电容量的变化的部分的配置以及结构的自由度。位移板(12)具有：固定于支撑体(11)的固定部(12a)、以及以能够相对于固定部(12a)变动的方式设置的变动部(12b)。检测单元(13)以至少一部分能够与变动部(12b)一起变动的方式安装，并以能够将变动部(12b)的变动作为静电容量的变化进行检测的方式设置。检测单元(13)配置于真空或者低压的空间(19)。
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公开(公告)号：CN102668271A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080048508.9
申请日：2010-09-01
Applicant: 国立大学法人东北大学
CPC classification number: H01L24/16 , B81B2203/04 , B81C3/001 , B81C2203/031 , H01L24/81 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16503 , H01L2224/81192 , H01L2224/8181 , H01L2224/81893 , H01L2224/97 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01011 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01024 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01327 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/15788 , H01R43/0214 , H01L2224/81 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供布线连接方法和功能器件。在第一基板(10)的连接电极部(12)、第二基板(15)的连接电极部(17)中的至少一个连接电极部上预先形成金属层(14)，以第一基板(10)的连接电极部(12)与第二基板(15)的连接电极部(17)隔着金属层(14)相对的方式使第一基板(10)与第二基板(15)重叠之后，通过一边第一基板(10)与第二基板(15)升温至阳极接合温度并维持该温度一边对第一基板(10)与第二基板(15)之间施加直流电压，对第一基板(10)与第二基板(15)进行阳极接合，与此同时，使金属层(14)熔融而对第一基板(10)的连接电极部(12)与第二基板(15)的连接电极部(17)进行电连接。由此，能够以良好成品率对多个基板进行阳极接合的同时进行布线连接，对封装等有效。
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公开(公告)号：CN101208260A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200680022865.1
申请日：2006-06-15
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 日本化药株式会社
CPC classification number: F04D29/281 , B29C64/106 , B29C64/124 , B29L2031/7496 , B81C99/008 , F04D29/023 , F05D2230/31 , F05D2300/44
Abstract: 一种制造树脂的微型机器部件的方法，该方法包括以下步骤：(a)在基片上形成一层牺牲层；(b)在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行光刻，形成限定微型机器部件的周边部分的气隙部分和构成微型机器部件的内部结构的气隙部分，因而形成多层结构；(c)在固化的光敏树脂组合物层的多层结构上沉积干膜抗蚀剂，对所述干膜抗蚀剂层进行光刻，形成固化的干膜蚀刻层，其中，形成限定遮蔽层的周边部分的气隙部分和构成遮蔽层结构的气隙；和(d)通过去除所述牺牲层将所述微型机器部件与所述基片分离，所述微型机器部件具有固化光敏树脂组合物层和固化的干膜抗蚀剂层的多层结构。
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