一种具有低触发电压的TVS器件

    公开(公告)号:CN211208450U

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN201921699866.0

    申请日:2019-10-12

    Abstract: 本实用新型提出了一种具有低触发电压的TVS器件,在P型衬底层上具有一层N型埋层,所述N型埋层上生长有P型外延层,在P型外延层上方设置有若干N阱区域和P阱区域,在N阱区域及P阱区域的表面有多个深槽,并在深槽内分别形成若干N+区和P+区,在至少一N+区内淀积有N+多晶硅,至少一P+区内形成PLD区,在N阱区域和P阱区域上方设置有一氧化层,氧化层外表面上设置有第一N+多晶硅,在该N+多晶硅外表面设置有第一介质层,在P型外延层上方淀积设置有若干第二介质层,介质层上设置有接触孔,在所述接触孔上分别淀积有至少一阴极和至少一阳极,本实用新型能够降低器件的触发电压,同时保持了其导通电阻极低的特性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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