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公开(公告)号：CN109443260B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201811432865.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置，属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中，使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干涉腔。通过干涉仪测量干涉腔进而获得样品的表面面形。本发明有效解决了零重力面形测量难的问题，可以测量大口径平板和厚度极小的薄平板。本发明结构简单，通用性强，测量结果准确可靠。
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公开(公告)号：CN109443260A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811432865.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置，属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中，使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干涉腔。通过干涉仪测量干涉腔进而获得样品的表面面形。本发明有效解决了零重力面形测量难的问题，可以测量大口径平板和厚度极小的薄平板。本发明结构简单，通用性强，测量结果准确可靠。
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公开(公告)号：CN108895972A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810676220.4
申请日：2018-06-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/08
Abstract: 本发明涉及一种基于计算全息的光学元件顶点半径测量的方法和装置，属于光电技术检测领域。本发明通过一片计算全息同时产生共焦波前和猫眼波前两个共扼波面，同时获取猫眼位置和共焦位置干涉图并测量其面形参数，并根据测量结果求解光学元件半径。本发明采用干涉测量技术，猫眼和共焦位置定位精度高，半径测量精度高。相比于常用的激光干涉测量，本发明由于不需要猫眼位置和共焦位置之间的移动，消除了由于光轴和运动轴之间存在夹角而引入的误差，提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN103335609B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310279797.9
申请日：2013-07-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法，首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点，当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时，其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移；然后采用特征标记点像素坐标配准原理，利用特征标记点的相对位置变化，构建非线性方程组，同时解算出旋转中心、旋转角度和平移量等参数。该方法以数据精确配准为基础，对实验装置的精度要求较低，可为实验的精确控制提供技术支持，并为后续的面形数据处理提供准确的参数信息，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN103292738A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310259595.8
申请日：2013-06-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Zernike多项式系数，从而获得被测球面和参考面的绝对面形信息。该方法同样也可用于平面面形误差的检测。由于该方法采用了全局优化的思路同时解算被测球面和参考面的多项式系数，因而更能抑制系统误差和随机噪声，抗干扰性更强，具有重要的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102865830A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210336507.5
申请日：2012-09-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种滤除干涉检测数据中随机噪声的滤波方法，该方法以选取的数据点为中心点，采用多次函数对滤波窗口（滤波窗口大小可调）内的数据进行基于最小二乘法的多项式拟合（多次函数阶数可选），得到多项式系数，并以常数项系数作为该点滤波后的值，然后依次按行或按列递增进行滤波。相比于一般的均值滤波和带通滤波，该方法可准确滤除随机噪声并保留原始数据细节信息，不会丢失任何频率信息。本发明通过对检测面形数据进行滤波，提供了一种滤除随机噪声的方法，对高精度面形检测中进一步提高面形检测精度有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN103885302B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410135683.1
申请日：2014-04-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置，该装置包括基座（1）、主支撑（2）、辅助支撑（3）和控制系统（4）。主支撑（2）和辅助支撑（3）环绕排列，固定在基座（1）上。主支撑（2）为三个刚性支点；若干辅助支撑（3）均匀分布在主支撑（2）之间,可以上下运动。所述辅助支撑（3）具体包括辅助支撑支架、顶升器、柔性件、力传感器。本发明采用控制系统控制顶升器动作，推动柔性件产生变形，带动辅助支撑点运动；由力传感器反馈获取支撑力，并能够通过对各辅助支撑力的闭环控制来实现对光学元件的低形变、稳定支撑。
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公开(公告)号：CN103335609A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310279797.9
申请日：2013-07-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法，首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点，当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时，其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移；然后采用特征标记点像素坐标配准原理，利用特征标记点的相对位置变化，构建非线性方程组，同时解算出旋转中心、旋转角度和平移量等参数。该方法以数据精确配准为基础，对实验装置的精度要求较低，可为实验的精确控制提供技术支持，并为后续的面形数据处理提供准确的参数信息，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102538699A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110386255.2
申请日：2011-11-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种光学干涉检测同轴度控制方法，其可以实现干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度检测和控制，包括干涉仪(1)、标准镜(2)、被测镜面(3)、六维调整架和计算机(8)。转动六维调整架的转台(5)绕光轴旋转被测镜面(3)，将转动前后的被测镜面(3)面形检测数据导入计算机(8)进行数据分析可获得干涉仪系统的光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度信息，并以此为依据调节六维调整平台来实现干涉仪(1)光轴和被测镜面(3)旋转轴的同轴度对准。本发明可以为高精度干涉检测提供光学同轴度的检测和控制方法，结构简单，能有效提高干涉检测的同轴度，进而提高检测精度。
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公开(公告)号：CN102494631A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110383336.7
申请日：2011-11-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种绕光轴旋转对准误差分析方法。首先对初始位置处测得的面形数据进行泽尼克条纹多项式拟合，提取旋转对称项的拟合系数；然后将被测光学元件绕光轴旋转一定角度，对测得的面形数据同样进行多项式拟合并提取旋转对称项的系数，然后与旋转前的对应多项式拟合系数做差值运算并与拟合得到的阈值作对比，即可获得绕光轴旋转对准误差信息。如此反复进行多次不同旋转角度位置的对准。本发明提供了一种旋转对准误差分析方法，为绝对检测中旋转对准误差控制提供了一种定量分析方法，对减小旋转对准误差进而提高面形绝对检测精度具有较大的应用价值。
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