公开(公告)号：CN1636863A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410100567.2

申请日：2004-11-19

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： R·K·阿加瓦 ,  G·L·赖亚施 ,  W·曹 ,  J·F·西鲁西 ,  R·W·阿波尔洛 ,  D·麦内斯拜

IPC: C01B6/34

CPC classification number: C01B6/065 ,  C01B6/06 ,  C01B6/34 ,  C01B25/06

Abstract: 一种净化挥发性金属氢化物的方法，包括获得包含一种或多种酸性杂质的挥发性金属氢化物进料，其中一种酸性杂质为含硫杂质；使进料与碱性物质接触，使至少一部分含硫杂质与碱性物质反应，以便从进料中除去一部分含硫杂质，得到中间净化物质；和使中间净化产物与吸附剂物质接触，从中间净化物质中除去至少一部分含硫杂质，得到净化的挥发性金属氢化物产品。

公开(公告)号：CN106064807A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610553688.5

申请日：2016-07-14

Applicant: 合肥正帆电子材料有限公司

Inventor： 曾庆腾 ,  许召文

IPC: C01B6/06 ,  C01B25/06 ,  C23C8/28

CPC classification number: C01B6/065 ,  C01B25/06 ,  C23C8/28

Abstract: 本发明涉及一种电子级砷化氢、磷化氢及其混合气体钢瓶的钝化处理装置。包括待钝化处理的第一钢瓶，还包括输出管道与第一钢瓶相通的置换气体钢瓶、气源钢瓶，和输入管道与第一钢瓶相通的回收气体钢瓶以及抽气管道与第一钢瓶相通的抽风机，所述的置换气体钢瓶、气源钢瓶的输出管道上设置第一、第二开关阀，所述的回收气体钢瓶的输入管道上设置第三开关阀，所述的抽风机的抽气管道上设置第四开关阀，所述的第一钢瓶置于加热装置的加热腔内，所述的回收气体钢瓶置于冷凝装置的冷凝腔内，所述的加热腔内设置温感控制单元，温感控制单元控制加热装置使得加热腔内温度控制60‑200℃，所述的回收气体钢瓶的输入管道上位于第三开关阀的下位设置气体回抽装置。

公开(公告)号：CN106185850A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610554330.4

申请日：2016-07-15

Applicant: 合肥正帆电子材料有限公司

Inventor： 曾庆腾 ,  许召文

IPC: C01B25/06 ,  C01B6/06 ,  C23C8/06

CPC classification number: C01B25/06 ,  C01B6/065 ,  C23C8/06

Abstract: 本发明涉及一种超高纯砷化氢、磷化氢及其混合物气体钢瓶的钝化处理工艺。包括以下步骤：将待钝化处理的第一钢瓶进行100-200℃高温加热烘烤；通过抽风机对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100-200℃高温加热烘烤处理，当第一钢瓶抽至真空状态时，吹扫置换；通过抽风机再对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100-200℃高温加热烘烤处理，当第一钢瓶抽至真空状态时，内壁钝化；通过气体回抽装置对第一钢瓶进行抽真空处理，并将抽取的砷化氢、磷化氢气体回收至回收气体钢瓶。

公开(公告)号：CN1308226C

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200410100567.2

申请日：2004-11-19

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： R·K·阿加瓦 ,  G·L·赖亚施 ,  W·曹 ,  J·F·西鲁西 ,  R·W·阿波尔洛 ,  D·麦内斯拜

IPC: C01B6/34

CPC classification number: C01B6/065 ,  C01B6/06 ,  C01B6/34 ,  C01B25/06

Abstract: 一种净化挥发性金属氢化物的方法，包括获得包含一种或多种酸性杂质的挥发性金属氢化物进料，其中一种酸性杂质为含硫杂质；使进料与碱性物质接触，使至少一部分含硫杂质与碱性物质反应，以便从进料中除去一部分含硫杂质，得到中间净化物质；和使中间净化产物与吸附剂物质接触，从中间净化物质中除去至少一部分含硫杂质，得到净化的挥发性金属氢化物产品。