利用废靶制备氧化锡钽RPD靶材的方法

    公开(公告)号:CN118344176A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410267577.2

    申请日:2024-03-08

    Abstract: 本发明属于电子陶瓷材料技术领域,公开了一种利用废靶制备氧化锡钽RPD靶材的方法,包括以下步骤:取TTO溅射废靶材,在稀盐酸中浸泡,洗涤,烘干;将烘干后的TTO溅射废靶材研磨成粉,过筛网,将过筛网的粉料进一步过细筛网,未过筛网的粉料为粗颗粒,过筛网的粉料为细颗粒;取粗颗粒、细颗粒与聚乙烯醇水溶液混合均匀,过筛网;将混合物料放入模具中,使用油压机压制成型,得到靶材素坯;用铝硅箔将得到的靶材素坯完全包覆,用真空封装机进行真空封装处理,然后冷等静压机压制;将得到的靶材素坯放入烧结炉中进行无压烧结,得到低密度多孔氧化锡钽RPD靶材。本发明以TTO溅射废靶材为原料制备氧化锡钽RPD靶材,可有效地减少资源的浪费。

    一种钼铌或钼钽合金的制备方法

    公开(公告)号:CN115572877B

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202211221117.3

    申请日:2022-10-08

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种钼铌或钼钽合金的制备方法。称取钼粉和铌粉或者钼粉和钽粉装入球磨罐中,并加入纳米炭黑或含碳有机物,在氩气气氛下进行球磨处理,球磨后得到混合粉末原料;所得混合粉末原料在压力为100~300MPa条件下进行模压或冷等静压成型,得到生坯;所得生坯在真空条件下进行分段烧结,烧结后得到具有良好热成形性能的钼铌合金或钼钽合金。本发明技术方案采用普通粉末冶金技术制备钼铌合金或钼钽合金,比熔炼法制备合金的晶粒小,比热压或热等静压技术采用的设备简单,生产成本低,所制备钼铌合金或钼钽合金的热成形性能好。

    一种钼铌或钼钽合金的制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115572877A

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202211221117.3

    申请日:2022-10-08

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种钼铌或钼钽合金的制备方法。称取钼粉和铌粉或者钼粉和钽粉装入球磨罐中,并加入纳米炭黑或含碳有机物,在氩气气氛下进行球磨处理,球磨后得到混合粉末原料;所得混合粉末原料在压力为100~300MPa条件下进行模压或冷等静压成型,得到生坯;所得生坯在真空条件下进行分段烧结,烧结后得到具有良好热成形性能的钼铌合金或钼钽合金。本发明技术方案采用普通粉末冶金技术制备钼铌合金或钼钽合金,比熔炼法制备合金的晶粒小,比热压或热等静压技术采用的设备简单,生产成本低,所制备钼铌合金或钼钽合金的热成形性能好。

    一种粒形可控的氧化铟球形粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN111362298B

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202010151073.6

    申请日:2020-03-06

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 一种粒形可控的氧化铟球形粉体的制备方法,包括步骤:(1)将浓度为35~50%的硫酸溶液与金属铟反应,反应进行一定的时间,然后加入浓度为65~68%的硝酸溶液与金属铟反应,得到含有硫酸铟和硝酸铟的混合溶液体系;(2)调节混合溶液体系中铟离子的浓度在0.45~0.6M之间;(3)将混合溶液与沉淀剂进行沉淀反应,至溶液pH值为9~10之间,然后将溶液沉淀老化一定时间得到氢氧化铟前驱体浆料;(4)使用陶瓷膜过滤洗涤前驱体浆料,至洗涤过滤液的pH值为7~8之间、电导率小于等于50μS/cm时结束洗涤,得到纯化的前驱体试样;(5)将前驱体试样在80~130℃烘干;(6)将前驱体试样进行球磨,然后将前驱体在煅烧温度下进行煅烧,得到氧化铟粉体。

    一种特定取向的大规格金属单晶及其制备方法

    公开(公告)号:CN115198356A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210837058.6

    申请日:2022-07-15

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明提供了一种特定取向的大规格金属单晶及其制备方法,属于单晶金属制备技术领域。本发明将金属置于底部带有微孔的熔炼模具中进行挤压熔炼,得到金属熔体;所述金属熔体通过所述熔炼模具底部的微孔进入铸型模具,在金属单晶薄膜的诱导下进行金属单晶逐层凝固生长,得到特定取向的大规格金属单晶。该制备方法制备得到的金属单晶的直径可达150~300mm,且制备流程短,操作简单,成本低,成材率高,能实现多规格任意特定取向的单晶金属制备。

