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公开(公告)号：CN112815934B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202110012101.0
申请日：2021-01-06
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , H02M1/14 , H02M5/12 , H02M7/06
Abstract: 本发明公开了一种自带AGC的微半球陀螺仪的高压直流驱动电路，包括依次串联连接的三角波产生电路、比较器电路、驱动电路、推挽电路、整流滤波电路、HIV分压电路、PID电路和加法电路，还包括3V基准电压电路，其中，3V基准电压电路的第一输出与加法电路的另一输入端连接，第二输出与PID电路的另一输入端连接，且加法电路的输出与比较器电路的另一输入端连接；本发明通过分压电路、3V基准电压电路、PID电路、加法电路以及比较器电路得到占空比可调的PWM波，再输入驱动电路实现对不稳定高压的控制；并通用集成芯片、二极管与RC辅助电路的配合，实现了电源的升压稳压输出，电路结构简单，而且外围参数配置容易，可推广应用。
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公开(公告)号：CN110329989B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN201910479043.5
申请日：2019-06-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种纵向双腔原子气室及其制备方法，由玻璃、硅片、玻璃依次键合而成；所述原子气室包括设在上层玻璃和硅片之间的上层气室，与上层气室相连通、刻蚀在硅片上的用于吹制上层气室的凹槽，刻蚀在下层玻璃上的反应室，与凹槽、反应室向连通的过滤通道；所述凹槽的深度小于硅片的厚度；过滤通道包括刻蚀在硅片上的第一通道。本发明在化学反应填充技术的基础上设计了上检测下反应的纵向双气腔结构，在保留定量配比的同时，纵向结构优化了气室占地空间大小；纵向的结构也会使得重力限制生成的杂质向上层检测气室流通。
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公开(公告)号：CN111595312B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202010447258.1
申请日：2020-05-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种可阵列环形耦合三轴全解耦微陀螺仪及其加工方法，微陀螺仪结构形式为四方对称结构，主要包括外环形驱动框架部分、内环型驱动耦合框架部分、敏感检测质量块部分以及相应的耦合折叠梁等。其中，所设计的四方对称结构中四个质量块及内部结构完全一致，每个质量块包含一个驱动传递框架，两个双自由度框架，两个检测框架及对应的耦合折叠梁，四个质量块的驱动传递框架通过外环及内环耦合连接，实现等幅差分驱动；检测框架通过耦合梁实现全解耦功能，从而达到较好的测量性能。加工工艺简单，能够达到较好的检测性能。
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公开(公告)号：CN112504258A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011221187.X
申请日：2020-11-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种基于全角模式的石英半球谐振陀螺自适应控制电路及方法，该控制电路包括石英半球谐振陀螺罩子及套装在所述石英半球谐振陀螺罩子里面的石英半球谐振陀螺，所述石英半球谐振陀螺周围均匀间隔布置有检测电极和反馈电极，所述检测电极连接模拟环形二极管放大滤波电路，所述模拟环形二极管放大滤波电路连接ADC模数转换电路，所述ADC数模转换电路连接可编程逻辑门阵列及数字控制电路，所述数字控制电路连接DAC数模转换电路，所述DAC数模转换电路连接信号反馈控制电路，所述信号反馈控制电路连接所述的反馈电极，该电路结构具有稳定性好、准确性高、精度高、体积小、易于集成等特点。
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公开(公告)号：CN110631568B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201910851869.X
申请日：2019-09-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开了一种基于二维光子晶体腔体结构的新型MOEMS双轴陀螺仪及其加工方法，陀螺仪由上至下依次包括玻璃盖帽、器件层和玻璃衬底，玻璃盖帽包括金属引线、电极和通光孔；器件层包括外框架、位于外框架中心的驱动质量块、驱动检测组件、X轴检测组件、Y轴检测组件、第一、第二驱动电极支撑柱、第一、第二驱动检测电极支撑柱，玻璃衬底包括金属引线和电极。驱动检测组件用于对驱动质量块施加静电力和驱动检测；X轴检测组件和Y轴检测组件分别沿X轴和Y轴方向对称分布于驱动质量块周围，用于检测X轴和Y轴方向的角速度输出。本发明加工工艺简单、成本低且便于批量生产，在单个器件内实现了对双轴的角速度的测量，有着良好的市场前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108709549B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201810530684.4
