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公开(公告)号：CN105628013A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610013588.3
申请日：2016-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
CPC classification number: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种组装式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，上层玻璃衬底、外围锚点结构和下层玻璃衬底由上而下依次设置，在上层玻璃衬底的底面的中心设有圆形凹槽，外围锚点结构为中空的框型结构，圆形凹槽和外围锚点结构的中空区域相连通形成腔体，在该腔体的中心设置半球壳谐振子；在上层玻璃衬底上等间距设置十六个电极，每个电极均分别与相对应的十六个电极孔相连，电极孔设置在上层玻璃衬底中；本发明还公开了一种组装式半球谐振微陀螺仪加工工艺。本发明的一种组装式半球谐振微陀螺仪实现了封装，缩减了生产周期，提高了产生效率；本发明的半球壳谐振子和均布式电极的加工工艺简单，尺寸较小，生产成本较低，适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN105466408A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510431694.9
申请日：2015-07-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
CPC classification number: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法，包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构，主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构；立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心位置，立体质量块通过四组内弹性梁连接于外弹性梁，检测结构包括两个X轴检测电极、两个Y轴检测电极和两个Z轴检测电极；驱动结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴驱动电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴驱动电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴驱动电极。本发明结构简单，体积相对较小，便于加工制造，能够极大地提高成品率，测量精度好，具有广阔的市场前景。
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公开(公告)号：CN103322994B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201310176936.5
申请日：2013-08-01
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，所述微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，微半球壳上边缘与第一硅片的下表面接触；所述驱动电极设在第一硅片和第二硅片之间、微半球壳的外围，驱动电极一端与第二硅片固定连接，另一端与第一硅片活动连接；所述检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产等优点，预期可广泛用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN102735230B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210189466.1
申请日：2012-06-08
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种微机电混合陀螺仪的电路系统，所述微机电混合陀螺仪输出的电容信号经过前置接口的差分放大器和带通滤波器，接着依次经模数转换器、数字解调器、滤波器、解耦模块，再经数模转换器转换成模拟信号，该模拟信号经放大器放大后成为反馈电压，与载波和预载电压叠加，作用于微机电混合陀螺仪的反馈力矩器，形成再平衡回路。本发明克服模拟电路实现的硅微陀螺外围信号处理电路结构复杂，灵活性差，噪声和温度漂移等不足，提供一种简单易行，稳定性好，可移植性强的微机电混合陀螺仪的电路系统。
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公开(公告)号：CN102692220B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210161550.2
申请日：2012-06-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构，包括一个内环、一个转子和三个独立的平衡环，所述内环、转子和平衡环均为空心圆柱体结构，所述内环与电机转子体固定连接，且设置在转子内，所述平衡环设置在内环和转子之间，并且通过内扭杆、外扭杆分别与内环、转子连接。本发明还公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构的加工方法。本发明硅基三平衡环动调陀螺转子体结构能有效的消去单平衡环2倍频角振动带来的影响，可以提高陀螺精度，且没有双平衡环对平衡环和扭杆制造要求的那么苛刻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103398707A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310177008.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，第一硅片设在第二硅片的上方、第三硅片设在第二硅片的下方；微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，上边缘与第一硅片的下表面接触；驱动电极设在微半球壳的外围，一端与第三硅片固定连接，另一端穿过第二硅片与第一硅片活动连接；检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产，用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103115617A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310017352.3
申请日：2013-01-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/02
Abstract: 本发明公开了一种静态电容可调式微动调陀螺仪精密装配体结构，包括滑轮式底座、电机座、下电极支架、上电极支架、转子下托片、转子上压片、垫圈、轴承座、轴承零件、电机、电机轴、陀螺转子、上电极、下电极和尼龙，所述电机固定在电机座上，电机座与滑轮式底座装配，所述电机座与下电极支架通过螺纹装配，下电极支架上固定有与陀螺转子间距可旋转调节的下电极，且下电极支架外围设有刻度，所述垫圈和上电极支架固定在下电极支架上。本发明可以使用不同厚度的垫圈调节上极板与转子体的间距，从而调节其静态电容的大小。下电极支架还可放置微机电接口电路板，减小引线长度，提高信号抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN102735230A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210189466.1
申请日：2012-06-08
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种微机电混合陀螺仪的电路系统，所述微机电混合陀螺仪输出的电容信号经过前置接口的差分放大器和带通滤波器，接着依次经模数转换器、数字解调器、滤波器、解耦模块，再经数模转换器转换成模拟信号，该模拟信号经放大器放大后成为反馈电压，与载波和预载电压叠加，作用于微机电混合陀螺仪的反馈力矩器，形成再平衡回路。本发明克服模拟电路实现的硅微陀螺外围信号处理电路结构复杂，灵活性差，噪声和温度漂移等不足，提供一种简单易行，稳定性好，可移植性强的微机电混合陀螺仪的电路系统。
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公开(公告)号：CN115166297B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210157198.9
申请日：2022-02-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯MOEMS加速度计及其加工方法，MOEMS加速度计基于石墨烯MOEMS加速度计从上到下依次包括器件结构层、氧化物掩埋层和底部基板层；器件结构层包括支撑框架以及置于所述支撑框架中间位置的质量块，所述质量块的左右两侧分别通过悬臂梁弹簧与所述支撑框架连接，所述质量块的纵向方向中部的上端和下端分别向外凸出形成质量块传感区域，所述质量传感区域上以带状阵列周期性铺设石墨烯带构成敏感单元，所述支撑框架的上下两端以所述敏感单元的左右两侧对称设置有光波导，每个光波导上设置有光纤接口。本发明具有结构简单，重量轻，加工工艺明确以及成本低，在消费电子产品、惯性导航等方面潜在广泛的应(56)对比文件严与星.隧穿型石墨烯MEMS加速度计研究.中国优秀硕士学位论文全文数据库 (工程科技Ⅱ辑).2021,全文.Jeong Won Kang.Developingaccelerometer based on graphenenanoribbon resonators.Physics LettersA.2012,全文.Xiao Yang. A Novel Two-AxisDifferential Resonant Accelerometer Basedon Graphene with TransmissionBeams.Sensors.2022,全文.
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公开(公告)号：CN116222532A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310441896.6
申请日：2023-04-23
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种基于多环谐振陀螺仪的自适应误差补偿电路及方法。包括多环谐振陀螺仪、检测电极、反馈控制电极、改进型的T型阻容电荷放大滤波电路、ADC模数转换电路、现场可编程逻辑门阵列、数字信号处理电路、DAC数模转换电路、信号反馈控制电路；采用改进的T型阻容电荷放大滤波电路代替传统的环形二极管放大滤波电路、改进的比例积分谐振控制器代替传统的比例积分控制器，更加合理的抑制控制误差，提高系统控制精度。该电路结构具有适应性强、稳定性好、准确性高、精度高、体积小、易于集成等特点，可推广应用。
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