公开(公告)号：CN107359102A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710159377.5

申请日：2017-03-17

Applicant: 株式会社爱德万测试

Inventor： 黑川正树 ,  佐藤高雅 ,  小岛信一 ,  山田章夫

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/241 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/141 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/20285 ,  H01J37/3007 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。