-
公开(公告)号：CN119542091A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411520259.9
申请日：2024-10-29
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种场发射器件及其制备方法，属于真空微纳电子器件领域。本发明制备的场发射器件包括栅‑阳极一体结构和阴极结构；栅‑阳极一体结构包括位于高导电阳极背面的金属电极，位于高导电阳极正面的阳极‑栅极绝缘层，位于阳极‑栅极绝缘层上的图形化栅极层，位于栅极层上的栅极‑阴极绝缘层，以及位于栅极‑阴极绝缘层上的栅极金属引线电极；其中栅极金属引线电极临近栅极工作区域，连接于栅极层；阴极结构包括衬底，位于衬底正面的阴极，以及位于阴极背面的金属电极；阴极结构的阴极一侧固定在栅‑阳极一体结构的栅极工作区域的栅极‑阴极绝缘层上。本发明能够增强器件的性能优化与调控能力，降低制备成本和难度。
-
公开(公告)号：CN119170466A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411300952.5
申请日：2024-09-18
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明提出一种双层场发射冷阴极电子源及其制造方法，涉及纳米电子技术领域，所述双层场发射冷阴极电子源包括从下至上依次连接的第一阴极、绝缘层、第二阴极和栅极；所述第一阴极包括导电衬底和第一层场发射体，第一层场发射体设置于导电衬底的上表面；所述第二阴极包括导电网格和第二层场发射体，第二层场发射体设置于导电网格的上表面，通过提高冷阴极发射体的有效发射面积，提升了场发射电流和电流密度；其制造方法简单、通用性高、可重复性高，有利于场发射电子源的电流提升，为推进大电流电子源在真空微电子器件应用提供了可行方案。
-
公开(公告)号：CN118610053A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410815605.X
申请日：2024-06-24
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明公开了一种面向太赫兹微波放大器的冷阴极电子枪及其使用方法，包括枪壳、阳极、冷阴极和栅极，枪壳包括由下向上依次连接的阴极支撑、低压瓷环、栅极支撑、高压瓷环以及管芯封接环，冷阴极设置在阴极支撑上，栅极设置在栅极支撑上，栅极上开设有与冷阴极对应的贯通的栅极孔，冷阴极与所述栅极正对且不接触；本发明依据冷阴极发射原理与电子束流聚焦光学的设计，使得电子枪阴极能够发射较强的发射电流，同时在聚焦结构电场分布下实现对电子注较好的高倍压缩，其具有瞬时启动、低功耗、易集成的特点，同时，该电子枪具有极细、强流的电子注输出能力，仿真计算结果表明其输出的束流直径最小约为40μm，同时具有较大的电流输出能力，输出电流达到2mA以上。
-
公开(公告)号：CN118571726A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410648001.0
申请日：2024-05-23
Applicant: 北京真空电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十二研究所)
Abstract: 本发明实施例公开了一种连接件、电子枪、整形模具及电子枪装配方法，包括第一连接部，以及位于所述第一连接部的一端端部的多个连接片；所述多个连接片沿所述第一连接部的圆周轮廓均匀布置，所述多个连接片之间相互分离；所述连接片包括与所述第一连接部连接的过渡部，以及位于所述过渡部远离所述第一连接部的一端的第二连接部，所述第二连接部沿所述第一连接部的轴向方向延伸设置；多个所述连接片的第二连接部分隔设置且呈环状分布，所述过渡部由所述第一连接部向第二连接部倾斜设置；所述第一连接部呈圆环形，所述第一连接部的直径不等于所述第二连接部所处环形的直径。结合连接件的结构和电子枪的装配方法，解决了电子枪成品率低的问题。
-
公开(公告)号：CN118414683A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202280083655.2
申请日：2022-10-13
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
Inventor： P·阿达麦茨
IPC: H01J1/304 , H01J37/07 , H01J37/073 , H01J3/02
