公开(公告)号：CN115336173A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202080092585.8

申请日：2020-11-22

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  天工方案公司

Inventor： 门田道雄 ,  田中秀治 ,  石井良美 ,  中村弘幸 ,  卷圭一 ,  后藤令

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/17 ,  H03H9/72

Abstract: 声波器件中的能量约束。在一些实施例中，表面声波器件可包括石英基板、由LiTaO3或LiNbO3形成并设置在石英基板上方的压电膜、以及形成在压电膜上方的叉指换能器电极。表面声波器件还可包括在压电膜上方实现的结合层、以及形成在结合层上方的覆盖层，从而将传播波的能量基本上约束在覆盖层下方。

公开(公告)号：CN113424443A

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN201980081234.4

申请日：2019-10-15

Applicant: 国立大学法人东北大学

Inventor： 门田道雄 ,  田中秀治 ,  石井良美

IPC: H03H9/64 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25

Abstract: 公开了声波器件和相关方法。在一些实施例中，声波器件可以包括具有第一表面的石英基板，以及由LiTaO3或LiNbO3形成并且具有被配置为支持表面声波的第一表面和与石英基板的第一表面接合的第二表面的压电板。压电板的第二表面是由压电板的晶体结构取向导致的负表面。所述声波器件还可以包括叉指换能器电极，所述叉指换能器电极形成在压电板的第一表面上并且被配置为提供与所述表面声波相关联的换能器功能。