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公开(公告)号：CN109454996B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201811038574.2
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 喷出材料容纳单元、喷出材料喷出设备以及柔性构件的制造方法。提供一种喷出材料容纳单元，其能够在尽可能少地使容器自身大型化的情况下增加喷出材料的填充量，还提供包括该单元的喷出材料喷出设备。因此，喷出材料容纳单元包括：第一容纳空间，其能够容纳喷出材料；第二容纳空间，其能够容纳液体；以及柔性构件，其将第一容纳空间和第二容纳空间分隔开，其特征在于，柔性构件具有在第一容纳空间未填充满喷出材料且第二容纳空间未填充满液体的状态下呈凹形的凹部，并且该凹形是从第一容纳空间朝向第二容纳空间凹陷的形状，并且该凹形也是与形成第二容纳空间的壁相适配的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119838812A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411434114.7
申请日：2024-10-15
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 九里真弘
Abstract: 提供有利于防止在排出口附近有异物残留从而确保液体涂敷品位的液体排出装置、基板处理装置以及物品制造方法。液体排出装置具有：第1排出头，从第1排出口排出第1液体；第2排出头，从第2排出口排出第2液体；压力控制部，单独地控制上述第1排出头以及上述第2排出头的内部的压力；以及吸引单元，吸引上述第1排出口以及上述第2排出口。上述压力控制部将由上述吸引单元吸引上述第1排出口之前的上述第1排出头的内部的压力和由上述吸引单元吸引上述第2排出口之前的上述第2排出头的内部的压力控制成为根据上述第1液体和上述第2液体的挥发性差异而有所不同的压力值。
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公开(公告)号：CN117794337A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311237963.9
申请日：2023-09-22
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及一种液体排出设备，包括：头，其被构造成排出液体；腔室，其被构造成容纳所述头；循环系统，其被构造成使腔室内部的气体循环；排气系统，其被构造成操作以将气体排出至腔室的外部；过滤器，其设置在循环系统中并且被构造成去除气体中含有的去除目标；检测单元，其被构造成通过检测气体中含有的并且不同于去除目标的检测目标来间接检测去除目标；和控制器，其被构造成在由检测单元检测到的检测目标的浓度不低于阈值时操作排气系统。本发明还涉及基板处理设备和制品制造方法。
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公开(公告)号：CN109454996A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811038574.2
申请日：2018-09-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 喷出材料容纳单元、喷出材料喷出设备以及柔性构件的制造方法。提供一种喷出材料容纳单元，其能够在尽可能少地使容器自身大型化的情况下增加喷出材料的填充量，还提供包括该单元的喷出材料喷出设备。因此，喷出材料容纳单元包括：第一容纳空间，其能够容纳喷出材料；第二容纳空间，其能够容纳液体；以及柔性构件，其将第一容纳空间和第二容纳空间分隔开，其特征在于，柔性构件具有在第一容纳空间未填充满喷出材料且第二容纳空间未填充满液体的状态下呈凹形的凹部，并且该凹形是从第一容纳空间朝向第二容纳空间凹陷的形状，并且该凹形也是与形成第二容纳空间的壁相适配的形状。
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公开(公告)号：CN118471847A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410160036.X
申请日：2024-02-05
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供喷出装置、控制方法、基板处理装置及物品的制造方法。喷出装置的特征在于，所述喷出装置具有：喷出头，包括喷出喷出液的多个喷出口，经由所述多个喷出口在基板上配置所述喷出液；清洗部，使用粘度与所述喷出液不同的清洗液，对所述多个喷出口露出的喷出面进行清洗；确定部，在所述清洗部清洗了所述喷出面之后，从所述多个喷出口确定出在喷出口内残留有所述清洗液的第一喷出口；以及控制部，使所述喷出头进行预备喷出，以从所述多个喷出口中的由所述确定部确定了的所述第一喷出口喷出第一喷出量的所述喷出液。
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公开(公告)号：CN117698293A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311170332.X
申请日：2023-09-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/165
Abstract: 本发明提供喷液装置、其控制方法、基板处理装置及物品制造方法，提供有利于减少对设置有液体喷出口的面进行清洁时的液体消耗量的技术。喷液装置具备：喷出头，其具有设置有用于喷出液体的喷出口的面、用于储存液体的储存部以及从所述喷出口连通至所述储存部的流路；控制部，其控制所述储存部内的压力；以及清洁部，其一边使吸引口沿着所述面移动一边从所述吸引口吸入附着在所述面上的液体，从而进行所述面的清洁处理，所述控制部在所述清洁处理中基于因所述吸引口的吸引力而作用在所述流路内的液体上的第一力来控制所述储存部内的压力，以便将形成在所述流路内的液面的位置维持在所述流路内。
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