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公开(公告)号：CN110146011A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910329074.2
申请日：2019-04-23
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。解决了干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题。达到了降低装置的复杂程度，减小测量误差，对不同轮廓被测物顺应调节，兼容性更好的技术效果。
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公开(公告)号：CN110057839A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910313182.0
申请日：2019-04-18
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明公开了一种光学硅片检测系统中的对焦控制装置及方法，记录最佳焦平面位置处的光栅像位置设为目标位置；测量光栅像中的其中一根光栅线在数字相机成像面上的位置为目标高度a；当硅片在z轴方向移动后，测量前述光栅线位置测量高度a’，与a进行对比，获得硅片位移量信息；根据硅片位移量信息，将工件台调整至对焦控制范围内。通过选取光栅图像中受到硅片图形影响较小的区域进行测量，保证测量精度。利用正负反馈结合的对焦控制方法，在进行对焦控制时，通过硅片高度测量装置测量硅片高度，并将该信号提供给工件台，使其逐步移动到预定位置，解决了不采用反馈控制时精度较低或仅采用负反馈控制导致循环次数较多，影响检测速度的技术问题。
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公开(公告)号：CN110031027A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910224154.1
申请日：2019-03-22
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方；带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立。达到了阻断微环境控制模块所产生的振动，实现检测环境的绝对安静，提高检测精度的技术效果。
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公开(公告)号：CN103079327B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310003089.2
申请日：2013-01-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明公开了一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置，其中，所述极紫外光发生装置包括：真空腔，靶源发生器，靶源预整形增强器，高能发生器，能量注入器，极紫外光收集器，残余靶材收集器，其中，所述靶源预整形增强器包括：靶源运动轨迹控制器，靶源整形器，靶源探测器，极紫外光和/或等离子体探测器，同步控制器，其中同步控制器根据所述靶源探测器及极紫外光和/或等离子体探测器的监测数据，控制所述靶源发生器、靶源运动轨迹控制器、靶源整形器、高能发生器及能量注入器，以达到优化极紫外光输出能量的目的。本发明公开的极紫外光发生装置能够解决现有极紫外光发生装置能量转换效率低的问题，可有效增大装置的极紫外光输出能量。
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公开(公告)号：CN110941075B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN201911212108.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种反射式光学系统及其装调测试方法，该反射式光学系统包括镜筒，其中，镜筒顶部设有主镜；镜筒底部设有次镜，次镜上设有进光孔和出光孔；镜筒侧壁上设有便于三坐标探针伸入的探针孔；镜筒上设有法兰面，作为三坐标测量的基准面。本发明提出的一体化装配结合三坐标测量的装调方法，测量更加直接，能够提高系统装配精度以及系统可靠性、稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110068122B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201910218702.X
申请日：2019-03-21
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: F24F13/06
Abstract: 本发明实施例提供的一种气浴装置，包括：基板；气浴模组，所述气浴模组的上表面与所述基板连接，其中，所述气浴模组包括多个气浴单元，所述多个气浴单元首尾相连通，构成中心位置具有第一通孔的所述气浴模组；托板，所述托板位于所述气浴模组的下表面，将所述气浴模组于所述基板进行固定连接。解决了现有技术中紧凑的气浴单元管道密布占用过多空间，且气流容易形成遮挡，造成工作环境的流场紊乱，进而影响温度、气压等参数的均匀度的技术问题。达到了减少管道多杂带来的空间占用与安装问题，多个气浴单元组合后相互联通，形成大面积的静压腔室，提高了气流均匀度的技术效果。
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公开(公告)号：CN110081117B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910218688.3
申请日：2019-03-21
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: F16F13/00
Abstract: 本发明提供了一种减振装置，包括：壳体由上壳体、下壳体套接构成，背部具有多个通孔，壳体的前侧面顶部设置有多个安装孔，所述通孔与所述安装孔数量相同；弹簧卡块嵌设在所述安装孔内；三角弹簧组件，三角弹簧组件卡设在所述壳体内，其中，所述三角弹簧组件包括：三角弹簧件，所述三角弹簧件顶部与所述弹簧卡块连接，弹簧卡块将所述三角弹簧件进行限定；调高件，调高件与三角弹簧件固定连接，调高件穿过通孔，且，在所述通孔内部可进行上下移动。解决被动隔振多用于固定负载应用，不适用于不同负载的减振要求，而主动隔振结构复杂的技术问题。达到适应不同负载的使用需求，同时构造简单，组装便捷，组合灵活的技术效果。
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公开(公告)号：CN107170002B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN201710307961.0
申请日：2017-05-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及图像采集技术领域，尤其涉及一种图像自动对焦方法和设备。所述方法包括：获得第一图像，根据所述第一图像获得第一目标图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最小外接矩形区域确定为对焦窗口区域，其中，所述对焦窗口区域中包括第二图像；根据所述第二图像获得第二目标图像，根据像素灰度值和像素灰度平均值获得所述第二目标图像的对焦评价函数的值；根据所述对焦评价函数的极值获得第三目标图像。通过上述技术方案，解决了现有图像对焦技术扫描采集时间长，对焦灵敏度低的技术问题，具有使SEM快速、精密对焦的技术效果。
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公开(公告)号：CN110941075A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911212108.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种反射式光学系统及其装调测试方法，该反射式光学系统包括镜筒，其中，镜筒顶部设有主镜；镜筒底部设有次镜，次镜上设有进光孔和出光孔；镜筒侧壁上设有便于三坐标探针伸入的探针孔；镜筒上设有法兰面，作为三坐标测量的基准面。本发明提出的一体化装配结合三坐标测量的装调方法，测量更加直接，能够提高系统装配精度以及系统可靠性、稳定性。
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公开(公告)号：CN110067493A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910218689.8
申请日：2019-03-21
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，包括：活动门，活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接，另一端所述十字转盘连接；压紧机构，压紧机构设置在所述活动门内侧，位于所述活动门四周边缘处，对腔体进行压紧密封。解决现有技术中活动门密封效果不佳，使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题，达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧，保证活动门周边的密封压紧同步性和均匀性，密封效果佳的技术效果。
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