半导体工艺设备的副产物分离装置及半导体工艺设备

    公开(公告)号:CN120019853A

    公开(公告)日:2025-05-20

    申请号:CN202311552861.6

    申请日:2023-11-20

    Abstract: 本申请公开了一种半导体工艺设备的副产物分离装置及半导体工艺设备,涉及半导体领域。其中,副产物分离装包括:第一管件、第二管件和多个导流件;第二管件设于第一管件内,且两者之间形成流道;多个导流件在平行于中心线方向上间隔排布于流道内,每个导流件的至少部分外缘与第一管件的内壁之间具有缺口,相邻两个导流件各自对应的缺口错位布置;第一管件设有与流道分别连通的进气口、出气口和排污口;第二管件设有至少用于输入冷却介质的进液口和用于输出冷却介质的出液口。本申请能够解决当前分离收集装置冷却效果不佳导致其对副产物处理能力不足等问题。

    一种高强高模PVA纤维生产过程中废气的碱洗处理系统

    公开(公告)号:CN120001189A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510373310.6

    申请日:2025-03-27

    Abstract: 本发明提供了一种高强高模PVA纤维生产过程中废气的碱洗处理系统,其结构是:设置集气罩,用于集中收集酸性废气并送入喷淋塔内;设置碱洗液连续添加单元,用于碱洗液的生成、添加与回收,包括储罐、设有PH电极探头的碱洗液槽,储罐用于储存以及向碱洗液槽送入氢氧化钠溶液,碱洗槽用于生成碱洗液作为喷淋液并送至喷淋塔的各处喷淋口,还用于回收来自喷淋塔的完成碱洗后的喷淋液以及来自水蒸气冷凝装置的冷凝水,槽内喷淋液的PH值通过PH电极探头实时检测;设置喷淋塔,用于对酸性废气的碱洗;设置水蒸气冷凝装置,用于对被碱洗后废气的冷凝与排放。本发明能实现废气的完全净化与环保排放,在可减少碱洗液浪费的前提下可实现碱洗液可连续补充。

    一种组合式VOCs吸附柜
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN119186254B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202411641360.X

    申请日:2024-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种组合式VOCs吸附柜,属于废气处理技术领域,其包括:柜体,所述柜体内固定安装有进料方管,所述进料方管的顶部和底部均固定安装有暂存箱;压缩箱,所述压缩箱内滑动安装有活塞板,活塞板的底部固定安装有U型杆,所述U型杆的底部转动安装有连接柱,所述压缩箱的底部固定安装有固定架,所述固定架内转动安装有转动盘和连接轴,所述转动盘的前侧开设有引导槽,所述连接柱活动插接在引导槽内,所述转动盘的外侧一体成型有多个弧形凸起,所述弧形凸起的外侧固定安装有弧形齿条。本发明通过设置的柜体和压缩箱实现对VOCs的多重吸附效果,通过设置的转动盘、连接柱与活塞板的配合方便对VOCs进行加压、降温和流速控制,提升对VOCs的吸附效果。

    一种带有排汽回收功能的除氧器及其使用方法

    公开(公告)号:CN119977053A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510481241.0

    申请日:2025-04-17

    Abstract: 本发明涉及除氧器技术领域,且公开了一种带有排汽回收功能的除氧器及其使用方法,包括罐体,罐体的底部固定连接有结构架,罐体的内壁处固定连接有隔板,罐体的外壁处固定连接有泄压阀,蒸汽口的顶部固定连接有蒸汽入口阀,罐体的底部开设有出水口,罐体的上端贯穿连接有收集管,收集管下端固定连接有U型管,当凝结水填满U型管的U形一段可以有效的防止蒸汽的通过,其余不可凝结的气体通过排气管排出,排气管中设置有微孔型防水透气布,防止水分的流失,锁住凝结的水珠进入收集管,通过上述的设置可以有效的防止蒸汽在除氧过程中形成的水蒸气流失造成的水资源的浪费。

    一种高效高能氧光合催化除臭消杀空气净化装置

    公开(公告)号:CN119971741A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510028584.1

    申请日:2025-01-08

    Inventor: 崔曦元 王顺钊

    Abstract: 本发明提供了一种高效高能氧光合催化除臭消杀空气净化装置,属于空气净化技术领域,包括:从上至下依次安装下开放式引风罩、下多孔绝缘固定板、石英玻璃管、上多孔绝缘固定板、轴流引风机和净化后出风口;石英玻璃管内从下往上设置介质阻挡放电式多层臭氧发生管和脉冲电离激活还原催化剂载体块层;轴流引风机两侧安装有高频脉冲放电器和正弦波高压臭氧放电器;通过轴流引风机的吸力将具有恶臭异味气体通过下开放式引风罩吸入并均匀的分配给每一个石英玻璃管,石英玻璃管中下端设置有介质阻挡放电式多层臭氧发生管,并连接正弦波高压臭氧放电器,将轴流引风机吸入异味恶臭气体中氧气#imgabs0#电离成为#imgabs1#,提高了净化率。

    一种工业废气环保净化装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119951273A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202510449345.3

    申请日:2025-04-11

    Abstract: 本发明公开了一种工业废气环保净化装置,涉及气体净化装置技术领域,包括进气管,所述进气管的一端固定连接有冷凝箱,所述冷凝箱的内部安装有冷凝器,所述冷凝箱的底端固定连接有排液管,所述冷凝箱的一端固定连接有连接管,所述连接管的一端固定连接有吸附箱,还包括分隔机构和安装机构。本发明通过设置冷凝箱和吸附箱,废气通过进气管进入冷凝箱内,冷凝箱内的冷凝器对废气进行冷却操作,冷凝产生的酸腐废液通过排液管排出收集,冷凝后的废气,再通过连接管进入吸附箱内,吸附箱内的活性炭过滤板对废气进行吸附,从而去除废气中的酸性物质,处理后的废气通过排气管进行排出操作,便于对食醋生产过程中产生的废气进行净化操作。

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