一种制备p型Cu2O薄膜的方法

    公开(公告)号:CN104928653A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201410099591.2

    申请日:2014-03-18

    Abstract: 本发明涉及一种用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术制备p型Cu2O薄膜的方法,该方法是在PEALD系统中以NH3作为掺杂,通过δ掺杂方式,首先在衬底上沉积一层NH3,在沉积的NH3基础上再层积一层CuI,紧接着层积一层O2,生成一分子层氮气,n分子层Cu2O的,完成一个周期,根据需要生长N个这样的周期。所获得的p型Cu2O薄膜具有高的电学性能和良好的均匀性。通过控制反应周期数精确控制薄膜的厚度,形成达到原子层厚度精度的薄膜。可根据需要简单精确的对薄膜进行掺杂控制。

    一种条纹宽度可控的激光加热制备单层石墨烯的方法

    公开(公告)号:CN102249221B

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201110133130.9

    申请日:2011-05-23

    Abstract: 本发明涉及一种在衬底上利用激光光束通过光栅加热方法制备条纹宽度可控的单层石墨烯(Graphene)的方法,属于半导体新型材料技术领域。石墨烯具有较高的电子传输特性、响应频率好和较宽光波段透明度的性质,能够实现高速电子器件制备的优化。因此实现生长优质的条纹状石墨烯材料对于电子技术的发展具有重要意义。本发明利用激光通过光栅加热衬底的方法制备条纹状的单层石墨烯,省略了光刻步骤,一步完成,简单易行,没有附加物质对生长材料的污染;同时,可以快速去除光束,具有降温快等特点,可以减少不必要的多层石墨稀生长,有效的实现石墨烯单层生长,其特征在于用光栅得到分立的光束,进而得到分立的条纹状的单层石墨烯。

    Ga In比例渐变的W型锑基半导体激光器

    公开(公告)号:CN104638517B

    公开(公告)日:2017-07-04

    申请号:CN201510111618.X

    申请日:2015-03-13

    Abstract: Ga In比例渐变的W型锑基半导体激光器属于半导体激光器技术领域。现有InAs/GaInSb W型锑基半导体激光器很难实现室温发光,低温(73K)发光的输出功率也很小。本发明自下而上依次为GaSb衬底、GaSb缓冲层、P型GaSb接触层、P型量子阱、本征量子阱、N型量子阱和N型InAs接触层,所述P型量子阱、本征量子阱、N型量子阱具有多周期结构,所述多周期结构中的每个单周期量子阱的结构为由双InAs电子量子阱夹GaInSb空穴量子阱的三明治结构,外层是一对AlSb合金限制层;其特征在于,所述GaInSb空穴量子阱由3~9层Ga1‑xInxSb层构成,x=0.05~0.35,中间的Ga1‑xInxSb层的x的值最大,两边的Ga1‑xInxSb层自中间向两边呈1~4级分布,同级的两个Ga1‑xInxSb层的x的值相同,自中间向两边各级Ga1‑xInxSb层的x的值逐渐减小。

    一种量子点带间级联激光器

    公开(公告)号:CN105977788B

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201610436288.6

    申请日:2016-06-17

    Abstract: 本申请公开了一种锑化物量子点带间级联激光器。该激光器是通过在GaSb衬底上,依次制备下限制层、下波导层、级联区、上波导层、上限制层、InAs接触层。本申请公开的这种激光器采用量子点有源区作为该带间级联激光器的有源区,利用量子点材料的特点,有效对载流子的限制和利用,使带间级联激光器具有更低的阈值电流密度及宽的增益谱特性,有效提高带间级联激光器的性能。

    一种量子点带间级联激光器

    公开(公告)号:CN105977788A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610436288.6

    申请日:2016-06-17

    Abstract: 本申请公开了一种锑化物量子点带间级联激光器。该激光器是通过在GaSb衬底上,依次制备下限制层、下波导层、级联区、上波导层、上限制层、InAs接触层。本申请公开的这种激光器采用量子点有源区作为该带间级联激光器的有源区,利用量子点材料的特点,有效对载流子的限制和利用,使带间级联激光器具有更低的阈值电流密度及宽的增益谱特性,有效提高带间级联激光器的性能。

    GaIn比例渐变的W型锑基半导体激光器

    公开(公告)号:CN104638517A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510111618.X

    申请日:2015-03-13

    Abstract: Ga In比例渐变的W型锑基半导体激光器属于半导体激光器技术领域。现有InAs/GaInSb W型锑基半导体激光器很难实现室温发光,低温(73K)发光的输出功率也很小。本发明自下而上依次为GaSb衬底、GaSb缓冲层、P型GaSb接触层、P型量子阱、本征量子阱、N型量子阱和N型InAs接触层,所述P型量子阱、本征量子阱、N型量子阱具有多周期结构,所述多周期结构中的每个单周期量子阱的结构为由双InAs电子量子阱夹GaInSb空穴量子阱的三明治结构,外层是一对AlSb合金限制层;其特征在于,所述GaInSb空穴量子阱由3~9层Ga1-xInxSb层构成,x=0.05~0.35,中间的Ga1-xInxSb层的x的值最大,两边的Ga1-xInxSb层自中间向两边呈1~4级分布,同级的两个Ga1-xInxSb层的x的值相同,自中间向两边各级Ga1-xInxSb层的x的值逐渐减小。

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