-
公开(公告)号：CN119826769A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411811802.0
申请日：2024-12-10
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01B21/32 , G01B21/08 , H01L21/66 , G06F18/214 , G06F18/2411 , G06F18/25
Abstract: 本说明书实施例提供了一种基板翘曲高度测量的在线校准方法及装置，其中，方法包括：通过带有非线性超越函数修正项的多项式模型建立线性化校准模型；通过垂向扫描对基板高度信号和参考高度信号进行同步采集，得到基板高度信号向量和参考高度信号向量；对所述基板高度信号向量和参考高度信号向量进行零点修正，使基板高度信号和参考高度信号的零点保持一致；完成预定次数的垂向扫描后，将获得的数据进行融合，并采用加权最小二乘拟合方法，通过融合数据进行拟合得到线性化校准模型的参数，并将所述参数带入到所述线性化校准模型，得到修正后的基板线性高度。本说明书实施例能够对基板翘曲高度探测信号进行线性化校准处理。
-
公开(公告)号：CN113971641B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202111139317.X
申请日：2021-09-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供一种小波阈值去噪方法，包括：获取待去噪信号及理想信号；初始化去噪参数，利用去噪参数对待去噪信号进行去噪，得到第一噪声信号；计算待去噪信号与理想信号之间的均方误差作为第一适应度；计算第一噪声信号与理想信号之间的均方误差作为第二适应度；比较第一适应度及第二适应度，若第二适应度小于第一适应度，更新去噪参数，利用更新后的去噪参数对待去噪信号进行去噪，得到第二噪声信号；计算第二噪声信号与理想信号之间的均方误差，作为第三适应度；比较第三适应度及第二适应度，若第三适应度小于第二适应度，更新去噪参数进行去噪及适应度计算，以此迭代，直至获得最小适应度；利用最小适应度对应的去噪参数对待去噪信号进行去噪。
-
公开(公告)号：CN119493341A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411593442.1
申请日：2024-11-08
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种光学元件真空环境传递装置及方法，其中光学元件真空环境传递装置包括光学元件保护盒、前端模块、负载锁定模块、受控环境模块和工艺腔模块，光学元件保护盒包括外盒和内盒，外盒包括外盒盖和外盒底板，内盒包括内盒盖和内盒底板；前端模块用于分离或扣合外盒盖和外盒底板；负载锁定模块用于分离或扣合内盒盖和内盒底板；前端模块和负载锁定模块分别与受控环境模块对接连通，受控环境模块用于通过受控环境机械手实现内盒在前端模块与负载锁定模块之间的传递；工艺腔模块与负载锁定模块对接连通，用于通过工艺腔机械手实现内盒底板在工艺腔模块与负载锁定模块之间的传递。本发明能够对光学元件的传递过程提供全流程的防护。
-
公开(公告)号：CN111595439B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202010595707.7
申请日：2020-06-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及红外热辐射光源测量技术领域，具体涉及一种红外热辐射光源发光特性的测量方法和装置。该方法包括：利用光电探测器获取红外辐射光源在设定角度的实时光功率；判断红外辐射光源的光功率的增长趋势是否符合一次函数关系；若是，则控制红外辐射光源在水平面内分别以第一路径和第二路径绕设定位置转动；获取第一测量光功率阵列和第二测量光功率阵列；获取红外热辐射光源的光强分布。本发明巧妙地构建了第一路径和第二路径，利用红外热辐射光源在准热平衡状态后输出的光功率与时间呈线性关系的特性，通过叠加，将红外热辐射光源转换为了辐射功率恒定的辐射源，从而低成本高效准确地测量出了红外热辐射光源发光特性。
-
公开(公告)号：CN118348744A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410438916.9
申请日：2024-04-12
Applicant: 北京超弦存储器研究院 , 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本说明书实施例提供了一种光刻标记分布式仿真计算的方法、设备和程序，其中，方法包括根据用户设定的光刻标记仿真参数生成仿真任务；调度器根据调度策略将所述仿真任务发送至任务队列；计算节点根据预设的光刻标记模型计算模块运行光刻标记仿真算法，对应所述任务队列中的所述仿真任务，获得仿真结果；将仿真结果进行排序融合，并根据用户ID及对应的任务ID进行反馈仿真结果，根据仿真结果选出最优化的标记设计参数和测量设备参数，以解决传统计算机硬件系统无法满足光刻标记仿真算力不足的技术问题。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118311782A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410285133.1
申请日：2024-03-13
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供了一种一体化阵列式反射曲面的检焦分光器件，包括：器件主体，包括相对设置的第一表面和第二表面；第一表面包括沿第一方向依次排列的多个入射区，每个入射区表面均设置有闪耀光栅、第一检测区和第二检测区；第二表面包括沿第一方向依次排列的多个反射区，每个反射区均具有反射曲面并镀有反射膜。本公开的一体化器件结构相比透射式光学系统，减少了光学元件的设置，缩短光线传播路径，降低能量损耗，提升能量利用率和测量信号的信噪比，使测量精度得到提升。利用阵列式的反射曲面设计实现待测样本表面的多个区域的测量，减小单个光斑尺寸，增加探测器单元数量，提高检焦系统测量分辨率和测量精度。
-
公开(公告)号：CN114397762B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202210000823.9
申请日：2022-01-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本公开提供一种光学系统主光轴的调试方法，用于不包含测试板的光学系统，包括：使用辅助小孔辅助调节自准直仪出射光束的方向并使之与光学平台平行；调节第一转向光学元件，使其出射光束的方向与自准直仪出射光束的方向垂直；调节第二转向光学元件，使其出射光束的方向与第一转向光学元件出射光束的方向垂直且与光学平台平行；安装待测光学系统的外壳至第一转向光学元件和第二转向光学元件之间，安装第一反射元件至主光轴靠近第二转向光学元件的一端；调节外壳两侧的调节机构，直至经第一反射元件反射的光斑与自准直仪出射的光斑重合，确定待测光学系统的主光轴的位置。本公开还提供一种用于包含测试板的光学系统主光轴的调试方法。
-
公开(公告)号：CN112902996B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110084778.5
申请日：2021-01-21
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提出五种第9衍射级次增强的相位光栅结构，该结构不仅具有较强的第9级衍射效率，同时所有偶衍射级次衍射效率均缺级，较好的解决了目前主要采用AH53中存在较强的零级以及其他偶衍射级次，并且第9衍射级次衍射效率低的问题，因此，本发明的相位光栅结构可以提高系统的测量精度。
-
公开(公告)号：CN111059208B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201911211537.1
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种振动隔离装置，包括：真空腔体(1)、真空腔体(1)内设有主基板(2)，真空腔体(1)的一内壁与主基板(2)之间设有至少一个隔振系统(3)；隔振系统(3)包括：永磁体(31)、设置有线圈(32)的线圈架(33)、主弹簧(34)、隔板(35)以及隔板弹簧(36)；永磁体(31)的一端连接主基板(2)，线圈架(33)一端固定在隔板(35)上，永磁体(31)的部分或全部置于线圈架(33)内部，线圈架(33)与永磁体(31)之间的相对位置可调；主基板(2)、主弹簧(34)、隔板(35)、隔板弹簧(36)以及真空腔体(1)依次连接。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
100
records
(took 0.038 seconds)
