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公开(公告)号：CN118737794A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410793422.2
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN118136551A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311578460.8
申请日：2023-11-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供运送模块和运送方法，能够减少基板处理系统的设置面积。运送模块包括第1运送室、第2运送室和开闭门。第1运送室具有能够收纳被运送物的收纳部。在收纳有多个被运送物的容器被送入第2运送室内、第2运送室内的压力从大气压切换成低压后，以第1运送室内的空间和第2运送室内的空间连通的方式控制开闭门。多个被运送物从容器向第1运送室内的收纳部运送，从收纳部向真空运送模块内运送。从真空运送模块送出的被运送物不经由收纳部地运送至容器内。
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公开(公告)号：CN115050674A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210163305.9
申请日：2022-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供能够使对输送机器人的示教自动化的输送系统、输送装置和输送方法。本发明的一方式的输送系统包括：基于动作指示利用末端执行器输送输送对象物的输送机器人；和将上述动作指示输出到上述输送机器人的控制部，上述末端执行器和上述输送对象物中的至少任一者具有传感器和摄像机中的至少任一者，上述控制部基于上述传感器的检测结果和上述摄像机的撮影结果中的至少任一者，计算上述末端执行器与上述输送对象物的相对位置，上述控制部基于上述相对位置决定上述末端执行器相对于上述输送对象物的教示位置，将上述动作指示输出到上述输送机器人以使得在该教示位置配置该末端执行器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118841351A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410935358.7
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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公开(公告)号：CN111668142B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202010118940.6
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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公开(公告)号：CN113310402A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110187417.3
申请日：2021-02-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 丰卷俊明
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供能够将基片和边缘环定位的定位装置、处理系统和定位方法。本发明的一个方式的定位装置包括：保持基片的基片保持台；保持边缘环的第一保持销；在上述第一保持销以外另设的、保持上述边缘环的第二保持销；使上述基片保持台和上述第一保持销旋转的旋转机构；使上述第一保持销和上述第二保持销的至少一者升降的升降机构；以及检测机构，其检测保持在上述基片保持台的上述基片的外周的位置和保持在上述第一保持销的上述边缘环的内周的位置。
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公开(公告)号：CN113257728A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110141916.9
申请日：2021-02-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 丰卷俊明
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种输送装置的示教方法。本发明的一个方式的输送装置的示教方法是具有保持基片的基片保持部和设置于该基片保持部的第1检测部的输送装置的示教方法，其包括：一边使上述基片保持部在铅垂方向上移动，一边用上述第1检测部对检测物体的高度位置进行检测，并基于所检测出的上述检测物体的高度位置来设定上述基片保持部的铅垂方向上的示教位置的步骤；和一边使上述基片保持部在水平方向上移动，一边基于设置在与上述输送装置不同的位置的第2检测部检测出上述基片保持部时的上述基片保持部的水平位置，来设定上述基片保持部的水平方向上的示教位置的步骤。根据本发明，能够缩短输送装置的示教操作所需的时间。
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公开(公告)号：CN111668142A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010118940.6
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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