一种新型低触发电压的双向SCR半导体保护器件

    公开(公告)号:CN108022912A

    公开(公告)日:2018-05-11

    申请号:CN201810044594.4

    申请日:2018-01-17

    CPC classification number: H01L23/60 H01L29/742

    Abstract: 本发明提供了一种新型低触发电压的双向SCR半导体保护器件,用于防护核心电路输入/输出端、正电源端和负电源端之间的静电放电,其包括:一种衬底;形成在该衬底上方的多个P型阱区域和N型阱区域以及形成在阱区上的重掺杂区,由这些阱区和掺杂区构成了双向三极管器件和双向SCR器件,两种器件以并联方式连接在被保护的端口之间。本发明所形成的双向SCR器件结构简单,工艺层次少,可集成在CMOS工艺、BICMOS工艺、BCD工艺中;可通过调整关键注入区的浓度获得较低的完全对称的双向触发电压;所形成的双向半导体器件从输入端到输出端存在两条泄放大电流的路径,在相同的面积下提高了器件的抗浪涌能力。

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