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公开(公告)号：CN114459450B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210157961.8
申请日：2022-02-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法，MOEMS陀螺仪包括器件层、金属引线层和衬底层，金属引线层介于器件层和衬底层之间。器件层包括机械模块、静电驱动模块、光学敏感模块和支撑框架。其中机械模块由质量块、驱动弹簧梁、敏感弹簧梁和解耦框架构成；静电驱动模块由两组驱动梳齿结构组成；光学敏感模块主要由集成波导、二维光子晶体和机械敏感单元组成；质量块在静电力驱动下沿着驱动轴方向振动，在外加角速度下使机械敏感单元发生位移变化，通过光信号进入集成波导经过二维光子晶体耦合入机械敏感单元，检测输出集成波导出射的光信号变化。本发明结构集成度高、封装尺寸小、低功耗、易于制造和易于携带等特点。
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公开(公告)号：CN113978719A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111339503.8
申请日：2021-11-12
Applicant: 东南大学
IPC: B64C33/02 , C22C19/03 , B22F9/08 , B22F10/28 , B22F10/64 , B33Y10/00 , B33Y70/00 , B33Y80/00 , C22F1/10
Abstract: 本发明公开了一种基于形状记忆合金的翅翼作动器及其加工方法，本发明的基于形状记忆合金的翅翼作动器包括翅翼作动器框架、用于给所述翅翼作动器框架供电的电源以及控制电路通断的开关器；所述翅翼作动器框架由若干线条形镍钛形状记忆合金、若干弧条形镍钛形状记忆合金构成含有不同形状网格结构的翅翼作动器框架，且每个线条形镍钛形状记忆合金和弧条形镍钛形状记忆合金的宽度和厚度完全一致。通过外加电来调控翅翼作动器的内部电阻热量，进而有效地控制翅翼作动器变形情况。本发明翅翼作动器框架易于设计，体积小，重量轻，易于控制，加工方法效率高等优势，在军用和民用中潜在广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN115166297B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210157198.9
申请日：2022-02-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯MOEMS加速度计及其加工方法，MOEMS加速度计基于石墨烯MOEMS加速度计从上到下依次包括器件结构层、氧化物掩埋层和底部基板层；器件结构层包括支撑框架以及置于所述支撑框架中间位置的质量块，所述质量块的左右两侧分别通过悬臂梁弹簧与所述支撑框架连接，所述质量块的纵向方向中部的上端和下端分别向外凸出形成质量块传感区域，所述质量传感区域上以带状阵列周期性铺设石墨烯带构成敏感单元，所述支撑框架的上下两端以所述敏感单元的左右两侧对称设置有光波导，每个光波导上设置有光纤接口。本发明具有结构简单，重量轻，加工工艺明确以及成本低，在消费电子产品、惯性导航等方面潜在广泛的应(56)对比文件严与星.隧穿型石墨烯MEMS加速度计研究.中国优秀硕士学位论文全文数据库 (工程科技Ⅱ辑).2021,全文.Jeong Won Kang.Developingaccelerometer based on graphenenanoribbon resonators.Physics LettersA.2012,全文.Xiao Yang. A Novel Two-AxisDifferential Resonant Accelerometer Basedon Graphene with TransmissionBeams.Sensors.2022,全文.
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公开(公告)号：CN115166297A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210157198.9
申请日：2022-02-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯MOEMS加速度计及其加工方法，MOEMS加速度计基于石墨烯MOEMS加速度计从上到下依次包括器件结构层、氧化物掩埋层和底部基板层；器件结构层包括支撑框架以及置于所述支撑框架中间位置的质量块，所述质量块的左右两侧分别通过悬臂梁弹簧与所述支撑框架连接，所述质量块的纵向方向中部的上端和下端分别向外凸出形成质量块传感区域，所述质量传感区域上以带状阵列周期性铺设石墨烯带构成敏感单元，所述支撑框架的上下两端以所述敏感单元的左右两侧对称设置有光波导，每个光波导上设置有光纤接口。本发明具有结构简单，重量轻，加工工艺明确以及成本低，在消费电子产品、惯性导航等方面潜在广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN114459450A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210157961.8
申请日：2022-02-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法，MOEMS陀螺仪包括器件层、金属引线层和衬底层，金属引线层介于器件层和衬底层之间。器件层包括机械模块、静电驱动模块、光学敏感模块和支撑框架。其中机械模块由质量块、驱动弹簧梁、敏感弹簧梁和解耦框架构成；静电驱动模块由两组驱动梳齿结构组成；光学敏感模块主要由集成波导、二维光子晶体和机械敏感单元组成；质量块在静电力驱动下沿着驱动轴方向振动，在外加角速度下使机械敏感单元发生位移变化，通过光信号进入集成波导经过二维光子晶体耦合入机械敏感单元，检测输出集成波导出射的光信号变化。本发明结构集成度高、封装尺寸小、低功耗、易于制造和易于携带等特点。
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