公开(公告)号：CN116349251A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202080106685.1

申请日：2020-10-26

Applicant: 国立大学法人东北大学

Inventor： 田中秀治 ,  铃木裕辉夫

IPC: H04R19/04

Abstract: 本发明提供一种静电转换器及静电转换器的制造方法，静电转换器能够适用于各种传感器，能够获得较高的SN比，能够提高检测静电容量的变化的部分的配置以及结构的自由度。位移板(12)具有：固定于支撑体(11)的固定部(12a)、以及以能够相对于固定部(12a)变动的方式设置的变动部(12b)。检测单元(13)以至少一部分能够与变动部(12b)一起变动的方式安装，并以能够将变动部(12b)的变动作为静电容量的变化进行检测的方式设置。检测单元(13)配置于真空或者低压的空间(19)。

公开(公告)号：CN112292345A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201980037632.6

申请日：2019-05-22

Applicant: 国立大学法人东北大学

Inventor： 铃木裕辉夫 ,  田中秀治 ,  塚本贵城

IPC: B81C3/00 ,  B81B3/00 ,  H01L23/02 ,  H01L23/08

Abstract: 本发明提供一种可提高活动空间内部的真空度，可降低制造成本以及制造装置的引入及维护成本的MEMS器件的制造方法及MEMS器件。所述MEMS器件具有MEMS器件晶圆11及CAP晶圆12，所述MEMS器件晶圆在Si基板11a上形成有活动元件21，所述CAP晶圆12以形成活动空间13且覆盖所述MEMS器件晶圆11的方式而设置，所述活动元件21以可动的方式收纳于所述活动空间13中。CAP晶圆12为硅制，并具有以与活动空间13连通的方式形成的通气孔23。以将CAP晶圆12与MEMS器件晶圆11接合的状态，在氢气氛围中进行热处理，通过CAP晶圆12的硅的表面迁移来堵塞通气孔23，由此将活动空间13密封。