一种高速VCSEL激光器外延结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN107171181A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710361697.9

    申请日:2017-05-22

    Inventor: 单智发

    CPC classification number: H01S5/18311

    Abstract: 本发明提供一种高速VCSEL激光器外延结构,包括GaAs衬底,在GaAs衬底上依次采用MOCVD沉积GaAs缓冲层、N型掺杂的DBR、有源层、氧化限制层、P型掺杂的DBR和欧姆接触层,所述氧化限制层由多个Ga组分可自由调节的Al1‑xGaxAs外延层组成,其中X为Ga元素的组分。该激光器外延结构采用一定厚度的组分跳变的多层Al1‑xGaxAs形成氧化限制层,氧化限制层前端的形状可通过调节各层Al1‑xGaxAs的组分改变,可在氧化限制层前端形成lens结构,减小光子的散射损失,从而提高VCSEL的调制带宽。本发明还具有以下优点:1)通过调节氧化限制层中Ga的比例,减小氧化限制层的氧化速率,使氧化易于控制,提高VCSEL芯片产品良率;2)本发明氧化限制层厚度大,本征寄生电容小。

    高速激光设备
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102820615B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201210185650.9

    申请日:2012-06-06

    Inventor: N.P.奇蒂卡

    Abstract: 本发明涉及一种使用在光学模块中的激光设备。该激光设备包括:第一反射器和第二反射器;适用于将电流限制在电流限制孔内的限制层;和在第一和第二反射器之间的激活层。所述激活层包括:与所述电流限制孔对齐的主激活区域和围绕该主激活区域的辅助激活区域。所述第二反射器包括:配置在所述电流限制孔上的第一反射器区域和围绕所述第一反射器区域的第二反射器区域。所述第二反射器区域和第一反射器构造成引起所述辅助激活区域中的受激复合。

    用于扫频源光学相干层析成像系统的波长可调谐垂直腔面发射激光器

    公开(公告)号:CN105518951A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201480044416.1

    申请日:2014-07-01

    Inventor: T·牧野 T·李 D·尤

    Abstract: 一种使用微机电系统(MEMS)技术的波长可调谐的垂直腔面发射激光器(VCSEL)被设置为用于光学相干层析成像(OCT)的扫频源。所述波长可调谐VCSEL包括VCSEL的底部反射镜、有源区、以及通过静电偏转而可移动的MEMS可调谐上部反射镜。所述底部反射镜包括GaAs基分布的布拉格反射镜(DBR)叠层,以及所述有源区包括多个GaAs基量子点(QD)层的叠层,所述有源层在GaAs衬底上外延生长。所述MEMS可调谐上部反射镜包括由悬挂梁支撑的膜部、以及包含介电DBR叠层的上部反射镜。所述MEMS可调谐量子点VCSEL能覆盖超过100nm的操作波长范围,优选具有250nm和1950nm之间的中心波长,并且扫描速率能从几kHz到几百kHz、以及高达几MHz。

    驱动装置和发光单元
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103715601A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201310445806.7

    申请日:2013-09-25

    Applicant: 索尼公司

    Inventor: 大尾桂久

    Abstract: 本发明公开了驱动装置和发光单元。该驱动装置包括:驱动电路,其用于向发光元件提供依据控制电压而定的驱动电流;第一检测电路,它用于检测所述驱动电流;第二检测电路,其用于检测第一参考电流(用作发光时的驱动电流的基准)及第二参考电流(用作不发光时的驱动电流的基准);第一生成电路,其通过将第一电压和校正电压相加而生成加运算电压作为发光时的控制电压,并且还生成第二电压作为不发光时的控制电压,所述校正电压是通过预定的计算而导出的;以及第二生成电路,其用于生成第三参考电流。所述第二检测电路具有将第二参考电流和第三参考电流相加而产生第一参考电流的第一加法器电路。本发明能够在电压驱动法中对驱动电流进行精确校正。

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