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公开(公告)号：CN105628013B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201610013588.3
申请日：2016-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种组装式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，上层玻璃衬底、外围锚点结构和下层玻璃衬底由上而下依次设置，在上层玻璃衬底的底面的中心设有圆形凹槽，外围锚点结构为中空的框型结构，圆形凹槽和外围锚点结构的中空区域相连通形成腔体，在该腔体的中心设置半球壳谐振子；在上层玻璃衬底上等间距设置十六个电极，每个电极均分别与相对应的十六个电极孔相连，电极孔设置在上层玻璃衬底中；本发明还公开了一种组装式半球谐振微陀螺仪加工工艺。本发明的一种组装式半球谐振微陀螺仪实现了封装，缩减了生产周期，提高了产生效率；本发明的半球壳谐振子和均布式电极的加工工艺简单，尺寸较小，生产成本较低，适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN106959106A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710217077.8
申请日：2017-04-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法，基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪包括玻璃基底、SOI密封壳、熔融石英微半球壳谐振子、微半球壳支撑柱、基准电极、8个敏感电极、16六个激励电极、圆形金属焊盘和圆柱形电极通孔。本发明电极位于球壳唇沿的正下方，能避免微半球壳谐振子和电极组装时，由于键合对准精度问题而造成的偏心误差；而且在球壳唇沿处增加了唇外沿，增大了电极与球壳唇沿的正对面积，能提高检测精度；充分利用了SOI晶圆片的优势，对微半球谐振陀螺仪进行封装，使得整个陀螺仪的封装工艺大大简化；具有8个敏感电极和16个激励电极，能采用全角工作模式，使微半球谐振陀螺仪的动态性能将得到增强。
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公开(公告)号：CN107063220B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201710217081.4
申请日：2017-04-05
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪及其加工方法，基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪包括玻璃衬底、微半球壳谐振子、两个基准电压引线柱、电极、SOI密封墙、SOI晶硅圆片的上层、二氧化硅层、第一电极孔、第二电极孔、球壳支撑柄、圆形金属电极区和金属引线。本发明电极位于球壳唇沿的正上方，避免了组装键合时由于键合对准精度而引起的电容间隙大小不一致的缺陷，减小了加工误差，提高了陀螺精度；本发明基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪的加工方法，充分利用了SOI晶圆片的优势，使得整个陀螺仪的封装大大简化；球壳支撑柄的高度和直径都很容易控制，并且支撑强度大，不容易坍塌。
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公开(公告)号：CN105562650B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201610034055.3
申请日：2016-01-19
Applicant: 东南大学
IPC: B22D17/20
Abstract: 本发明公开一种基于PLC控制的电机转子压铸自动化模具库，包括底层转动结构和安装于底层传动结构上的模具库主结构；所述模具库主结构包括中心转轴和若干层模具放置腔室，中心转轴固定于底层传动结构上表面的中心位置，所述模具放置腔室沿着中心轴轴向位置设置，模具放置腔室中均放置有若干模具定位结构；所述底层传动结构的下表面配置有齿轮，该齿轮与步进电机相配合进而驱动中心转轴的转动，所述步进电机通过PLC控制器对步进电机的驱动脉冲进行控制。本发明的模具库利用PLC进行控制，有利于电机转子压铸工艺的全自动化，提高压铸工艺的生产效率和质量，降低人力成本。
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公开(公告)号：CN105466408B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201510431694.9
申请日：2015-07-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种三轴立体足球状微陀螺仪及其加工方法，包括两层上下叠放的玻璃基底以及安装于两侧玻璃基底之间的主单元结构，主单元结构包括立体质量块、内弹性梁、外弹性梁、驱动结构和检测结构；立体质量块呈足球状位于主单元结构的中心位置，立体质量块通过四组内弹性梁连接于外弹性梁，检测结构包括两个X轴检测电极、两个Y轴检测电极和两个Z轴检测电极；驱动结构包括两个分别位于正负X轴方向的X轴驱动电极、两个分别位于正负Y轴方向的Y轴驱动电极和两个分别位于正负Z轴方向的Z轴驱动电极。本发明结构简单，体积相对较小，便于加工制造，能够极大地提高成品率，测量精度好，具有广阔的市场前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105466405B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201610008727.3
