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公开(公告)号:CN101452797A
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200710124827.3
申请日:2007-12-05
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J31/127 , H01J1/304 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J2201/30484 , H01J2201/30492 , H01J2201/30496 , H01J2203/0272
Abstract: 一种场发射电子源,其包括:一绝缘基底;一阴极发射电极设置于该绝缘基底上,且该阴极发射电极包括一阴极电极和一阴极发射体设置于该阴极电极上;一隔离体设置于该绝缘基底上;以及一金属栅网设置在该隔离体上,且该金属栅网进一步延伸到阴极发射电极上方;其中,该隔离体与阴极电极间隔设置。一种场发射电子源的制备方法,其具体包括以下步骤:提供一绝缘基底;在上述绝缘基底上制备一阴极发射电极,且该阴极发射电极包括一阴极电极和一阴极发射体设置于其上;在绝缘基底上制备一隔离体预制体,并对该隔离体预制体进行曝光;在上述隔离体预制体上制作一金属栅网;以及除去上述隔离体预制体已经曝光部分,形成一隔离体与阴极电极间隔设置,从而得到一场发射电子源。
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公开(公告)号:CN105448624A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201410327704.X
申请日:2014-07-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J9/02
CPC classification number: H01J9/025 , H01J1/304 , H01J3/021 , H01J2201/30469 , H01J2203/0268 , H01J2203/0272 , H01J2203/028 , H01J2203/0284 , H01J2203/0288 , Y10S977/742
Abstract: 一种场发射阴极的制备方法,该方法包括以下步骤:提供一微通道板,该微通道板具有多个开孔;提供一碳纳米管浆料,将所述碳纳米管浆料填充于所述微通道板的多个开孔内,部分碳纳米管浆料粘附于所述微通道板的开孔内壁;加热填充碳纳米管浆料的微通道板,使得所述碳纳米管浆料中的有机载体挥发,得到一场发射阴极。
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公开(公告)号:CN105244246B
公开(公告)日:2017-06-06
申请号:CN201410327705.4
申请日:2014-07-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J1/304 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2203/0268 , H01J2203/0272 , H01J2203/028 , H01J2203/0284 , H01J2203/0288
Abstract: 一种场发射阴极,包括:微通道板,该微通道板导电且具有多个开孔,该微通道板具有一第一表面以及一与该第一表面相对的第二表面,每个所述开孔贯穿所述第一表面和第二表面;以及阴极发射体;其特征在于,每个所述开孔内设置有多个所述阴极发射体,该多个阴极发射体相互连接并固定于所述开孔内壁与所述微通道板电连接,该多个阴极发射体包括多个碳纳米管,至少部分碳纳米管的一端悬空设置作为场发射端。
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公开(公告)号:CN105448620A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201410327650.7
申请日:2014-07-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2203/0272 , H01J2203/028 , H01J2203/0284 , H01J2203/0288 , Y10S977/742 , Y10S977/939
Abstract: 一种场发射阴极,包括:微通道板,该微通道板绝缘且具有多个开孔,该微通道板具有一第一表面以及一与该第一表面相对的第二表面,每个所述开孔贯穿所述第一表面和第二表面;阴极电极,该阴极电极设置于所述微通道板的第一表面;以及阴极发射体,该阴极发射体对应多个所述开孔设置且与所述阴极电极电连接;其特征在于,每个所述开孔内设置有多个所述阴极发射体,该多个阴极发射体相互连接并固定于所述开孔内壁,该多个阴极发射体包括多个碳纳米管,至少部分碳纳米管的一端悬空设置作为场发射端。
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公开(公告)号:CN101874281B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN200880117766.0
申请日:2008-11-26
Applicant: 纳幕尔杜邦公司
CPC classification number: H01J1/304 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J29/467 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2203/0272 , H01J2329/4673 , H01J2329/4691
