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公开(公告)号：CN118737796A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410793668.X
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN111312576B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN201911193850.7
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN111312576A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201911193850.7
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118737795A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410793615.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基片处理系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN118737794A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410793422.2
申请日：2019-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。
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公开(公告)号：CN118841351A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410935358.7
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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公开(公告)号：CN111668142B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202010118940.6
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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公开(公告)号：CN111668142A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010118940.6
申请日：2020-02-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。
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