表面发射激光器、其制造方法和图像形成装置

    公开(公告)号:CN101986487A

    公开(公告)日:2011-03-16

    申请号:CN201010243717.0

    申请日:2010-07-28

    Inventor: 井久田光弘

    Abstract: 本发明涉及一种表面发射激光器、其制造方法以及图像形成装置。表面发射激光器包括层叠于基板上的下部多层反射镜、活性层和上部多层反射镜。通过使用第一沟槽结构在活性层上面或下面形成具有第一导电区域和第一绝缘区域的第一电流限制层。通过使用第二沟槽结构在第一电流限制层上面或下面形成具有第二导电区域和第二绝缘区域的第二电流限制层。第一和第二沟槽结构从上部多层反射镜的顶面向基板延伸,使得第二沟槽结构包围第一沟槽结构。当沿基板的面内方向观察表面发射激光器时,第一导电区域和第一绝缘区域之间的边界被设置在第二导电区域内侧。

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