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公开(公告)号：CN103398707B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201310177008.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，第一硅片设在第二硅片的上方、第三硅片设在第二硅片的下方；微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，上边缘与第一硅片的下表面接触；驱动电极设在微半球壳的外围，一端与第三硅片固定连接，另一端穿过第二硅片与第一硅片活动连接；检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产，用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103144427B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310065468.4
申请日：2013-03-01
Applicant: 东南大学
IPC: B41F23/08
Abstract: 本发明公开一种温度可调式双回路多通道宽幅膜压机用版辊，包括主轴体、油路轴、水路轴、油路通道、水路通道、油路出管、水路进管、水路出管和隔离板，主轴体为中空结构，包括内腔和轴壁；油路通道和水路通道设在主轴体的轴壁内，油路轴和水路轴分别对称设在主轴体的两端，油路轴与主轴体的内腔相通，主轴体的轴壁内侧设有使主轴体的内腔与油路通道相通的连通孔，形成依次从油路轴、主轴体的内腔、连通孔、油路通道、油路出管到油路轴的油路回路，水路通道分别和水路进管和水路出管相通，形成依次从水路轴、水路进管、水路通道、水路出管到水路轴的水路回路；隔离板设在主轴体的内腔和水路轴之间。本发明应用范围广泛，可满足不同的性能指标要求。
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公开(公告)号：CN102692220A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210161550.2
申请日：2012-06-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构，包括一个内环、一个转子和三个独立的平衡环，所述内环、转子和平衡环均为空心圆柱体结构，所述内环与电机转子体固定连接，且设置在转子内，所述平衡环设置在内环和转子之间，并且通过内扭杆、外扭杆分别与内环、转子连接。本发明还公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构的加工方法。本发明硅基三平衡环动调陀螺转子体结构能有效的消去单平衡环2倍频角振动带来的影响，可以提高陀螺精度，且没有双平衡环对平衡环和扭杆制造要求的那么苛刻。
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公开(公告)号：CN103900547B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410105807.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5719
Abstract: 本发明公开了一种单片集成的全解耦三轴硅微陀螺仪，其结构形式为四方对称结构，主要包括驱动部分、驱动检测部分、航向角检测部分、俯仰角检测部分、角检测部分以及相应的耦合折叠梁等。其中，所设计四方对称结构中四个正方形大框架内部的结构一致，两对边的结构形式则完全相同，四个大框架通过四个对角处的耦合折叠梁实现连接。本发明的单片集成三轴硅微陀螺仪可以同时测量航向、俯仰、横滚三个方向的角速度，而且各模态之间通过合理的结构设计实现了完全解耦，从而能够达到较为良好的测量性能。
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公开(公告)号：CN103900547A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410105807.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5719
CPC classification number: G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种单片集成的全解耦三轴硅微陀螺仪，其结构形式为四方对称结构，主要包括驱动部分、驱动检测部分、航向角检测部分、俯仰角检测部分、角检测部分以及相应的耦合折叠梁等。其中，所设计四方对称结构中四个正方形大框架内部的结构一致，两对边的结构形式则完全相同，四个大框架通过四个对角处的耦合折叠梁实现连接。本发明的单片集成三轴硅微陀螺仪可以同时测量航向、俯仰、横滚三个方向的角速度，而且各模态之间通过合理的结构设计实现了完全解耦，从而能够达到较为良好的测量性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103900545A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410105276.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种单片集成全对称三轴硅微音叉陀螺仪，其结构形式为四方全对称结构，主要包括驱动模块、驱动检测模块、航向角检测模块、俯仰角检测模块、横滚角检测模块以及相应的耦合折叠梁、工字型梁、T型梁、U型梁等组成部分。所设计四方全对称三轴硅微陀螺仪在每个方向上都具有相同的结构，四边的四个大框架通过对角处的耦合折叠梁实现连接支撑，这种对称的结构设计以及对角处的耦合连接保证了陀螺仪工作时的音叉效果。本发明的单片集成三轴硅微陀螺仪可以同时测量航向、俯仰、横滚三个方向的角速度，其中驱动检测模态与航向角检测模态同其他模态之间实现了解耦。
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公开(公告)号：CN103322994A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310176936.5
申请日：2013-08-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，所述微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，微半球壳上边缘与第一硅片的下表面接触；所述驱动电极设在第一硅片和第二硅片之间、微半球壳的外围，驱动电极一端与第二硅片固定连接，另一端与第一硅片活动连接；所述检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产等优点，预期可广泛用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN102661744A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210177331.3
申请日：2012-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基双平衡环动调陀螺转子体结构，包括一个内环、一个转子和两个独立的平衡环，所述内环、转子和平衡环均为空心圆柱体结构，所述内环与电机转子体固定连接，且设置在转子内，所述平衡环设置在内环和转子之间，并且通过内扭杆、外扭杆分别与内环、转子连接。本发明还公开了一种硅基双平衡环动调陀螺转子体结构的加工方法。本发明硅基双平衡环动调陀螺转子体结构能有效的消去单平衡环2倍频角振动带来的影响，可以提高陀螺精度。
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公开(公告)号：CN103322994B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201310176936.5
申请日：2013-08-01
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，所述微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，微半球壳上边缘与第一硅片的下表面接触；所述驱动电极设在第一硅片和第二硅片之间、微半球壳的外围，驱动电极一端与第二硅片固定连接，另一端与第一硅片活动连接；所述检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产等优点，预期可广泛用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN102735230B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210189466.1
申请日：2012-06-08
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种微机电混合陀螺仪的电路系统，所述微机电混合陀螺仪输出的电容信号经过前置接口的差分放大器和带通滤波器，接着依次经模数转换器、数字解调器、滤波器、解耦模块，再经数模转换器转换成模拟信号，该模拟信号经放大器放大后成为反馈电压，与载波和预载电压叠加，作用于微机电混合陀螺仪的反馈力矩器，形成再平衡回路。本发明克服模拟电路实现的硅微陀螺外围信号处理电路结构复杂，灵活性差，噪声和温度漂移等不足，提供一种简单易行，稳定性好，可移植性强的微机电混合陀螺仪的电路系统。
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