公开(公告)号：CN108027557B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201680052638.7

申请日：2016-09-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 荘司优 ,  增田有希 ,  矶部王郎 ,  奥田良治

IPC: G03F7/023 ,  C08G69/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/0387 ,  C08G69/02 ,  C08G69/40 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/16 ,  G03F7/161 ,  G03F7/168 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/40 ,  H01L23/293 ,  H01L23/3192 ,  H01L23/562 ,  H01L24/02 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/02331 ,  H01L2224/024 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/03515 ,  H01L2224/0362 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/13026 ,  H01L2224/131 ,  H01L2924/0695 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/014

Abstract: 本发明提供高伸长性、低应力性、金属铜高密合性的固化膜。本发明的固化膜是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下。

公开(公告)号：CN108107676A

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201711186205.3

申请日：2017-11-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 平野祯典 ,  浅井聪 ,  近藤和纪

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/016 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/161 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/40 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0163

Abstract: 本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂膜层叠体和图案形成方法。提供层叠体，其包括热塑性膜和其上的化学增幅正型抗蚀剂膜，该抗蚀剂膜包含：(A)具有羟基苯基和保护基团的基础聚合物，该聚合物由于在酸的作用下保护基团被除去而变为碱可溶，(B)光致产酸剂，(C)有机溶剂，和(D)在其主链中具有酯键的聚合物。该抗蚀剂膜可被转印至台阶形支承体而不形成空隙。

公开(公告)号：CN101925861B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN200980102705.1

申请日：2009-01-21

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 五十岚勉

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: G03F7/11 ,  G03F7/027 ,  G03F7/161

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂层压体，其不存在支撑膜的剥离性问题，层压时的随动性良好，显影后的固化抗蚀图案良好且无侧壁的晃动或表面的凹陷，显影后的折边极小。该感光性树脂层压体的特征在于，其为在支撑膜上依次层压：层厚为10μm以上且100μm以下的第一层、层厚为0.1μm以上且10μm以下的第二层、和感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该第二层混合含有聚乙烯醇和选自特定的化合物的组中的1种以上化合物而成。

公开(公告)号：CN101203807B

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200680021965.2

申请日：2006-05-26

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 植松照博 ,  高桥亨 ,  斋藤宏二

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/161

Abstract: 本发明提供光刻胶膜卷材及其制造方法，该光刻胶膜卷材在感光性树脂层具有流动性且柔软的情况下可以防止冷流，在感光性树脂层硬的情况下可以抑制切断时产生碎片。光刻胶膜卷材中，按照感光性树脂层(2)的宽度小于支持膜(1a)的宽度的形式进行涂布，并且按照感光性树脂层(2)的宽度小于保护膜(1b)的宽度的形式进行粘接。

公开(公告)号：CN101063817B

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200710104732.5

申请日：2007-04-25

Applicant: 乐金显示有限公司

Inventor： 金珍郁

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/2018 ,  G03F7/161

Abstract: 本发明公开了一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法，其中，所述抗蚀剂被涂覆在印刷辊上，然后被依次转印在印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能，使得将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上，由此实现精确的抗蚀剂图形。

公开(公告)号：CN101952777A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200880121352.5

申请日：2008-12-15

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 井出阳一郎

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/032 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/161

Abstract: 本发明提供能带来显影后附着力和分辨率优异的抗蚀图案以及优异的抗蚀层形状的抗蚀剂固化物的制造方法、负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法。本发明的抗蚀剂固化物的制造方法，其包括如下工序：层压体形成工序：形成至少由支撑体(A)、负型感光性树脂层(B)和基板(C)层压而成的负型感光性树脂层压体；曝光工序：使用投影光掩模像的光并隔着透镜，对该负型感光性树脂层(B)进行曝光；显影工序：通过显影除去该负型感光性树脂层(B)的未曝光部分，形成由该负型感光性树脂层(B)的固化部分组成的抗蚀剂固化物；该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25％以上50％以下。

公开(公告)号：CN101833242A

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：CN200910262391.3

申请日：2009-12-24

Applicant: 乐金显示有限公司

Inventor： 金炳杰 ,  金珍郁 ,  金圣姬

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: H01L27/1288 ,  C08L33/12 ,  C08L75/04 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/161 ,  H01L27/1214 ,  H01L29/66765 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明涉及一种抗蚀剂溶液以及使用该抗蚀剂溶液形成图案的方法。该抗蚀剂溶液包括：基础聚合物、增粘剂、载体溶剂、印刷溶剂。该抗蚀剂溶剂还包括甲氧基硅烷偶联剂，其对于含醇的载体溶剂具有弱亲合力。？

公开(公告)号：CN100565310C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200680003671.7

申请日：2006-02-01

Applicant: 可隆株式会社

Inventor： 金炳基 ,  朴世炯 ,  卞达锡 ,  宋锡政 ,  朴钟旼

IPC: G02F1/136

CPC classification number: G03F7/161 ,  G02F1/1362 ,  G02F2001/136231 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/022 ,  H01L27/12 ,  H01L27/3244 ,  H01L2227/326

Abstract: 一种显示器用阵列通过如下步骤形成：将在支持膜上具有正性光致抗蚀剂树脂层的正性干膜抗蚀剂粘附到衬底上，使得光致抗蚀剂树脂层粘附在所述衬底的表面上。然后，将所述支持膜从粘附到所述衬底表面的光致抗蚀剂树脂层上释放；将所述层曝光；以及将在所述正性型光致抗蚀剂树脂层中的曝光区域显影并除去。

公开(公告)号：CN101063817A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710104732.5

申请日：2007-04-25

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金珍郁

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/2018 ,  G03F7/161

Abstract: 本发明公开了一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法，其中，所述抗蚀剂被涂覆在印刷辊上，然后被依次转印在印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能，使得将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上，由此实现精确的抗蚀剂图形。

公开(公告)号：CN101054037A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200710096346.6

申请日：2007-04-10

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金珍郁

IPC: B41N1/12 ,  B41N3/00 ,  B41F13/10 ,  B41M3/12 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1362

CPC classification number: G03F7/0007 ,  B41M1/06 ,  B41N10/00 ,  B41N2210/02 ,  B41N2210/04 ,  B41N2210/14 ,  G02F1/133516 ,  G03F7/161 ,  G03F7/162 ,  G03F7/18

Abstract: 本发明公开了印刷辊的敷层、其制造方法、使用其的构图方法、以及液晶显示器件的制造方法。该敷层包括Si基树脂层以及形成在Si基树脂层的一个表面上的丙烯酸酯膜，其中所述丙烯酸酯膜防止挥发性溶剂渗透到所述敷层中，从而防止所述敷层变形。