申请日：2016-01-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种混合式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，其由上而下依次设置的上层玻璃衬底、电极层、硅结构层和下层玻璃衬底；其中，在上层玻璃衬底、电极层和硅结构层的中心设有圆形腔体，半球壳谐振子设置在圆形腔体中；半球壳谐振子通过支撑柄固定在硅结构层上；电极层包括配合使用的电极和外围锚点结构，在上层玻璃衬底设有配合电极使用的电极孔和小焊盘，小焊盘均布在上层玻璃衬底的边缘，小焊盘分别通过金属引线与上层玻璃衬底中的电极孔相连；本发明还公开了一种混合式半球谐振微陀螺仪的加工工艺。本发明的陀螺仪将结构层和玻璃衬底进行阳极键合的同时完成了真空封装，减少了工艺步骤；本发明的加工工艺，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN105562650A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610034055.3
申请日：2016-01-19
Applicant: 东南大学
IPC: B22D17/20
CPC classification number: B22D17/20
Abstract: 本发明公开一种基于PLC控制的电机转子压铸自动化模具库，包括底层转动结构和安装于底层传动结构上的模具库主结构；所述模具库主结构包括中心转轴和若干层模具放置腔室，中心转轴固定于底层传动结构上表面的中心位置，所述模具放置腔室沿着中心轴轴向位置设置，模具放置腔室中均放置有若干模具定位结构；所述底层传动结构的下表面配置有齿轮，该齿轮与步进电机相配合进而驱动中心转轴的转动，所述步进电机通过PLC控制器对步进电机的驱动脉冲进行控制。本发明的模具库利用PLC进行控制，有利于电机转子压铸工艺的全自动化，提高压铸工艺的生产效率和质量，降低人力成本。
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公开(公告)号：CN105115486A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510423409.9
申请日：2015-07-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
CPC classification number: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底，玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底，主单元结构设置于玻璃层的中心位置，包括球壳振子和电极球壳，球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置，电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层；电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件。本发明中主单元结构中的球壳振子由光刻胶SU8采用3-DLaser技术制成，为MEMS的加工提供了一种新的思路；球壳振子使用静电悬浮结构悬浮于主单元结构中心位置可以消除谐振时机械摩擦的影响,同时提高抗冲击能力。
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公开(公告)号：CN107015016A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710378413.7
申请日：2017-05-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01P3/44 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , B81B7/00 , B81C3/00
CPC classification number: G01P3/44 , B81B7/0009 , B81C3/001 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/0802 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种基于SOI封装的六轴微惯性器件，包括单片集成的六轴微惯性器件、玻璃衬底、金属电极、金属引线、SOI盖帽和SOI密封墙；六轴微惯性器件通过阳极键合工艺键合在玻璃衬底上；金属电极为一个以上，均匀设置在玻璃衬底一侧，金属电极通过金属引线与六轴微惯性器件相接，SOI盖帽设在玻璃衬底正上方，SOI密封墙设在SOI盖帽和SOI密封墙之间，形成空腔结构；每个金属电极正上方的SOI盖帽上设有梯形电极孔，梯形电极孔正下方的SOI密封墙上设有垂直贯通；梯形电极孔、垂直贯通与金属电极一一对应。本发明具有全解耦、质量小、结构精巧、成本低和便于批量生产等优点，在单个器件内同时实现了对三轴的加速度和角速度的检测，应用范围广，有着良好的市场前景。
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公开(公告)号：CN105628013A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610013588.3
申请日：2016-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
CPC classification number: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种组装式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，上层玻璃衬底、外围锚点结构和下层玻璃衬底由上而下依次设置，在上层玻璃衬底的底面的中心设有圆形凹槽，外围锚点结构为中空的框型结构，圆形凹槽和外围锚点结构的中空区域相连通形成腔体，在该腔体的中心设置半球壳谐振子；在上层玻璃衬底上等间距设置十六个电极，每个电极均分别与相对应的十六个电极孔相连，电极孔设置在上层玻璃衬底中；本发明还公开了一种组装式半球谐振微陀螺仪加工工艺。本发明的一种组装式半球谐振微陀螺仪实现了封装，缩减了生产周期，提高了产生效率；本发明的半球壳谐振子和均布式电极的加工工艺简单，尺寸较小，生产成本较低，适合批量化生产。
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