申请日：2018-05-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法，陀螺仪包括集成光源、带纳米光栅微谐振器和集成光电转换器；集成光源上对称设有第一反射面，两个第一反射面外侧分别设有光源，相邻两个第一发射面和光源之间设有第一光路；微谐振器由上至下包括盖帽、微谐振器和衬底，微谐振器包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，可动光栅附着在微谐振器的质量块下方，可动光栅下方的衬底设有固定光栅，盖帽对应驱动框架四周处设有第一通孔，集成光源设有第二通孔；集成光电转换器上对称设有第二反射面，两个第二反射面外侧分别设有集成光电二极管，相邻两个第二发射面和集成光电二极管之间设有第二光路。本发明测量精度和集成度高、体积小、实用性强。
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公开(公告)号：CN108731660A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810263737.0
申请日：2018-03-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开一种基于PCB平面电极的半球谐振陀螺仪及其加工组装方法，陀螺仪包括外筒、盖帽和主体结构，盖帽设在外筒顶端，主体结构设在外筒内；主体结构包括半球壳谐振子、PCB平面电极板、扇形电极、电极引线、谐振器固定座和固定托盘；半球壳谐振子、谐振器固定座和固定托盘自上而下顺序组装，固定托盘为环状，谐振器固定座顶面中心设有圆槽，PCB平面电极板设在圆槽内，PCB平面电极板顶面设有扇形电极，底面设有电极引线，谐振器固定座对应电极引线位置设有第一电极孔，外筒底面设有与第一电极孔对应的第二电极孔；电极引线穿过第一电极孔、固定托盘和第二电极孔伸出外筒底面。本发明结构简单，装配容易，加工难度低，电路兼容性好。
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公开(公告)号：CN107015016A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710378413.7
申请日：2017-05-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01P3/44 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , B81B7/00 , B81C3/00
CPC classification number: G01P3/44 , B81B7/0009 , B81C3/001 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/0802 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于SOI封装的六轴微惯性器件，包括单片集成的六轴微惯性器件、玻璃衬底、金属电极、金属引线、SOI盖帽和SOI密封墙；六轴微惯性器件通过阳极键合工艺键合在玻璃衬底上；金属电极为一个以上，均匀设置在玻璃衬底一侧，金属电极通过金属引线与六轴微惯性器件相接，SOI盖帽设在玻璃衬底正上方，SOI密封墙设在SOI盖帽和SOI密封墙之间，形成空腔结构；每个金属电极正上方的SOI盖帽上设有梯形电极孔，梯形电极孔正下方的SOI密封墙上设有垂直贯通；梯形电极孔、垂直贯通与金属电极一一对应。本发明具有全解耦、质量小、结构精巧、成本低和便于批量生产等优点，在单个器件内同时实现了对三轴的加速度和角速度的检测，应用范围广，有着良好的市场前景。
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公开(公告)号：CN105458210B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201610034349.6
申请日：2016-01-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种电机锥形转子压铸和压装自动化生产系统，压铸工作台安装于压铸机的正前方，压装机通过第四传送带与压铸机相连接且压装机位于压铸工作台的前方；压铸机的后方还安装有五连杆给汤机和电磁感应熔铝机，压铸机上设置有向后延伸的第一传送带；压铸工作台上设置有开合模辅助装置，压铸工作台前方安装有喷雾机和电加热炉；压装工作台安装于压装机上靠近第四传送带一端，第四传送带一侧安装有中频加热设备，第四传送带上靠近压装机一端正上方安装有中频加热设备的加热感应圈。本发明简单精巧，整个使用过程轻松快捷，减少大量人力，提高生产效率，增加生产产能，机器人可以严格按程序操作，使工艺达到极高的可重复精度，可提高生产质量。
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公开(公告)号：CN104698222B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510083131.5
申请日：2015-02-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成谐振电容式硅微加速度计，包括玻璃基底以及键合锚点悬浮设置于玻璃基底表面中心位置的主结构；主结构包括敏感质量块框、安装于敏感质量块框中心位置的两个扭摆式质量块、电容梳齿组和四个谐振器；两个扭摆式质量块纵向排列放置，且每个扭摆式质量块均由两个质量摆横向连接构成，且每个扭摆式质量块的左右两侧分别设置有电容梳齿组；四个谐振器分别通过杠杆机构安装于敏感质量块框四个顶角的外侧；玻璃基底上设有与主结构电极相连的信号引线。本发明在X、Y、Z三个方向的加速度测量时均进行了差分输出，提高检测精度，并且X、Y轴采用谐振式，Z轴采用电容式成本低，本发明中的加工方法简单可大批量生产。
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