Abstract: 描述了一种电子显微镜(100)。电子显微镜包括用于产生电子束的电子源(110)、用于准直电子源下游的电子束的聚光透镜(130)和用于将电子束聚焦到样本(16)上的物镜(140)。电子源包括：冷场发射器，具有发射尖端(112)；提取电极(114)，用于从冷场发射器提取电子束(105)以沿光轴线(A)传播，提取电极具有被配置为第一射束限制孔的第一开口(115)、用于通过加热发射尖端(112)来清洁发射尖端的第一清洁布置(121)、以及用于通过加热提取电极(114)来清洁提取电极的第二清洁布置(122)。进一步描述了操作这种电子显微镜的方法。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117558602A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202210931365.0
申请日：2022-08-04
Applicant: 费勉仪器科技(上海)有限公司
Abstract: 本公开提供了一种电子发射装置及真空处理系统，电子发射装置包括：阴极；以及激光光源，用于向阴极发射激光光束，加热阴极以发射电子束。真空处理系统包括：真空腔，包括窗口；样品台，设置在真空腔内，用于盛放样品；真空电子发射装置，至少部分设置在真空腔内，用于向样品发射电子束。
-
公开(公告)号：CN110137056B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN201910225312.5
申请日：2019-03-25
Applicant: 南华大学
Abstract: 悬浮加热式电子源组件，包括阴极管、发射体、热屏顶、热屏筒、多层热屏、热屏支撑、悬浮加热丝、加热丝支撑陶瓷、阴极顶和触持极。阴极管挤压安装在热屏支撑内，发射体位于阴极管和热屏顶之间，热屏顶中心设有圆形孔，多层热屏层叠设置于热屏筒与悬浮加热丝之间，阴极管出气端与发射体连接，加热丝支撑陶瓷挤压安装在阴极管上，悬浮加热丝一端焊接在热屏顶上、另一端顶在加热丝支撑陶瓷上。本发明结构简单，工艺参数控制方便，将悬浮加热丝直接悬浮于发射体外部，产生的热量直接作用于发射体表面，避免在阴极管和焊料上的热量损失，提高了加热效率；使阴极顶不直接接触发射体，降低阴极顶温度，有效延长电子源组件的预期使用寿命。
-
公开(公告)号：CN116978763B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311235269.3
申请日：2023-09-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种便于电子枪电极中心对准的装配方法及装配固定结构，涉及电子行业电真空的技术领域，解决了现有电子枪内电极在装配过程中操作复杂，同时不能很好的解决装夹治具自身存在的精度误差，容易影响电极的装配精度的技术问题。该结构包括陶瓷环和金属环；金属环为一个或两个，与陶瓷环相互匹配；金属环固定在陶瓷环的端面；第一装配固定结构设置在第一电极、第二电极之间，用于连接固定第一电极、第二电极。本发明通过装配固定结构直接连接固定第一电极、第二电极，操作方便，同时避免了使用装夹治具对第一电极、第二电极进行装夹，不方便调整第一电极、第二电极位置和装夹治具自身存在精度误差的问题，保证电极的装配精度。
-
公开(公告)号：CN115410881A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211107676.1
申请日：2022-09-13
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明提供一种高性能电子枪，包括电子发射装置、控制极、第一阳极、聚焦极、第二阳极、电极、偏转装置、支撑装置和电子枪壳；控制极、电子发射装置、第一阳极、聚焦极、第二阳极和偏转装置位于电子枪壳内，并通过支撑装置相连；控制极用于控制电子的数量和速度，控制极处于负电位，且其电位高于阴极电位，控制极中心开有中心孔；电子发射装置包括阴极及与其相连的阴极支撑环；第一阳极可保证电子加速向阳极方向高速移动；聚焦极用于电子束形状约束；第二阳极处于0电位；偏转装置使电子束发生偏转；控制极、电子发射装置、第一阳极、聚焦极、第二阳极、偏转装置分别与电极电连。该高性能电子枪具有能量和束斑大小可调、可偏转、可脉冲等优点。
-
公开(公告)号：CN115220511A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210833997.3
申请日：2022-07-14
Applicant: 无锡卓海科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了具有检测灯丝加热电流和发射电流的电子枪高压电源装置，涉及电子技术领域，该装置包括控制单元、供电单元和电流检测单元，供电单元的输入端连接控制单元，供电单元的输出端连接电流检测单元，用于为电流检测单元提供多种所需电压；电流检测单元的第一端和反馈端均连接控制单元，电流检测单元的第二端作为装置的检测端连接电子枪的阴极灯丝，电流检测单元用于在存在悬浮高压的阴极灯丝侧，给阴极灯丝提供加热电流，并在不影响设备量测作业的情况下实现加热电流和发射电流的实时检测，为电子束能量的精确调控提供了良好的基础。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
416
records
(took 0.056 seconds)
