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公开(公告)号：CN106404695B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201611020005.6
申请日：2016-11-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种分光光度计，包括光源模块、参考光模块、谐振腔模块、样品模块和光电探测模块，本发明分光光度计具有动态测量范围大和测量精度高和重复性精度高的优点，因而具有更广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN110441309A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910609670.6
申请日：2019-07-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 一种显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法，该装置主要包括激光器、第一会聚透镜、旋转扩散器、第二会聚透镜、光阑、第三会聚透镜、针孔、第四会聚透镜、偏振片、半波片、偏振分束器、X-Y位移平台、样品、显微镜头、四分之一波片、微偏振片阵列、相机和计算机。本发明采用微偏振片阵列实现表面缺陷实时显微散射偏振成像，通过计算偏振度图像，提升了超光滑元件表面缺陷探测的灵敏度，实现高反膜元件表面缺陷有效检测，能够满足米级大口径超光滑元件表面缺陷快速检测需求。
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公开(公告)号：CN106442565B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201610943020.1
申请日：2016-10-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 合肥知常光电科技有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 一种高速激光线扫描的表面缺陷检测装置，该装置主要包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、第二高反镜、波片、第三高反镜、旋转棱镜、行触发探测器、远心场镜、激光聚焦点阵线、被测样品、散射光收集器、线阵散射光探测器和柱面透镜。该装置具有较高的灵敏度和信噪比，解决了大口径、大重量样品的表面缺陷测量需求。
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公开(公告)号：CN109100330A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810972476.X
申请日：2018-08-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/55
Abstract: 一种光学元件高反射率测量系统和测量方法，系统包括激光光源、光电探测器、示波器、信号发生器、第一光纤、光纤隔离器、第二光纤、第三光纤、第一光纤耦合器、第四光纤、样品台、第一姿态调节机构、第二姿态调节机构、第五光纤、第二光纤耦合器和第六光纤，与现有普遍采用的基于高反射镜构成的谐振腔高反射率测量技术相比，本发明的测量灵敏度提高1000多倍，测量系统具有结构紧凑、布局灵活、抗干扰能力强、测量简便的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108955532A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810964829.1
申请日：2018-08-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种用于绝对检测中大口径光学平面的旋转装置，该装置包括升降转动机构、吊装旋转机构和镜框。其中升降转动机构通过底板固定在镜框顶部，吊装旋转机构通过软齿同步带与升降转动机构连接，吊装旋转机构还通过承重钢丝与镜框连接。该旋转装置利用软齿同步带与大口径平面镜侧面间的摩擦力，带动整个平面镜在由若干个圆柱形塑料滚轮组成的链条上进行转动。本发明装置可以实现直径大于300mm以上的大口径平面镜任意角度的旋转，适用于在大口径高精度光学平面绝对检测过程中实现大口径平面镜的旋转。
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公开(公告)号：CN106500966B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610912549.7
申请日：2016-10-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大口径光学元件干涉机械化自动化检测辅助设备，包括设置有导轨的液压驱动的升降平台、起吊传送机构、设置有导轨的静置工位平台、光学元件检测姿态调整平台、控制系统、信号采集系统等。本发明实现了大口径光学元件干涉检测的机械化及自动化，实现了提高环境稳定性、检测精度、检测效率、人员利用率与测量过程中的安全性的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
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公开(公告)号：CN107036554A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710380378.2
申请日：2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
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公开(公告)号：CN106442564A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610902339.X
申请日：2016-10-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 合肥知常光电科技有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 一种大口径超光滑表面缺陷检测装置和检测方法，该装置主要包括激光器、激光扩束系统、高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、旋转棱镜、远心场镜、高角度散射光探测器、低角度散射光探测器、行触发探测器、反射光探测器、精密位移平台和计算机。本发明能够显著提高对大口径光学元件的检测效率，避免了因高速旋转使大口径光学元件产生振动、轴向跳动等对检测结果产生严重影响。能实现对表面缺陷进行分类，识别出检测到的缺陷是凹坑、划痕还是凸起的灰尘、纤维等。
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公开(公告)号：CN106404695A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201611020005.6
申请日：2016-11-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种分光光度计，包括光源模块、参考光模块、谐振腔模块、样品模块和光电探测模块，本发明分光光度计具有动态测量范围大和测量精度高和重复性精度高的优点，因而具有更广泛的应用前景。
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