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公开(公告)号：CN103090786B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201210434215.5
申请日：2012-11-02
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 马西亚斯·许斯勒 , 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 罗伯特·科瓦尔施 , 万贾·奥赫斯
CPC classification number: G01B9/02022 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括产生输出射线的辐射源、将输出射线分成测量射线和参考射线的分光器装置、以及光学叠加装置和第一检测器，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反散的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加。分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加。此外本发明还涉及一种用于用干涉测量法测量物体的方法。
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公开(公告)号：CN103181753B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310022851.1
申请日：2004-09-08
Applicant: 通用医疗公司
Inventor： 尹锡贤 , 布雷特·尤金·鲍马 , 吉列尔莫·J·蒂尔尼 , 约翰内斯·菲茨杰拉德·德·布尔
CPC classification number: H01S5/5045 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , A61B5/7257 , G01B9/02002 , G01B9/02004 , G01B9/02043 , G01B9/02075 , G01B9/02081 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B9/0209 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0264 , G01J3/453 , G01J9/0215 , G01N21/4795 , G02B6/3604 , G02B26/12 , G02B27/48 , G02F1/093 , G02F1/11 , H01S3/0071 , H01S3/0078 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S5/0071 , H01S5/0078 , H01S5/1025 , H01S5/14 , H01S5/141 , H01S5/146
Abstract: 提供了一种用于使用频域干涉测量法进行光学成像的方法和设备。具体而言，至少一个第一电磁辐射可以提供给样品并且至少一个第二电磁辐射可以提供给非反射的参考。所述第一和/或第二辐射的频率随时间变化。在关联于所述第一辐射的至少一个第三辐射与关联于所述第二辐射的至少一个第四辐射之间检测干涉。可替换地，所述第一电磁辐射和/或第二电磁辐射具有随时间变化的谱。所述谱在特定时间可以包含多个频率。另外，有可能以第一偏振态检测所述第三辐射与所述第四辐射之间的干涉信号。此外，可以优选地以不同于所述第一偏振态的第二偏振态检测所述第三和第四辐射之间的又一干涉信号。所述第一和/或第二电磁辐射可以具有中值频率以大于每毫秒100万亿赫兹的调谐速度随时间基本上连续变化的谱。
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公开(公告)号：CN104949618A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510126212.9
申请日：2015-03-23
Applicant: 法罗技术股份有限公司
Inventor： 罗伯特·E·布里奇斯 , 克拉克·H·布里格斯 , 小约翰·M·霍费尔
CPC classification number: G01B5/008 , G01B9/02002 , G01B11/03 , G01B2290/15 , G01S17/08
Abstract: 本发明提供了一种便携式关节臂坐标测量机。该便携式关节臂坐标测量机包括测距仪，所述测距仪测量至少三个目标的3D坐标，以建立关节臂在由所述至少三个目标所建立的参照系中的位置和方位。
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公开(公告)号：CN104040286A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201380004974.0
申请日：2013-01-11
Applicant: 株式会社高永科技
Inventor： 徐长一
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02001 , G01B9/02 , G01B9/02002 , G01B9/0203 , G01B2290/70
Abstract: 本发明涉及干涉仪及利用其的光学装置，现有的光学装置的干涉图样不鲜明并且光源与干涉仪的距离存在制约，因此存在需要精密的控制装置。对此本发明进行了改善，控制干涉仪的波长板，将根据偏振分束器分割的目标光与基准光的振幅不对称，进而可调节干涉图样的明暗。另一方面，以光学装置的光源使用可调激光适用频率扫描方式，进而不使光源与干涉仪之间的距离受到制约。根据本发明的干涉仪及光学装置，包括：波长板，其可控制入射偏振分束器的线偏振的光的偏振方向；偏振分束器；波长板及偏振板，其使目标光与基准光可在图像拾取设备干涉变换偏振。
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公开(公告)号：CN103293126A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310023630.6
申请日：2004-09-08
Applicant: 通用医疗公司
Inventor： 尹锡贤 , 布雷特·尤金·鲍马 , 吉列尔莫·J·蒂尔尼 , 约翰内斯·菲茨杰拉德·德·布尔
IPC: G01N21/45
CPC classification number: H01S5/5045 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , A61B5/7257 , G01B9/02002 , G01B9/02004 , G01B9/02043 , G01B9/02075 , G01B9/02081 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B9/0209 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0264 , G01J3/453 , G01J9/0215 , G01N21/4795 , G02B6/3604 , G02B26/12 , G02B27/48 , G02F1/093 , G02F1/11 , H01S3/0071 , H01S3/0078 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S5/0071 , H01S5/0078 , H01S5/1025 , H01S5/14 , H01S5/141 , H01S5/146
