三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法

    公开(公告)号:CN105466408A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510431694.9

    申请日:2015-07-21

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/5691

    Abstract: 本发明公开一种三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法,包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构,主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构;立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心位置,立体质量块通过四组内弹性梁连接于外弹性梁,检测结构包括两个X轴检测电极、两个Y轴检测电极和两个Z轴检测电极;驱动结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴驱动电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴驱动电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴驱动电极。本发明结构简单,体积相对较小,便于加工制造,能够极大地提高成品率,测量精度好,具有广阔的市场前景。

    静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法

    公开(公告)号:CN105115486B

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201510423409.9

    申请日:2015-07-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪,包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底,玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底,硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底,主单元结构设置于玻璃层的中心位置,包括球壳振子和电极球壳,球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置,电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层;电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件。本发明中主单元结构中的球壳振子由光刻胶SU8采用3‑DLaser技术制成,为MEMS的加工提供了一种新的思路;球壳振子使用静电悬浮结构悬浮于主单元结构中心位置可以消除谐振时机械摩擦的影响,同时提高抗冲击能力。

    三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法

    公开(公告)号:CN105466408B

    公开(公告)日:2017-12-22

    申请号:CN201510431694.9

    申请日:2015-07-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法,包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构,主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构;立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心位置,立体质量块通过四组内弹性梁连接于外弹性梁,检测结构包括两个X轴检测电极、两个Y轴检测电极和两个Z轴检测电极;驱动结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴驱动电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴驱动电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴驱动电极。本发明结构简单,体积相对较小,便于加工制造,能够极大地提高成品率,测量精度好,具有广阔的市场前景。

    基于笔迹坐标序列的手写识别方法

    公开(公告)号:CN106407874A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610180051.6

    申请日:2016-03-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种基于笔迹坐标序列的文字识别方法。本发明先采集大量手写笔迹序列的数据,获得具有普适性的识别模型,之后,在实际使用中通过递归神经网络对用户的手写笔迹坐标序列进行训练,形成适应用户手写习惯的识别模型。由于记录了用户书写笔迹的时间特征,训练后可以形成适应用户手写习惯的识别模型,因而识别精度更高。本发明可以通过改变手写输入设备的采样频率,改变笔迹坐标序列的数据量,针对不同用户的手写速度调整训练模型计算速度,而且可以在手写过程中进行识别,识别效率更高。

    静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪及其加工方法

    公开(公告)号:CN105115486A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510423409.9

    申请日:2015-07-17

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/5691

    Abstract: 本发明公开一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪,包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底,玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底,硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底,主单元结构设置于玻璃层的中心位置,包括球壳振子和电极球壳,球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置,电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层;电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件。本发明中主单元结构中的球壳振子由光刻胶SU8采用3-DLaser技术制成,为MEMS的加工提供了一种新的思路;球壳振子使用静电悬浮结构悬浮于主单元结构中心位置可以消除谐振时机械摩擦的影响,同时提高抗冲击能力。

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