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公开(公告)号：CN102538699A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110386255.2
申请日：2011-11-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种光学干涉检测同轴度控制方法，其可以实现干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度检测和控制，包括干涉仪(1)、标准镜(2)、被测镜面(3)、六维调整架和计算机(8)。转动六维调整架的转台(5)绕光轴旋转被测镜面(3)，将转动前后的被测镜面(3)面形检测数据导入计算机(8)进行数据分析可获得干涉仪系统的光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度信息，并以此为依据调节六维调整平台来实现干涉仪(1)光轴和被测镜面(3)旋转轴的同轴度对准。本发明可以为高精度干涉检测提供光学同轴度的检测和控制方法，结构简单，能有效提高干涉检测的同轴度，进而提高检测精度。
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公开(公告)号：CN102494631A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110383336.7
申请日：2011-11-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种绕光轴旋转对准误差分析方法。首先对初始位置处测得的面形数据进行泽尼克条纹多项式拟合，提取旋转对称项的拟合系数；然后将被测光学元件绕光轴旋转一定角度，对测得的面形数据同样进行多项式拟合并提取旋转对称项的系数，然后与旋转前的对应多项式拟合系数做差值运算并与拟合得到的阈值作对比，即可获得绕光轴旋转对准误差信息。如此反复进行多次不同旋转角度位置的对准。本发明提供了一种旋转对准误差分析方法，为绝对检测中旋转对准误差控制提供了一种定量分析方法，对减小旋转对准误差进而提高面形绝对检测精度具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102426430A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110382695.0
申请日：2011-11-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G05B19/04
Abstract: 本发明提供一种基于FPGA控制的PZT驱动系统，该系统由计算机接口、FPGA模块、键盘与显示模块、非易失存储模块、模式设置模块、ADC模块、DAC模块、PZT接口组成，FPGA模块与计算机接口、键盘与显示模块、非易失存储模块、模式设置模块、ADC模块、DAC模块相连，PZT接口分别与ADC模块和DAC模块相连，在FPGA中实现与计算机通信、按键处理、显示功能、非易失存储模块、模式处理、ADC和DAC的控制以及PZT的闭环、开环应用的控制。本发明使用FPGA模块作为PZT的控制单元，不仅实现了对PZT驱动位移的精准控制，而且又具有应用范围广、成本低、易维护等特点。
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公开(公告)号：CN102328259A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110329791.9
申请日：2011-10-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B24B13/00
Abstract: 本发明公开一种对光学元件超光滑表面抛光的装置，该装置包括剪切射流抛光盘、数控机床、工件装夹平台、浴法射流抛光平台、抛光头控制装置、射流抛光系统和液体管路，通过采用一个剪切射流抛光盘，安装在浴法数控机床上的抛光头上，通过管路与射流抛光系统相连，抛光液从经射流抛光系统的增压系统加速从剪切射流抛光盘射出，在与剪切射流抛光盘下端面紧贴的光学元件表面产生剪切射流，通过射流的剪切作用力实现光学元件的超光滑表面抛光。本发明用于光学玻璃、微晶玻璃、半导体材料及单晶材料的超精密、超光滑抛光。
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公开(公告)号：CN102183213A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110049994.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于相位测量偏折术的非球面镜检测方法，检测系统由显示屏、摄像机、电控平移台、半透半反镜和电子计算机组成。摄像机的光心置于待测镜的光轴上。由计算机产生正(余)弦条纹图，并显示在显示屏上。将显示屏上的条纹图投影在被测镜上，反射回来后由摄像机进行拍摄。测量过程中，被测镜固定在电控平移台上，可以在计算机的控制下沿光轴精确移动。对被测镜移动过程中所拍摄的条纹图像进行分析处理得到相位分布，再计算得到非球面法线距和法线角的关系，即非球面的法线汇来描述非球面的面形。同时还可以由法线汇通过几何计算转换到直角坐标系进行评价。本发明具有较大的动态测量范围，为加工过程中波前变化范围较大的非球面反射镜精磨和初抛光阶段提供了检验手段。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102095385A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010586838.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明是一种新型球面绝对测量系统及方法，系统包括含有计算机、光源、分光单元、滤波器、标准物镜、被测球面反射镜、电控平移台及数据采集传输单元；首先通过电控平移台调整被测球面反射镜位于标准物镜的共焦位置处，通过计算机控制Fizeau干涉仪在该位置对被测球面反射镜进行一次面形检测并将该检测数据存于计算机中，然后通过计算机控制电控平移台，使待测反射镜绕焦点相对于干涉仪光轴分别产生Δx和Δy的共焦剪切，利用干涉仪又分别进行两次检测并将这两次的检测数据存于计算机中，三次检测的面形数据由安装在计算机上的数据处理软件把被测反射镜面形数据与系统误差和参考面的误差分离开来，从而获得被测待光学镜面的绝对面形信息。
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公开(公告)号：CN101876540A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN201010172118.4
申请日：2010-05-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统包括相移干涉仪、标准镜头、由多个光学元件或元件组构成的多波前透镜补偿器、电控调整装置及驱动器、被测非球面光学元件、六维调整架、电控平移台及驱动器、计算机控制及数据处理系统。本发明通过多次干涉测量实现误差分离以提高非球面光学元件面形检测精度，同时具有一定的柔性测量范围，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101285732B
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200810113460.X
申请日：2008-05-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
CPC classification number: G01M11/005
Abstract: 一种大口径抛物面镜检测系统，包括菲索型干涉仪、高精度平面反射镜、被测抛物面镜、电控平移台及计算机控制系统；平面反射镜实现对抛物面镜中心部分的自准直检测，之后移除平面镜，通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测抛物面的平面反射镜口径外相应环形区域相匹配，通过计算机系统上的菲索型干涉仪数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由环形子孔径“拼接”算法对所得子孔径测试数据进行处理，然后与平面镜自准直检测所获得数据进行全孔径波前重构获得被测抛物面面形信息；本发明为大口径和超大口径抛物面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN101339008B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810119127.X
申请日：2008-08-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种检测大口径抛物面镜K值系数的装置，其特征在于：包括测角仪、标准平面反射镜、校准平面反射镜、标准球面反射镜、平移台、二维旋转调节架；检测时，测角仪发出平行光束，经标准平面反射镜和被测大口径抛物面镜反射后，到达标准球面反射镜，反射后沿原光路返回，再次经过被测大口径抛物面镜和标准平面反射镜后回到测角仪，这样测角仪就能测出发出平行光束和返回平行光束之间的角度差，根据不同位置采样检测得到的角度差值，可以拟合出被测大口径抛物面镜的K值系数；本发明采用采样检测和角度测量使K值误差转换为角度误差的形式，为大口径抛物面面形加工提供准确的指导信息。
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公开(公告)号：CN100559145C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200510086657.5
申请日：2005-10-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径非球面光学元件中高频差检测方法，涉及一种对光学元件面形误差，尤其是表面面形中高频差的检测方法的改进。利用信息处理技术对激光数字干涉仪获取的数据进行处理，采取利用二维功率谱密度求解环围能量评价元件质量，以实现检测目的。本技术提出的方法，全面考虑了被检光学元件面形信息，从而可以更加客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用二维功率谱密度对光学元件面形质量进行评价，提供了一条检测面形质量的新途径，对高质量光学元件的质量评价具有重要的应用价值。
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