Abstract: 本发明涉及具有抗紫外绝缘介电层(3.4)的场发射阴极组件。
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公开(公告)号:CN105448620B
公开(公告)日:2017-08-08
申请号:CN201410327650.7
申请日:2014-07-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2203/0272 , H01J2203/028 , H01J2203/0284 , H01J2203/0288 , Y10S977/742 , Y10S977/939
Abstract: 一种场发射阴极,包括:微通道板,该微通道板绝缘且具有多个开孔,该微通道板具有一第一表面以及一与该第一表面相对的第二表面,每个所述开孔贯穿所述第一表面和第二表面;阴极电极,该阴极电极设置于所述微通道板的第一表面;以及阴极发射体,该阴极发射体对应多个所述开孔设置且与所述阴极电极电连接;其特征在于,每个所述开孔内设置有多个所述阴极发射体,该多个阴极发射体相互连接并固定于所述开孔内壁,该多个阴极发射体包括多个碳纳米管,至少部分碳纳米管的一端悬空设置作为场发射端。
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公开(公告)号:CN101635239B
公开(公告)日:2011-03-30
申请号:CN200810142525.3
申请日:2008-07-25
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J3/021 , H01J29/467 , H01J29/481 , H01J31/127 , H01J2203/0212 , H01J2203/0272 , H01J2329/4608 , H01J2329/4673
Abstract: 一种场发射阴极装置,其包括:一绝缘基底;多个条形阴极电极,该条形阴极电极平行且间隔设置于该绝缘基底表面;多个场发射单元,该多个场发射单元间隔设置于多个条形阴极电极表面与条形阴极电极电连接并呈矩阵排列;一介质层,该介质层设置于绝缘基底表面,覆盖上述多个条形阴极电极的部分区域,并相对于每个场发射单元设有通孔;多个条形栅网,该条形栅网平行且间隔设置,并与条形阴极电极异面垂直,每个条形栅网覆盖介质层的多个通孔;其中,所述的多个栅网设置于介质层中,覆盖通孔的栅网的四周由介质层固定。
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公开(公告)号:CN101874281A
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN200880117766.0
申请日:2008-11-26
Applicant: 纳幕尔杜邦公司
CPC classification number: H01J1/304 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J29/467 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2203/0272 , H01J2329/4673 , H01J2329/4691
Abstract: 本发明涉及具有抗紫外绝缘介电层(3.4)的场发射阴极组件。
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公开(公告)号:CN105448624B
公开(公告)日:2017-09-01
申请号:CN201410327704.X
申请日:2014-07-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J9/02
CPC classification number: H01J9/025 , H01J1/304 , H01J3/021 , H01J2201/30469 , H01J2203/0268 , H01J2203/0272 , H01J2203/028 , H01J2203/0284 , H01J2203/0288 , Y10S977/742
Abstract: 一种场发射阴极的制备方法,该方法包括以下步骤:提供一微通道板,该微通道板具有多个开孔;提供一碳纳米管浆料,将所述碳纳米管浆料填充于所述微通道板的多个开孔内,部分碳纳米管浆料粘附于所述微通道板的开孔内壁;加热填充碳纳米管浆料的微通道板,使得所述碳纳米管浆料中的有机载体挥发,得到一场发射阴极。
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公开(公告)号:CN105244246A
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201410327705.4
申请日:2014-07-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J1/304 , H01J3/021 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2203/0268 , H01J2203/0272 , H01J2203/028 , H01J2203/0284 , H01J2203/0288
Abstract: 一种场发射阴极,包括:微通道板,该微通道板导电且具有多个开孔,该微通道板具有一第一表面以及一与该第一表面相对的第二表面,每个所述开孔贯穿所述第一表面和第二表面;以及阴极发射体;其特征在于,每个所述开孔内设置有多个所述阴极发射体,该多个阴极发射体相互连接并固定于所述开孔内壁与所述微通道板电连接,该多个阴极发射体包括多个碳纳米管,至少部分碳纳米管的一端悬空设置作为场发射端。
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