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公开(公告)号：CN104730860A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410804774.X
申请日：2014-12-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C59/026 , B29C59/002 , B29L2031/001 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置、异物去除方法及物品制造方法。该压印装置进行利用模具使基板上的压印材料成型并且在所述基板上形成图案的压印处理，该压印装置包括：基板卡盘，其被构造为保持所述基板；保护板，其被构造为围绕所述基板卡盘；以及抽吸机构，其被构造为对所述基板卡盘与所述保护板之间的间隙的至少一部分进行抽吸，其中，在所述抽吸机构对所述间隙的至少一部分进行抽吸时，所述基板卡盘保持与要形成所述图案的所述基板不同的板。
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公开(公告)号：CN106502047B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201610751494.6
申请日：2016-08-29
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种压印装置、物品的制造方法及供给装置。所述压印装置包括：腔室，其被构造为限定包括处理单元的第一空间，所述处理单元包括被构造为将压印材料排出到基板上的排出单元，并且所述处理单元被构造为通过使用模具进行使所述基板上的压印材料形成图案的压印处理；以及容器，其被构造为限定包括箱的第二空间，所述箱被构造为储存要供给到所述排出单元的压印材料，其中，所述箱具有对所述第二空间开放的第一开口，并且所述容器具有供给口，所述供给口被构造为经由所述第一开口将比供给到所述第一空间的气体更洁净的气体供给到所述第二空间。
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公开(公告)号：CN104094379B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201380007877.7
申请日：2013-01-09
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 新井刚
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , B81C99/00 , G11B5/84 , G11B7/26
Abstract: 本发明提供执行将图案转印到基板上的压印处理的压印装置，所述装置包括：被配置为通过向模子施加力使图案表面变形的变形单元；被配置为获得模子的厚度信息的获得单元；被配置为基于通过获得单元获得的模子的厚度信息计算要施加到模子上使得图案表面在压印处理中具有目标形状的力的计算单元；以及，被配置为控制变形单元以在压印处理中向模子施加通过计算单元计算的力的控制单元。
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公开(公告)号：CN104698743A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410749326.4
申请日：2014-12-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29K2101/00
Abstract: 本发明提供压印装置与制造物品的方法，所述压印装置在基板上形成图案，所述压印装置包括：供给单元，其包括排出压印材料的排出口，并且被构造为经由所述排出口将所述压印材料供给到所述基板上；以及生成单元，其被构造为通过利用软X射线照射远离所述模具与所述基板之间的第一空间的第二空间，来生成离子，其中，所述排出口和所述生成单元被布置为夹着所述模具的侧面，并且通过向所述第一空间供给在所述第二空间中生成的所述离子，来去除所述第一空间中的电荷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109454996A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811038574.2
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 喷出材料容纳单元、喷出材料喷出设备以及柔性构件的制造方法。提供一种喷出材料容纳单元，其能够在尽可能少地使容器自身大型化的情况下增加喷出材料的填充量，还提供包括该单元的喷出材料喷出设备。因此，喷出材料容纳单元包括：第一容纳空间，其能够容纳喷出材料；第二容纳空间，其能够容纳液体；以及柔性构件，其将第一容纳空间和第二容纳空间分隔开，其特征在于，柔性构件具有在第一容纳空间未填充满喷出材料且第二容纳空间未填充满液体的状态下呈凹形的凹部，并且该凹形是从第一容纳空间朝向第二容纳空间凹陷的形状，并且该凹形也是与形成第二容纳空间的壁相适配的形状。
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公开(公告)号：CN106042650B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201610197474.9
申请日：2016-03-31
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 压印材料排出装置包括：收纳构件，其包括收纳所述压印材料的收纳部；通路，其与所述收纳部连接；以及排出构件，其包括排出口和能量产生元件。所述通路具有第一开口和第二开口，所述第一开口将压印材料供给到所述通路中，所述第二开口向所述收纳部供给从所述第一开口供给的所述压印材料。所述通路的所述第一开口和所述第二开口之间布置有对所述压印材料进行过滤的过滤器，从所述第二开口向所述收纳部供给从所述第一开口供给到所述通路中、而未穿过布置在所述能量产生元件和所述排出口之间的区域的所述压印材料。
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公开(公告)号：CN106502047A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610751494.6
申请日：2016-08-29
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种压印装置、物品的制造方法及供给装置。所述压印装置包括：腔室，其被构造为限定包括处理单元的第一空间，所述处理单元包括被构造为将压印材料排出到基板上的排出单元，并且所述处理单元被构造为通过使用模具进行使所述基板上的压印材料形成图案的压印处理；以及容器，其被构造为限定包括箱的第二空间，所述箱被构造为储存要供给到所述排出单元的压印材料，其中，所述箱具有对所述第二空间开放的第一开口，并且所述容器具有供给口，所述供给口被构造为经由所述第一开口将比供给到所述第一空间的气体更洁净的气体供给到所述第二空间。
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公开(公告)号：CN105842982B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201610064697.8
申请日：2016-01-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印装置以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具，对基板的投射区域上的压印材料形成图案，并且包括：供给单元，其具有各自被配置为排出所述压印材料的多个排出口，并且被配置为将所述压印材料供给至所述基板；以及控制单元，其被配置为控制所述供给单元，以将所述压印材料从所述多个排出口供给到所述投射区域上，其中，所述控制单元基于表示从所述多个排出口中的各个排出所述压印材料的历史的排出历史信息，而在所述多个排出口之中，确定要用于将所述压印材料供给至所述投射区域的排出口。
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公开(公告)号：CN104698743B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201410749326.4
申请日：2014-12-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29K2101/00
Abstract: 本发明提供压印装置与制造物品的方法，所述压印装置在基板上形成图案，所述压印装置包括：供给单元，其包括排出压印材料的排出口，并且被构造为经由所述排出口将所述压印材料供给到所述基板上；以及生成单元，其被构造为通过利用软X射线照射远离所述模具与所述基板之间的第一空间的第二空间，来生成离子，其中，所述排出口和所述生成单元被布置为夹着所述模具的侧面，并且通过向所述第一空间供给在所述第二空间中生成的所述离子，来去除所述第一空间中的电荷。
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