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公开(公告)号：CN108362257A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810470517.5
申请日：2018-05-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微球旋转夹持装置，主要解决现有原子力显微镜测量范围小，满足不了微球的全表面测量的技术问题。本发明技术方案为：一种微球旋转夹持装置，由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成；所述的X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端分别通过螺钉固定于Y向微移动平台、X向微移动平台。本发明可以实现微球的夹持，并可以将微球按一定的规律旋转一定的角度进行测量，以扩大原子力显微镜在微球表面的测量范围。
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公开(公告)号：CN105387882A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510759877.3
申请日：2015-11-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测工程设备监理有限公司
IPC: G01D11/26
CPC classification number: G01D11/26
Abstract: 本发明公开了一种应用于仪器的防护外罩，包括：一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接；和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部；其中，所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖，并且，该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接，该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时，可扩大仪器的计量测试视野和作业空间，便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时，罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间，能够为仪器提供优良的实验环境。
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公开(公告)号：CN119043187A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411197644.4
申请日：2024-08-29
Abstract: 本发明提供了一种悬挂结构及包含其的探测模块、微位移探测装置，悬挂结构包括中心区、固定框架和若干悬挂梁，中心区为圆形，中心区用于固定测针的上端或支承反射镜组件下端；固定框架绕中心区设置，固定框架的内边缘为圆形，固定框架的内边缘与中心区同轴设置，固定框架用于与其它部件相固定；悬挂梁设置于中心区、固定框架之间，悬挂梁的两端分别与中心区的外边缘、固定框架的内边缘相连接；若干悬挂梁沿中心区的周向均匀分布。通过若干沿周向均匀分布的悬挂梁连接中心区，使固定在中心区的测针受力均匀，测针在不受外力的情况下能保持竖直状态，同时也不妨碍测球跟随样品表面的起伏发生位移，保证了样品测量的精确度和稳定性。
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公开(公告)号：CN110726378A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN118882484A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411197647.8
申请日：2024-08-29
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种三维微接触测量封装结构及包含其的三维测量装置，该封装结构包括探测模块、多个探测器和安装台，探测模块包括相对固定的测针和反射镜体，测针的下端用于与样品表面相接触并跟随样品的表面起伏移动，反射镜体设有若干反射面；探测器与反射镜体的反射面对应设置，探测器用于探测反射镜体的反射面的位移；探测模块、探测器固定在安装台上，安装台还用于与测量平台相固定。探测模块、探测器固定在安装台上，使探测模块、探测器形成一个整体的封装结构，使封装结构可作为一个整体安装在测量平台上，快速实现了探测模块、探测器与测量平台安装，使一种测量方案可以方便地适配多个测量平台，一个测量平台也可以适配多种测量方案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108362257B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201810470517.5
申请日：2018-05-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微球旋转夹持装置，主要解决现有原子力显微镜测量范围小，满足不了微球的全表面测量的技术问题。本发明技术方案为：一种微球旋转夹持装置，由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成；所述的X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端分别通过螺钉固定于Y向微移动平台、X向微移动平台。本发明可以实现微球的夹持，并可以将微球按一定的规律旋转一定的角度进行测量，以扩大原子力显微镜在微球表面的测量范围。
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公开(公告)号：CN112782839A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110201102.X
申请日：2021-02-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
Abstract: 本发明涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本发明的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本发明的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。
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公开(公告)号：CN110726378B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN110160464B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN201910490623.4
申请日：2019-06-06
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种用于测量内孔圆柱度的装置及其使用方法，利用本发明的一种用于测量内孔圆柱度的装置对被测工件的被测内孔进行检测时，通过第一检测杆、第二检测杆和第三检测杆在不同测量截面检测得出测量值并计算出被测内孔在测量截面上的圆度误差，并根据每个测量截面处第一检测杆、第二检测杆、第三检测杆以及倾角传感器的测量值计算得出被测内孔中心线的直线度误差，根据所得出的各测量截面上的圆度误差及被测内孔中心线的直线度误差就能够计算得出被测内孔的圆柱度误差。由此可见，本发明的一种用于测量内孔圆柱度的装置及其使用方法能够方便地对工件的内孔参数进行检测。
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公开(公告)号：CN117629067A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311628512.8
申请日：2023-11-30
Abstract: 本发明提供一种基于探针干涉的三维微接触测头，包括探测组件、悬挂组件和传感单元，探测组件的下端形成测球，测球用于与样品表面相接触；悬挂组件将探测组件悬挂在空中；测球不受外力时，悬挂组件使探测组件的水平基准面保持水平；测球受外力时，悬挂组件限制探测组件只能沿中心轴线的方向上下移动或以转动中心为中心转动。上述三维微接触测头，可实现兼顾高精度、高动态特性的三维传感测量；通过优化设计，可实现三轴分辨力及刚度各向同性；传感单元和探测组件的分离式设计，使测头具备探测组件的互换性，可根据被测对象灵活更换具有不同尺寸和型号的测针的探测单元。
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