    一种铟钨氧化物靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN114702304A

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202210511038.X

    申请日:2022-05-11

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明提供了一种铟钨氧化物靶材及其制备方法,属于光电材料技术领域。本发明先将化学计量比的氧化铟和氧化钨混合,经过煅烧使二者能够完全固相反应得到In6WO12;通过在氧气氛围中进行煅烧可以抑制氧空位的产生,进而提高产物的致密度;将In6WO12与氧化铟、水、分散剂和粘结剂混合后进行压力注浆,提高In6WO12相在靶材中的分散程度,同时进一步提高靶材的致密度;通过脱脂处理去除分散剂和粘结剂,结合台阶变温烧结,使得到的靶材组织细化均匀、致密度高。实施例的实验结果表明,本发明提供的制备方法制备的铟钨氧化物靶材的相对密度为98.1~99.6%。

    二次相可控锌铝氧化物溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN113149633A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202110377477.1

    申请日:2021-04-08

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 二次相可控锌铝氧化物溅射靶材的制备方法,包括:氧化锌粉体与氧化铝粉体以摩尔比1:1混合均匀得第一混合粉体,第一混合粉体在氧气氛中煅烧处理,生成铝酸锌粉体;其中,煅烧温度设定为1000~1400℃,煅烧处理时间设定为2~20小时;生成的铝酸锌粉体与氧化锌粉体以摩尔比0.015~0.02混合得到第二混合粉体,第二混合粉体与设定比例的水、分散剂和粘结剂混合,得到固含量大于80%、粘度小于100mPa·s的锌铝氧化物浆料;生成的锌铝氧化物浆料压力注浆成型得到相对密度大于60%的锌铝氧化物靶材素坯;锌铝氧化物靶材素坯进行干燥处理;干燥后的锌铝氧化物靶材素坯进行脱脂烧结处理,得到二次相可控锌铝氧化物溅射靶材。

    一种粒形可控的氧化铟球形粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN111362298A

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN202010151073.6

    申请日:2020-03-06

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 一种粒形可控的氧化铟球形粉体的制备方法,包括步骤:(1)将浓度为35~50%的硫酸溶液与金属铟反应,反应进行一定的时间,然后加入浓度为65~68%的硝酸溶液与金属铟反应,得到含有硫酸铟和硝酸铟的混合溶液体系;(2)调节混合溶液体系中铟离子的浓度在0.45~0.6M之间;(3)将混合溶液与沉淀剂进行沉淀反应,至溶液pH值为9~10之间,然后将溶液沉淀老化一定时间得到氢氧化铟前驱体浆料;(4)使用陶瓷膜过滤洗涤前驱体浆料,至洗涤过滤液的pH值为7~8之间、电导率小于等于50μS/cm时结束洗涤,得到纯化的前驱体试样;(5)将前驱体试样在80~130℃烘干;(6)将前驱体试样进行球磨,然后将前驱体在煅烧温度下进行煅烧,得到氧化铟粉体。

    低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN109369172A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811505302.9

    申请日:2018-12-10

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法,该方法包括,氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀,得到混合粉体;混合粉体与料浆液混合,真空除气,得到料浆;料浆在压力下注入成型模具,冷等静压强化,得到靶材素坯;靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥,在空气气氛下程序升温至脱脂温度,保持设定的时间,在氧气气氛下程序升温至烧结温度,保持设定时间;停止通入氧气,程序降温至室温,得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低,烧结时间大大缩短,有效抑制了晶粒长大,保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀,平均晶粒度为4~6μm;相对密度大于99.6%;电阻率低至1.24×10-4Ω.cm,具有长时间溅射结瘤低、不中毒的优异性能。

    氧化铟锡靶材的超低温制备方法

    公开(公告)号:CN109279873A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201811390845.0

    申请日:2018-11-21

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开的氧化铟锡靶材的超低温制备方法,将氧化铟粉体、氧化锡粉体球磨混匀,得到混合粉体;混合粉体与料浆液混合,得到粉料;粉料在模具中成形得到氧化铟锡靶材素坯,在模具中同时加压、升温;空气气氛中,在升高的温度、升高的压力下保持设定时间,降温至室温,得到了烧结密度高、晶粒度均匀的氧化铟锡靶材,制备温度低至450℃,晶粒尺寸在1.0μm以下,相对密度可达99.2%,制备时间短,不采用高浓度氧气气氛,制备过程安全,具有良好的工业应用前景。

Patent Agency Ranking