公开(公告)号：CN103162621A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201210543710.X

申请日：2012-12-14

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 畑田晃宏 ,  藏本福之

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02096 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02061 ,  G01B9/02067 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02082 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/50 ,  G01B2290/70

Abstract: 本公开涉及包括多波长干涉计的测量装置。一种用于测量待检查表面的位置或形状的测量装置包括多波长干涉计和控制单元。多波长干涉计包含导致进入待检查表面并被待检查表面反射的待检查光和参照光相互干涉的光学系统、将待检查光和参照光之间的干涉光分割成各波长的分光单元、为检测干涉光并且被设置用于各分割的干涉光的检测器、和可调整将来自分光单元的光引向检测器的光导部分的位置的光学部件。控制单元通过使用与待检查表面的倾斜有关的信息来控制光学部件以调整光导部分的位置。