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公开(公告)号：CN103492843B
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201280019979.6
申请日：2012-03-16
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 马西亚斯·许斯勒 , 克里斯蒂安·埃尔曼 , 福尔克马·罗思
IPC: G01H9/00
CPC classification number: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及用于振动物体的光学非接触式振动测量的装置，其包括激光多普勒测振仪，激光多普勒测振仪具有作为激光射束的光源的激光器（1）、用于将激光射束分为测量射束（2）和参考射束（3）的第一分光组件（S1）、用于按规定频移参考射束（3）或测量射束（2）的机构（4）、利用其将由振动物体（6）散射回来的测量射束（2）与参考射束（3）汇合并将两者叠加的第二分光组件（S2、S3）以及用于接收叠加后的测量及参考射束（7）并且用于产生测量信号的检测器（5），其中激光器（1）配设有安置在其光学谐振器内的偏振滤光器，并且可依据拍频信号的调节方式稳定主模的频率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104180892A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410228112.2
申请日：2014-05-27
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 迈克尔·沃尔特格 , 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 托比亚斯·布劳恩
IPC: G01H9/00
CPC classification number: G01B9/02023 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B9/02029 , G01B9/02051 , G01B2290/45 , G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种光学干涉仪，其具有用于射入输出光束的输出光束-光束输入端和将输出光束分成至少一束第一部分光束和第二部分光束的分光装置，其中，干涉仪被设计外差干涉仪，具体而言，在干涉仪光路内设置至少一个光学频移器；和其中，干涉仪具有一个或多个光波导元件，利用光波导元件至少在输出光束-光束输入端、分光装置和频移器之间形成光波导。本发明特征在于，频移器设置在第一或第二部分光束的光路内。
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公开(公告)号：CN104180892B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201410228112.2
申请日：2014-05-27
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 迈克尔·沃尔特格 , 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 托比亚斯·布劳恩
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种光学干涉仪，其具有用于射入输出光束的输出光束‑光束输入端和将输出光束分成至少一束第一部分光束和第二部分光束的分光装置，其中，干涉仪被设计外差干涉仪，具体而言，在干涉仪光路内设置至少一个光学频移器；和其中，干涉仪具有一个或多个光波导元件，利用光波导元件至少在输出光束‑光束输入端、分光装置和频移器之间形成光波导。本发明特征在于，频移器设置在第一或第二部分光束的光路内。
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公开(公告)号：CN103090786A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210434215.5
申请日：2012-11-02
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 马西亚斯·许斯勒 , 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 罗伯特·科瓦尔施 , 万贾·奥赫斯
CPC classification number: G01B9/02022 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括产生输出射线的辐射源、将输出射线分成测量射线和参考射线的分光器装置、以及光学叠加装置和第一检测器，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反散的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加。分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加。此外本发明还涉及一种用于用干涉测量法测量物体的方法。
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公开(公告)号：CN103090786B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201210434215.5
申请日：2012-11-02
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 马西亚斯·许斯勒 , 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 罗伯特·科瓦尔施 , 万贾·奥赫斯
CPC classification number: G01B9/02022 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括产生输出射线的辐射源、将输出射线分成测量射线和参考射线的分光器装置、以及光学叠加装置和第一检测器，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反散的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加。分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加。此外本发明还涉及一种用于用干涉测量法测量物体的方法。
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公开(公告)号：CN103492843A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280019979.6
申请日：2012-03-16
Applicant: 综合工艺有限公司
Inventor： 克里斯蒂安·伦贝 , 亚历山大·德雷本施泰特 , 马西亚斯·许斯勒 , 克里斯蒂安·埃尔曼 , 福尔克马·罗思
IPC: G01H9/00
CPC classification number: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及用于振动物体的光学非接触式振动测量的装置，其包括激光多普勒测振仪，激光多普勒测振仪具有作为激光射束的光源的激光器（1）、用于将激光射束分为测量射束（2）和参考射束（3）的第一分光组件（S1）、用于按规定频移参考射束（3）或测量射束（2）的机构（4）、利用其将由振动物体（6）散射回来的测量射束（2）与参考射束（3）汇合并将两者叠加的第二分光组件（S2、S3）以及用于接收叠加后的测量及参考射束（7）并且用于产生测量信号的检测器（5），其中激光器（1）配设有安置在其光学谐振器内的偏振滤光器，并且可依据拍频信号的调节方式稳定主模的频率。
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