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公开(公告)号：CN103048879A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN109454996B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201811038574.2
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 喷出材料容纳单元、喷出材料喷出设备以及柔性构件的制造方法。提供一种喷出材料容纳单元，其能够在尽可能少地使容器自身大型化的情况下增加喷出材料的填充量，还提供包括该单元的喷出材料喷出设备。因此，喷出材料容纳单元包括：第一容纳空间，其能够容纳喷出材料；第二容纳空间，其能够容纳液体；以及柔性构件，其将第一容纳空间和第二容纳空间分隔开，其特征在于，柔性构件具有在第一容纳空间未填充满喷出材料且第二容纳空间未填充满液体的状态下呈凹形的凹部，并且该凹形是从第一容纳空间朝向第二容纳空间凹陷的形状，并且该凹形也是与形成第二容纳空间的壁相适配的形状。
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公开(公告)号：CN105137713A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN105917442B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201580005034.2
申请日：2015-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , G03F7/20
CPC classification number: B29C43/58 , B29C35/0805 , B29C43/52 , B29C2035/0827 , B29C2043/5816 , B29C2043/585 , B29L2031/34 , G01B11/14 , G02B5/1861 , G02B5/20 , G02B27/141 , G03F7/0002 , H01L21/565
Abstract: 本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
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公开(公告)号：CN103048878A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210385057.9
申请日：2012-10-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/682 , B29C35/0805 , B29C59/026 , B29C59/16 , B29C2035/0822 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B29L2031/34 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/6838 , H01L22/20 , H01L23/544
Abstract: 本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤。其中在变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109324476B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201811402119.6
申请日：2015-01-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 公开了压印装置和制造物品的方法。本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。
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公开(公告)号：CN105137713B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN104067373B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380006253.3
申请日：2013-01-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/16 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7003 , G03F9/7042 , G03F9/7065
Abstract: 压印装置使用模具在基板的待处理区域上形成树脂的图案，模具包括在其上形成有图案的图案区域，压印装置包括：校正单元，被配置为校正目标区域的形状，目标区域是模具上的图案区域或者基板上的待处理区域，其中，校正单元进一步包括：加热单元，被配置为在加热区域中对与模具或基板的目标区域相对应的对象进行加热，加热区域的面积小于模具上的图案区域的面积；扫描单元，被配置为通过改变目标区域和加热区域的相对位置来相对于目标区域扫描加热区域；以及控制单元，被配置为获取关于目标区域的校正变形量的信息并且基于该信息来控制加热单元和扫描单元。
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公开(公告)号：CN104067373A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006253.3
申请日：2013-01-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/16 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7003 , G03F9/7042 , G03F9/7065
Abstract: 压印装置使用模具在基板的待处理区域上形成树脂的图案，模具包括在其上形成有图案的图案区域，压印装置包括：校正单元，被配置为校正目标区域的形状，目标区域是模具上的图案区域或者基板上的待处理区域，其中，校正单元进一步包括：加热单元，被配置为在加热区域中对与模具或基板的目标区域相对应的对象进行加热，加热区域的面积小于模具上的图案区域的面积；扫描单元，被配置为通过改变目标区域和加热区域的相对位置来相对于目标区域扫描加热区域；以及控制单元，被配置为获取关于目标区域的校正变形量的信息并且基于该信息来控制加热单元和扫描单元。
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