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公开(公告)号：CN111649693A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010464683.1
申请日：2020-05-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 本公开提供了一种样品形貌测量装置及方法。所述装置包括：顺次设置的光源组件(101)、照明组件(102)、投影光栅组件(103)、光阑组件(104)、投影光学组件(105)，顺次设置的探测光学组件(107)、探测光栅组件(108)、数据采集组件(109)，以及设置在投影光学组件(105)和探测光学组件(107)之间光路上的运动台(110)，待测样品(106)放置在运动台(110)上。利用光阑组件筛选出低衍射级次信号来测量样品高度，保证测量范围，并根据测量结果选择高衍射级次信号再次测量样品高度，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN111089539A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911211570.4
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种晶圆轮廓图的构造方法，该方法包括根据晶圆属性信息及晶圆上Die的属性信息，绘制初始晶圆高度轮廓图，其中，晶圆属性信息包括晶圆的尺寸及方向，Die的属性信息包括Die的数量、尺寸及几何分布；在初始晶圆高度轮廓图中确定晶圆的原点，以原点建立晶圆平面内的坐标系，得到晶圆上各Die的位置坐标；对晶圆按照预设顺序进行扫描，得到晶圆的高度轮廓信息，其中高度轮廓信息包括晶圆上各Die的高度信息及位置坐标；根据位置坐标，将各Die的高度信息添加至初始晶圆高度轮廓图中，生成晶圆轮廓图。该方法可通过三维图形化和数字化的方式，将已获得的晶圆高度信息进行可视化展示，并且可直接将Die与Die的差异展示出来。
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公开(公告)号：CN110967944A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911212670.9
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置包括：密封壳体；电路板，设置于所述密封壳体内部；光电转换器件，为真空兼容型，设置于所述密封壳体外部；连接件，贯穿所述密封壳体，用于将置于所述密封壳体内外侧的电路板和所述光电转换器件连接；其中，所述连接件与所述密封壳体之间通过真空兼容型封接材料密封。本发明设计将光电转换器件设置于密封壳体外侧，直接接收信号光，保证了信号稳定，同时可最大限度的减少串扰等影响。
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公开(公告)号：CN110967943A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911212045.4
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法，光电探测器包括：光电转换模块，用于将光刻机调焦调平系统产生的测量光转换为多路模拟电信号；同步模数转换模块，用于分别将光电转换模块输出的多路模拟电信号转换为多路数字电信号；工件台同步模块，用于将一光刻机工件台的位置脉冲信号发送至主控模块；以及主控模块，用于接收工件台同步模块的位置脉冲信号，并根据位置脉冲信号驱动光电转换模块和同步模数转换模块，以及同步接收并处理同步模数转换模块的多路数字电信号。本发明在当光刻机工件台运动至指定位置时，能使所有采集通道同时接收控制指令，同步采集所有通道的光强值，解决了现有分时采集方式的时延误差问题。
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公开(公告)号：CN103955124A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410185976.0
申请日：2014-05-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种光学精密系统的对准装置，涉及精密仪器技术领域，其中，本发明通过在第一物体上设置第一对准标记，在第二物体上设置第二对准标记，利用照明系统给所述第一物体上的第一对准标记提供照明，利用成像系统将第一物体上的第一对准标记成像在第二物体表面后形成第三对准标记，且第二对准标记及第三对准标记在第二物体表面重叠后形成第一图像。进而利用观测系统中的成像模块、聚束模块将包含多组、离散分布的对准标记的第一图像会聚后，形成第二图像，由单个探测模块和处理模块接收、处理，实现多通道对准标记实时、统一显示和调整，从而实现第一物体和第二物体的位置精确对准。达到了对准精度高、操作便捷的技术效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118311782A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410285133.1
申请日：2024-03-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供了一种一体化阵列式反射曲面的检焦分光器件，包括：器件主体，包括相对设置的第一表面和第二表面；第一表面包括沿第一方向依次排列的多个入射区，每个入射区表面均设置有闪耀光栅、第一检测区和第二检测区；第二表面包括沿第一方向依次排列的多个反射区，每个反射区均具有反射曲面并镀有反射膜。本公开的一体化器件结构相比透射式光学系统，减少了光学元件的设置，缩短光线传播路径，降低能量损耗，提升能量利用率和测量信号的信噪比，使测量精度得到提升。利用阵列式的反射曲面设计实现待测样本表面的多个区域的测量，减小单个光斑尺寸，增加探测器单元数量，提高检焦系统测量分辨率和测量精度。
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公开(公告)号：CN111624870B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202010616267.9
申请日：2020-06-30
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G05B11/42
Abstract: 一种用于精密运动控制的反演抗积分饱和方法，包括：通过精密运动平台机械台体参考位置和实际位置之间的位置偏差，得到精密运动平台机械台体的控制量；将控制量经过预设饱和环节以及超前饱和环节，判断控制量是否处于即将积分饱和的状态；若控制量处于即将积分饱和的状态，则根据利用预设饱和环节得到的控制量和利用超前饱和环节得到的控制量，得到修正后的控制量；将修正后的控制量发送给预置的驱动器，以利用驱动器根据修正后的控制量驱动精密运动平台机械台体进行定位运动和匀速扫描运动。可抑制积分饱和现象，减小精密运动平台的定位运动和匀速扫描的建立时间。
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公开(公告)号：CN110908249B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201911212715.2
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质的中心对准，实现分段的光纤束之间的光的传输。本发明设计两段光纤束来解决整根光纤束不利于装配、维护以及存在断纤的风险的问题；通过光纤连接器以及光纤连接器上设置的通光介质实现两段光纤束的导通，连接方式可靠，并且应用于EUV光刻机中，解决了真空腔内外光传输的问题，提高了光纤束与光刻机的连接可靠性，降低了维修风险。
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公开(公告)号：CN111077743B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911212041.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该两个上、下边带信号分别在两个带宽相同的数字低通滤波器中进行滤波，得到两个正交化下边带信号；该两个下边带信号经数字化解调算法进行解调计算，得到对准标记位置基频信号。本发明提供的该对准信号数字化同步解调方法及装置，具有电路结构简单、数字化程度高、计算速度快、无需采用调制信号作为参考信号以及无需进行相位补偿等优点，能够完成对准调制信号的数字化高精度解调。
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公开(公告)号：CN112539833A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202011374353.X
申请日：2020-11-30
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01J1/44
Abstract: 本发明提供了一种带密闭设计及光电信号无失真的光电探测装置及实现方法，其中，该光电探测装置包括真空密封壳体、光电探测器阵列、光电转换和同步采集电路、高速传输电路板，其中，真空密封壳体上包括安装接口，用于安装光电探测器阵列，以形成密闭空间；光电探测器阵列的探测面朝向真空密封壳体的外侧，用于接收多通道测量光信号；光电转换和同步采集电路与高速传输电路板置于真空密封壳体中，其中，光电探测器阵列通过光电探测器阵列的信号管脚与光电转换和同步采集电路连接；光电转换和同步采集电路用于将光电探测器阵列获得的多通道测量光信号同步转换为多通道数字信号；高速传输电路板用于将转换完成的多通道数字信号进行串行化编码处理。
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