Abstract: 本发明涉及一种用于使用频域干涉测量法进行光学成像的方法和设备。提供了一种设备和方法。具体而言，至少一个第一电磁辐射可以提供给样品并且至少一个第二电磁辐射可以提供给非反射的参考。所述第一和/或第二辐射的频率随时间变化。在关联于所述第一辐射的至少一个第三辐射与关联于所述第二辐射的至少一个第四辐射之间检测干涉。可替换地，所述第一电磁辐射和/或第二电磁辐射具有随时间变化的谱。所述谱在特定时间可以包含多个频率。另外，有可能以第一偏振态检测所述第三辐射与所述第四辐射之间的干涉信号。此外，可以优选地以不同于所述第一偏振态的第二偏振态检测所述第三和第四辐射之间的又一干涉信号。所述第一和/或第二电磁辐射可以具有中值频率以大于每毫秒100万亿赫兹的调谐速度随时间基本上连续变化的谱。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103162621A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210543710.X
申请日：2012-12-14
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01B9/02096 , G01B9/02002 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02061 , G01B9/02067 , G01B9/02068 , G01B9/02082 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/50 , G01B2290/70
Abstract: 本公开涉及包括多波长干涉计的测量装置。一种用于测量待检查表面的位置或形状的测量装置包括多波长干涉计和控制单元。多波长干涉计包含导致进入待检查表面并被待检查表面反射的待检查光和参照光相互干涉的光学系统、将待检查光和参照光之间的干涉光分割成各波长的分光单元、为检测干涉光并且被设置用于各分割的干涉光的检测器、和可调整将来自分光单元的光引向检测器的光导部分的位置的光学部件。控制单元通过使用与待检查表面的倾斜有关的信息来控制光学部件以调整光导部分的位置。
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公开(公告)号：CN102944176A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210449244.9
申请日：2012-11-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/02002 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B2290/70 , G01D5/266 , G01D5/38
Abstract: 一种外差光栅干涉仪位移测量系统，包括读数头、测量光栅、电子信号处理部件，该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。读数头包括双频激发生器、干涉仪、信号转换单元，双频激光发生器出射双频激光经偏振分光镜分为参考光和测量光，测量光入射至测量光栅处产生正负一级衍射，衍射光与参考光在光电探测单元处形成包含两个方向位移信息的拍频信号，经信号处理实现线性位移输出。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量水平向大行程位移和垂向位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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公开(公告)号：CN102679866A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210146124.1
申请日：2008-02-20
Applicant: 爱克发医疗保健公司
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02091 , G01B9/02002 , G01B9/02012 , G01B9/02063 , G01B9/02072
Abstract: 本发明涉及用于光学相干断层扫描的一种系统以及一种相应的方法，具有：至少一个干涉仪(20)，该干涉仪(20)用于输出用来照射样本(1)的空间短相干或者非相干的光，拥有样本物镜(41)的样本臂，通过该样本物镜(41)把由该干涉仪(20)所输出的光聚焦到位于该样本(1)中的焦点上，以及最好拥有布置在平面中的多个探测器单元的探测器，该探测器用于探测由该样本(1)所反射的光。为了可靠地记录最锐利的样本(1)图像，在探测分别在该样本(1)的不同深度中反射的光期间，该样本物镜(41)的成像特性发生改变。
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公开(公告)号：CN101617217B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200880005852.2
申请日：2008-02-20
Applicant: 爱克发医疗保健公司
CPC classification number: G01N21/4795 , A61B5/0066 , A61B5/0073 , G01B9/02002 , G01B9/02012 , G01B9/02063 , G01B9/02065 , G01B9/02072 , G01B9/02091
Abstract: 本发明涉及用于光学相干断层扫描的系统，其具有：干涉仪(20)；探测器(30)，其具有第一数量的用于探测光的探测器单元；以及光导体(29)，其具有第二数量的用于将光从干涉仪(20)传输到探测器(30)的单光纤(52)。为了在高的图像质量情况下同时提高系统的紧凑度，规定：这些探测器单元具有第一中心至中心距离，以及单光纤具有第二中心至中心距离，其中探测器单元的第一中心至中心距离大于单光纤的第二中心至中心距离。
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公开(公告)号：CN102016549A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980115967.1
申请日：2009-05-07
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01B9/02058 , A61B3/102 , A61B5/0066 , A61B5/0073 , G01B9/02002 , G01B9/02035 , G01B9/02091 , G01N21/4795 , G01N2021/1787
Abstract: 提供可缩短成像时间的光学相干断层(OCT)成像装置和相应的方法。该装置包括用于将入射到光学部分上的测量光束的第一光束直径变为比第一光束直径大的第二光束直径的光束直径改变部分(21)。调整台基于第一光束直径下来自检查对象(12)的位置的返回光束的强度信息来调整会聚光学部分(20)的位置。通过光束直径改变部分(21)，在通过调整台调整的位置处，光束直径从第一光束直径变为第二光束直径，以使具有第二光束直径的测量光束入射到检查对象(12)上。由于使用光束直径小的测量光束，因此可以在相对较短的时间内调整会聚光学部分(20)，并且，由于使用光束直径大的测量光束，因此可以以高横向分辨率获取与参照光束的合成光束。
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