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公开(公告)号：CN111312576A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201911193850.7
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN1321448C
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN03811063.6
申请日：2003-05-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 沼仓雅博
CPC classification number: H01L21/67276 , G05B19/41865 , G05B2219/32315 , G05B2219/45031 , Y02P90/20
Abstract: 在控制装置MC中，存储在前一批中，最后进行处理的处理室PM(最终处理PM)，当开始此次的批量处理时，从该最终处理PM时下一个处理室(例如最终处理PM为处理室PM1的情况下，为处理室PM2)，开始搬入半导体晶片W。这样，可使各个处理部分的使用频度均匀，可以抑制在维修循环或处理部分内的零件的消耗程度上产生的差别。
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公开(公告)号：CN1808693A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510132644.7
申请日：2005-12-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 沼仓雅博
Abstract: 一种检查基板处理装置的方法，其能够防止将产品基板提供到要被检查的基板处理室，并在希望的时间检查基板处理室。根据操作者选择菜单选项“QC模式”，或者响应来自主机的指令，禁止产品晶片W(产品基板)被输送到要被检查的处理单元(基板处理室)。响应存储在连接到相关联的装载口24的载体中的晶片是QC晶片这个事实的通知，允许将QC晶片从连接到相关联的装载口24的载体输送到要被检查的处理单元。
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公开(公告)号：CN118737796A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410793668.X
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN111312576B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN201911193850.7
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101540274A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910128448.0
申请日：2009-03-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67207 , H01L21/67028 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种基板处理系统的洗净方法和基板处理系统，能够在适当条件下适当地洗净收容室。在基板处理系统(10)中，系统控制器(25)的CPU执行如下洗净处理，在此后要执行的制品处理与以批次执行的最初的制品处理相当时，在后面的批次和前面的批次的时间间隔在预先设定的规定时间以内，且在之前的批次中执行的最后的制品处理的种类与在后面执行的最初的制品处理的种类相同的情况下，对制品处理的执行次数累加“1”，对包含累加后的制品处理实施的晶片(W)的批次，参照已设定的系统方案，执行在该系统方案中记载的与腔室(21)对应的清洗处理。
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公开(公告)号：CN100397568C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200510132644.7
申请日：2005-12-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 沼仓雅博
Abstract: 一种检查基板处理装置的方法，其能够防止将产品基板提供到要被检查的基板处理室，并在希望的时间检查基板处理室。根据操作者选择菜单选项“QC模式”，或者响应来自主机的指令，禁止产品晶片W(产品基板)被输送到要被检查的处理单元(基板处理室)。响应存储在连接到相关联的装载口24的载体中的晶片是QC晶片这个事实的通知，允许将QC晶片从连接到相关联的装载口24的载体输送到要被检查的处理单元。
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公开(公告)号：CN1326202C
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200410090844.6
申请日：2004-11-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67294 , H01L21/67276 , Y10S414/135
Abstract: 一种不需要用户费事，而提高基板处理装置的检查可靠性的基板处理装置。处理室对于被收容的半导体晶片进行处理，搬送室搬送半导体晶片。前开式标准舱(front opening unified pod)收容用于检查处理室和搬送室的多个仿真晶片。CPU将与更换前开式标准舱内的仿真晶片前后的仿真晶片的配置有关的收容状况作为仿真晶片的设定信息，存储在HDD(hard disk drive)中。
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公开(公告)号：CN118841351A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410935358.7
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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公开(公告)号：CN111668142B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202010118940.6
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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